一种清洗液供给装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种清洗液供给装置。本实用新型专利技术提供的清洗液供给装置，包括原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，原液储液罐和第一储液罐之间连通，第一储液罐和第二储液罐之间连通；其中，原液储液罐用于储存清洗原液，清洗原液进入第一储液罐且在第一储液罐内按预设配比形成清洗液，清洗液进入第二储液罐，且第二储液罐用于将清洗液输送至基板清洗腔室以对基板进行清洗。本实用新型专利技术的清洗液供给装置能够降低清洗液的消耗量，且可提高基板的清洗效率。

【技术实现步骤摘要】
一种清洗液供给装置
本技术涉及显示面板制作
，尤其涉及一种清洗液供给装置。
技术介绍
目前，为了提高显示面板的良品率，在显示面板的制作过程中，通常需要对基板进行清洗，以去除基板表面附着的异物。对基板进行清洗时，储液罐中储存的清洗液通过清洗设备喷洒至基板表面，以利用清洗液对基板进行清洗。现有技术中，通常是采用单个储液罐储存清洗液，当储液罐中的清洗液消耗殆尽时，将原有储液罐替换为装满清洗液的新的储液罐，采用新的储液罐继续为清洗设备提供清洗液，如此新旧交替，实现对清洗设备的持续供液。然而，在替换储液罐时，原有的储液罐内通常还剩余有小部分清洗液，替换后会将该部分清洗液排出，这样会造成清洗液的浪费，增大了基板清洗液的消耗量和清洗成本。
技术实现思路
本技术提供一种清洗液供给装置，能够降低清洗液的消耗量，且可提高基板的清洗效率。本技术提供一种清洗液供给装置，包括原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，原液储液罐和第一储液罐之间连通，第一储液罐和第二储液罐之间连通；其中，原液储液罐用于储存清洗原液，清洗原液进入第一储液罐且在第一储液罐内按预设配比形成清洗液，清洗液进入第二储液罐，且第二储液罐用于将清洗液输送至基板清洗腔室以对基板进行清洗。可选的，第二储液罐内的清洗液的容量小于第一预设值时，第一储液罐向第二储液罐内补充清洗液至容量为第二预设值；其中，第二预设值大于第一预设值。可选的，第一储液罐内的清洗液的容量小于第二预设值时，原液储液罐向第一储液罐内按预设配比补充清洗原液，第一储液罐内按预设配比形成清洗液且补充清洗液至容量为第三预设值；其中，第三预设值大于第二预设值。可选的，清洗液供给装置还包括控制器，控制器用于控制第一储液罐向第二储液罐内补充清洗液，还用于控制原液储液罐向第一储液罐内补充清洗原液。可选的，原液储液罐和第一储液罐之间连接有第一进液管，原液储液罐内的清洗原液通过第一进液管进入第一储液罐内；第一储液罐和第二储液罐之间连接有第二进液管，第一储液罐内的清洗液通过第二进液管进入第二储液罐内。可选的，第二储液罐和基板清洗腔室之间连接有第一排液管，第二储液罐内的清洗液通过第一排液管进入基板清洗腔室；第一储液罐和基板清洗腔室之间连接有第二排液管，第一储液罐内的清洗液通过第二排液管进入基板清洗腔室。可选的，原液储液罐和第二储液罐之间还连接有第三进液管，原液储液罐内的清洗原液通过第三进液管进入第二储液罐，第二储液罐内按预设配比形成清洗液。可选的，清洗液供给装置还包括储水箱，储水箱和第一储液罐及第二储液罐之间均连接有进水管，储水箱内储存的水按预设配比通过进水管进入第一储液罐及第二储液罐内，第一储液罐和第二储液罐内进入的清洗原液和水按预设配比形成清洗液。可选的，第一进液管、第二进液管、第三进液管以及进水管上均设置有流量计。可选的，第一储液罐和第二储液罐内均设置有液位检测装置。本技术提供的清洗液供给装置，用于向基板清洗腔室提供清洗液以对基板进行清洗，具体的，清洗液供给装置包括原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，原液储液罐用于储存清洗原液，且原液储液罐和第一储液罐连通，原液储液罐内的清洗原液可进入第一储液罐内，清洗原液进入第一储液罐后，在第一储液罐内可以按清洗液所要求的的预设配比形成清洗液，这样第一储液罐可作为接收清洗原液并配置、储存清洗液的储液罐，第一储液罐和第二储液罐之间相连通，第一储液罐内配制好的清洗液可进入第二储液罐，最终通过第二储液罐向基板清洗腔室内喷洒清洗液。通过设置原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，在第二储液罐内的清洗液容量过低时，通过原液储液罐向第一储液罐内输送清洗原液，第一储液罐内形成清洗液并输送给第二储液罐，这样第二储液罐可以持续向基板清洗腔室输送清洗液，这样不会对清洗液造成浪费，可以降低清洗液的消耗量，同时可以提高基板的清洗效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的清洗液供给装置的结构示意图。附图标记说明：1-原液储液罐；2-第一储液罐；3-第二储液罐；41-第一进液管；42-第二进液管；43-第三进液管；44-第一排液管；45-第二排液管；5-储水箱；51-进水管；6-流量计；7-加热器；8-水泵；9-基板清洗腔室。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。图1为本技术实施例提供的清洗液供给装置的结构示意图。如图1所示，本实施例提供的清洗液供给装置，包括原液储液罐1、第一储液罐2和第二储液罐3，原液储液罐1和第一储液罐2之间连通，第一储液罐2和第二储液罐3之间连通；其中，原液储液罐1用于储存清洗原液，清洗原液进入第一储液罐2且在第一储液罐2内按预设配比形成清洗液，清洗液进入第二储液罐3，且第二储液罐3用于将清洗液输送至基板清洗腔室9以对基板进行清洗。本实施例提供的清洗液供给装置用于向基板清洗腔室9提供清洗液，可以理解的是，基板通常位于基板清洗腔室9内，清洗液供给装置将清洗液输送至基板清洗腔室9后，通过基板清洗腔室9向基板表面喷洒清洗液，从而通过清洗液对基板进行清洗，以去除基板表面附着的灰尘、毛发等异物。具体的，清洗液供给装置至少包括原液储液罐1、第一储液罐2和第二储液罐3。其中，原液储液罐1和第一储液罐2之间连通，第一储液罐2和第二储液罐3之间连通，原液储液罐1用于储存清洗原液，清洗原液的浓度很高，可以理解为清洗原液是未被稀释之前的清洗液，因而需要将清洗原液按一定的配比进行稀释形成符合要求的清洗液，方可利用浓度适宜的清洗液对基板进行清洗。因此，通过设置第一储液罐2，且第一储液罐2和原液储液罐1连通，这样原液储液罐1内的清洗原液可进入第一储液罐2内，且清洗原液在第一储液罐2内可按预设配比被稀释形成清洗液，该预设配比可以是预先设定的符合要求的比例参数。第一储液罐2的主要作用是使清洗原液在其中按预设配比被稀释形成清洗液，即第一储液罐2主要是作为配制和暂存清洗液的容器，在第一储液罐2内形成清洗液后，通过与第一储液罐2连通的第二储液罐3，第一储液罐2内的清洗液可以进入第二储液罐3。第二储液罐3作为最终储存清洗液的容器，其可将清洗液输送至基板清洗腔室9，通过基板清洗腔室9向基板表面喷洒清洗液，以对基板进行清洗。在实际应用中，可根据实际需求设置预设配比在第一储本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种清洗液供给装置，其特征在于，包括原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，所述原液储液罐和所述第一储液罐之间连通，所述第一储液罐和所述第二储液罐之间连通；其中，所述原液储液罐用于储存清洗原液，所述清洗原液进入所述第一储液罐且在所述第一储液罐内按预设配比形成清洗液，所述清洗液进入所述第二储液罐，且所述第二储液罐用于将所述清洗液输送至基板清洗腔室以对基板进行清洗。/n

