一种氢气传感器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种氢气传感器及其制备方法，包括氢气气敏膜、导电电极和绝缘衬底，所述氢气气敏膜附着于绝缘衬底表面，通过导电电极测量氢气气敏膜的电阻或导电值，所述氢气气敏膜包括至少一层钯基纳米粒子组装薄膜和至少一层金属有机物框架涂层，所述金属有机物框架涂层将钯基纳米粒子组装薄膜完全包裹。本发明专利技术中金属有机物框架涂层材料的多孔结构使其能在一定程度上隔离较大尺寸的气体分子，提高氢气气敏的选择性。此外，由于金属有机物框架材料对钯或合金粒子之间的表面修饰作用，还能提高纳米粒子气敏膜对氢气的响应值。

【技术实现步骤摘要】
一种氢气传感器及其制备方法
本专利技术涉及气体传感
，特别涉及一种钯基纳米粒子组装薄膜@金属有机物框架复合氢气气敏膜纳米粒子在氢气传感器上的构筑与应用。
技术介绍
氢气作为能源的一种形式，具有高的燃烧效率，且产物水具有无污染等优点，有潜力替换传统的化石燃料。然而，氢气作为一种易燃易爆气体，在生产、储存和使用过程中存在安全隐患问题，且氢气属于无色、无嗅、无味气体，在发生氢气泄漏时，无法被人的感官系统所发觉。因此，开发具备实际应用价值的氢气传感技术是实现氢能规模化应用的重要安全保障。目前，基于量子隧道效应的钯(palladium，Pd)基纳米结构氢气传感器以其优异的传感性能受到了学界和业界的广泛关注(参见Sensors,19(2019)4478–4518；SensorsandActuatorsB:Chemical,255(2018)1841–1848；ACSAppliedMaterials&Interfaces,10(2018)44603–44613；CN200910028487.3)。然而，此类传感器仍然存在传感选择性较差的共性技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氢气传感器，其特征在于：包括氢气气敏膜、导电电极和绝缘衬底，所述氢气气敏膜附着于绝缘衬底表面，通过导电电极测量氢气气敏膜的电阻或导电值，所述氢气气敏膜包括至少一层钯基纳米粒子组装薄膜和至少一层金属有机物框架涂层，所述金属有机物框架涂层将钯基纳米粒子组装薄膜完全包裹，且钯基纳米粒子组装薄膜嵌埋于金属有机物框架涂层中。/n

【技术特征摘要】
1.一种氢气传感器，其特征在于：包括氢气气敏膜、导电电极和绝缘衬底，所述氢气气敏膜附着于绝缘衬底表面，通过导电电极测量氢气气敏膜的电阻或导电值，所述氢气气敏膜包括至少一层钯基纳米粒子组装薄膜和至少一层金属有机物框架涂层，所述金属有机物框架涂层将钯基纳米粒子组装薄膜完全包裹，且钯基纳米粒子组装薄膜嵌埋于金属有机物框架涂层中。


2.如权利要求1所述的氢气传感器，其特征在于：所述氢气气敏膜还包括至少一层有机高分子涂层，所述有机高分子涂层覆盖在金属有机物框架涂层表面。


3.如权利要求2所述的氢气传感器，其特征在于：所述有机高分子涂层的厚度为1~100nm。


4.如权利要求1或2所述的氢气传感器，其特征在于：所述钯基纳米粒子组装薄膜中的纳米粒子尺寸为1~50nm纳米粒子。

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【专利技术属性】
技术研发人员：谢波，丁伯胜，王一涛，
申请(专利权)人：浙江固微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33