图案曝光装置、光束扫描装置、及图案描绘装置制造方法及图纸

本发明专利技术的光束扫描装置，是一边将光束的点光投射于对象物的被照射面、一边进行该点光于该被照射面上沿扫描线的一维扫描，其具备：射入光束的入射光学构件、将来自入射光学构件的光束为进行扫描而加以偏向的扫描用偏向构件、射入经偏向的光束后投射于被照射面的投射光学系、以及支承入射光学构件、扫描用偏向构件及投射光学系、可绕与照射中心轴在既定容许范围内成同轴的第1旋转中心轴旋转的支承架，该照射中心轴系相对该被照射面垂直通过以该点光的扫描在该被照射面上形成的扫描线的中点。

【技术实现步骤摘要】
图案曝光装置、光束扫描装置、及图案描绘装置本申请是分案申请，原案的申请号为201680017014.1(PCT/JP2016/058644)，申请日为2016年03月18日，专利技术名称为“光束扫描装置、光束扫描方法、及描绘装置”。
本专利技术是关于以照射于对象物被照射面上的光束的点光进行扫描，以描绘曝光出既定图案的光束扫描装置、光束扫描方法、及描绘装置。
技术介绍
一直以来，作为事务用高速印表机，广为人知的是一边将激光光束的点光投射于感光筒等的被照射体(对象物)、一边藉由旋转多面镜沿主扫描线进行点光的一维方向主扫描，并使被照射体往与主扫描线方向正交的副扫描方向移动，以在被照射体上描绘出所欲的图案及图像(文字、图形、照片等)。于特开平8－11348号公报中，揭示一种用以调整光束的主扫描线的倾斜的光束扫描装置。特开平8－11348号公报中记载的光束扫描装置，具备往光束的照射方向倾斜的板片、与载置在板片上的光学单元，此板片被载置在本体上。藉由使板片相对本体往主扫描方向旋转，据以使光学单元旋转以调整主扫描线的倾斜。由于此调整，主扫描线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图案曝光装置，具有以距中心轴既定半径的圆筒状外周面支承片状基板，并绕该中心轴旋转的旋转筒，及在该旋转筒的旋转中于该基板的既定区域上曝光电子元件的图案的曝光头，其中；/n该曝光头是在以该中心轴的延伸方向作为主扫描方向时，沿著该主扫描方向配置多个一边以在该基板上成为点光的方式投射图案描绘用的光束，一边在该主扫描方向上扫描该点光的扫描单元，并在将该扫描单元在该主扫描方向依序编号为1号、2号…，且将该旋转筒外周面的周方向作为副扫描方向时，以奇数号的扫描单元与偶数号的扫描单元在绕该中心轴的该副扫描方向上间隔一定角度2θ，且自该多个扫描单元的各个投射至该基板的该光束的延长线朝向该中心轴的方式配置，...

【技术特征摘要】
20150320 JP JP2015-0579061.一种图案曝光装置，具有以距中心轴既定半径的圆筒状外周面支承片状基板，并绕该中心轴旋转的旋转筒，及在该旋转筒的旋转中于该基板的既定区域上曝光电子元件的图案的曝光头，其中；
该曝光头是在以该中心轴的延伸方向作为主扫描方向时，沿著该主扫描方向配置多个一边以在该基板上成为点光的方式投射图案描绘用的光束，一边在该主扫描方向上扫描该点光的扫描单元，并在将该扫描单元在该主扫描方向依序编号为1号、2号…，且将该旋转筒外周面的周方向作为副扫描方向时，以奇数号的扫描单元与偶数号的扫描单元在绕该中心轴的该副扫描方向上间隔一定角度2θ，且自该多个扫描单元的各个投射至该基板的该光束的延长线朝向该中心轴的方式配置，且该曝光头具备：
本体架，将该旋转筒轴支为可绕该中心轴旋转；
本体机架部，将该奇数号的扫描单元与该偶数号的扫描单元的各个轴支为可个别绕通过借由该点光的扫描形成的描绘线的中央，并与该光束的该延长线平行的旋转中心轴旋转，并与该本体架结合。