【技术特征摘要】
1.一种清洗液供给装置，其特征在于，包括原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，所述原液储液罐和所述第一储液罐之间连通，所述第一储液罐和所述第二储液罐之间连通；其中，所述原液储液罐用于储存清洗原液，所述清洗原液进入所述第一储液罐且在所述第一储液罐内按预设配比形成清洗液，所述清洗液进入所述第二储液罐，且所述第二储液罐用于将所述清洗液输送至基板清洗腔室以对基板进行清洗。


2.根据权利要求1所述的清洗液供给装置，其特征在于，所述第二储液罐内的所述清洗液的容量小于第一预设值时，所述第一储液罐向所述第二储液罐内补充所述清洗液至容量为第二预设值；其中，所述第二预设值大于所述第一预设值。


3.根据权利要求2所述的清洗液供给装置，其特征在于，所述第一储液罐内的所述清洗液的容量小于所述第二预设值时，所述原液储液罐向所述第一储液罐内按预设配比补充所述清洗原液，所述第一储液罐内按预设配比形成所述清洗液且补充所述清洗液至容量为第三预设值；其中，所述第三预设值大于所述第二预设值。


4.根据权利要求1-3任一项所述的清洗液供给装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器用于控制所述第一储液罐向所述第二储液罐内补充所述清洗液，还用于控制所述原液储液罐向所述第一储液罐内补充清洗原液。


5.根据权利要求1-3任一项所述的清洗液供给装置，其特征在于，所述原液储液罐和所述第一储液罐之间连接有第一进液管，所述原液储液罐内的清洗原液通过所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘闽，李广圣，川村昌宏，叶宁，张勇，史海洋，李望，吴义，
申请(专利权)人：成都中电熊猫显示科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51