清洗单元及其气体检测装置制造方法及图纸

技术编号:25560090 阅读:49 留言:0更新日期:2020-09-08 19:42
本实用新型专利技术提供一种清洗单元及其气体检测装置。本实用新型专利技术提供的气体检测装置,包括取样管和检测设备,取样管为L形管,L形管包括垂直于待测气管的轴向设置的进气管和平行于待测气管的轴向设置的出气管,出气管的入口端与进气管的出口端连通,出气管的出口端连通所述检测设备;进气管的入口端插入待测气管内,出气管与检测设备连通,进气管内设有导流件,导流件沿进气管的延伸方向设置,有效地避免了进气管内的蒸汽凝结在进气管的内壁上而无法顺利地流出至待测气管内的情况发生,防止了因蒸汽凝结在取样管内并堵塞取样管,使取样管内的压力超过压力报警阈值而导致设备异常报警,造成清洗单元的设备宕机及基板报废的情况发生。

【技术实现步骤摘要】
清洗单元及其气体检测装置
本技术涉及液晶显示
,尤其涉及一种清洗单元及其气体检测装置。
技术介绍
近年来,液晶显示技术快速发展,经历从TN、STN、TFT到AMOLED的发展历程,液晶显示器以其特有的较高对比度和色彩饱和度赢得了大众的认可。液晶显示面板的生产工艺中,需要对玻璃基板涂胶后进行曝光和显影,最终得到所需图形。而图形的显示效果对玻璃基板的洁净度具有较高的要求,所以玻璃基板在涂胶前和显影后均具有清洗单元。清洗单元包括密闭的清洗室和与该清洗室连通的待测气管,待清洗基板放置在清洗室内进行清洗工作,待测气管用于排出清洗室内产生的蒸汽,待测气管上连通有取样管,取样管的一端安装有压力表,该压力表通过检测取样管中的蒸汽压力,以实时检测清洗室内的气压,从而在清洗室内的气压超过规定阈值时,及时停止清洗工作。然而,待测气管中的蒸汽进入取样管内后,极易在取样管的管壁上凝结而堵塞取样管,造成压力表上显示的压力值超出待测气管内的实际压力值,进而对清洗室内的气压造成误判。
技术实现思路
本技术提供一种清洗单元及其气体检测装置,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体检测装置,其特征在于,包括取样管和检测设备,所述取样管为L形管,所述L形管包括垂直于待测气管轴向的进气管和平行于待测气管轴向的出气管,所述出气管的入口端与所述进气管的出口端连通;/n所述进气管的入口端插入所述待测气管内,所述出气管的出口端与检测设备连通,所述进气管内设有导流件,所述导流件沿所述进气管的轴向方向延伸设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种气体检测装置,其特征在于,包括取样管和检测设备,所述取样管为L形管,所述L形管包括垂直于待测气管轴向的进气管和平行于待测气管轴向的出气管,所述出气管的入口端与所述进气管的出口端连通;
所述进气管的入口端插入所述待测气管内,所述出气管的出口端与检测设备连通,所述进气管内设有导流件,所述导流件沿所述进气管的轴向方向延伸设置。


2.根据权利要求1所述的气体检测装置,其特征在于,所述导流件的一端穿出所述进气管的入口端并伸入所述待测气管内。


3.根据权利要求1所述的气体检测装置,其特征在于,所述导流件位于所述进气管内的长度为所述进气管长度的1/3~1/2。


4.根据权利要求1所述的气体检测装置,其特征在于,所述导流件为具有疏水性的导流丝。


5.根据权利要求4所述的气体检测装置,其特征在于,所述导流丝沿所述进气管的延伸方向形成有多个弯折部。


6.根据权利要求5所述的气体检测装置,其特征在于,多个所述弯折部在所述进气管的任意一个横截面上...

【专利技术属性】
技术研发人员:张雷邵博蒋雷慕绍帅谢超黄学勇段乐乐
申请(专利权)人:成都中电熊猫显示科技有限公司
类型:新型
国别省市:四川;51

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