2.根据权利要求1所述的图案曝光装置，其中，该本体机架部包含：
第1机架部，与该本体架结合，且支承将该图案描绘用的光束供给至该多个扫描单元的各个的光导入光学系；
呈角柱状的第2机架部，相对于该第1机架部配置于该旋转筒侧，以该奇数号的扫描单元的各个的旋转中心轴与该偶数号的扫描单元的各个的旋转中心轴于该副扫描方向上间隔该角度2θ的方式，延伸设置于该主扫描方向上。


3.根据权利要求2所述的图案曝光装置，其中，该第2机架部的在该主扫描方向上的一端部侧固设于该本体架，且另一端部侧在该主扫描方向上具有自由度并被该本体架支承。


4.根据权利要求3所述的图案曝光装置，其中，该第2机架部的该另一端部侧借由在该主扫描方向上具有自由度的陀螺构件与钢球而被支承于该本体架。


5.根据权利要求3所述的图案曝光装置，其中，该奇数号的扫描单元的数量与该偶数号的扫描单元的数量相同。


6.根据权利要求2到5中任一项所述的图案曝光装置，其中，该光导入光学系具有：
奇数号的光导入光学系，包含以与该奇数号的扫描单元的各个的该旋转中心轴同轴的方式，将该图案描绘用的光束投射至该奇数号的扫描单元的各个的多个反射镜；及
偶数号的光导入光学系，包含以与该偶数号的扫描单元的各个的该旋转中心轴同轴的方式，将该图案描绘用的光束投射至该偶数号的扫描单元的各个的多个反射镜。


7.根据权利要求6所述的图案曝光装置，其中，该奇数号与该偶数号的各个的光导入光学系包含：
音声光学调变器，以将来自光源装置的光束入射，并以作为该图案描绘用的光束依序供给至该扫描单元的各个的方式，设置于每个该扫描单元。


8.根据权利要求7所述的图案曝光装置，其中，该扫描单元包含：
旋转多面镜，用以将该图案描绘用的光束于该主扫描方向进行一维扫描；
fθ透镜，为了将通过该旋转多面镜进行一维扫描的反射光束入射并作为该点光聚光在该基板上而具有与该旋转中心轴垂直的光轴；
反射构件，使自该fθ透镜射出的该反射光束以垂直投射于该基板的表面的方式进行反射；及
支承架，将该旋转多面镜，该fθ透镜，以及该反射构件一体地支承。


9.根据权利要求8所述的图案曝光装置，其中，该多个扫描单元的各个的该支承架，是以能绕该旋转中心轴旋转的方式，借由轴承安装于该第2机架部。


10.一种光束扫描装置，一边将投射至对象物的被照射面的光束在该被照射面上收敛为点光，一边将该点光在主扫描方向上进行一维扫描，其中该光束扫描装置具备：
偏向构件，用以使来自光源装置的入射光束反射，并借由将反射光束于既定角度范围内偏向，使该点光进行扫描；
投射光学系，使经该偏向构件偏向的该反射光束入射，并将该反射光束于该被照射面上聚光成该点光；
光学构件，使来自该光源装置的该入射光束，以从该投射光学系的该被照射面侧入射后前往该偏向构件的方式输送光，且在该入射光束入射至该投射光学系之前的位置，亦即与该被照射面在光学上共轭的共轭面上将该入射光束收敛至点。


11.根据权利要求10所述的光束扫描装置，其中，该光学构件具有：
透镜系，用以将来自该光源装置的该入射光束于该共轭面上收敛成点；及
第1柱面透镜，配置于将被收敛后发散并前进的该入射光束入射的位置，并于该主扫描方向上具有母线；
该投射光学系包含：第2柱面透镜，配置于远心系的fθ透镜，及该被照射面与该fθ透镜之间，并于该主扫描方向上具有母线；
该光学构件是以自该第1柱面透镜射出的该入射光束通过该fθ透镜前往该偏向构件的方式被配置。


12.根据权利要求11所述的光束扫描装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木智也，加藤正纪，小宫山弘树，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP