检测方法、图像处理器以及检测系统技术方案

本发明专利技术技术方案公开了一种检测方法、图像处理器以及检测系统，本发明专利技术技术方案可以根据所述目标区域中目标像素的分布以及位置确定所述待测目标在所述待测部件中的位置以及形状，还可以根据所述目标区域中目标像素图像的数量以及目标像素图像的灰度值确定所述待测目标的尺寸，可以准确计算大尺寸缺陷的尺寸。

【技术实现步骤摘要】
检测方法、图像处理器以及检测系统
本专利技术涉及尺寸检测
，更具体的说，涉及一种检测方法、图像处理器以及检测系统。
技术介绍
晶圆缺陷检测是指检测晶圆中是否存在凹槽、颗粒、划痕等缺陷以及缺陷位置和尺寸。晶圆缺陷检测应用十分广泛：一方面，做为芯片基底，晶圆上存在缺陷将可能导致上面制作的昂贵工艺失效，因此晶圆生产方常进行缺陷检测，确保晶圆产品的表面瑕疵率满足芯片制造的相关指标要求；晶圆使用方也需要在使用前确定晶圆的干净程度能保证产品合格率；另一方面，由于半导体加工对加工过程中附加污染控制十分严格，而直接监测加工过程中附加污染难度较大，人们常插入专门用于监测污染的控片(为晶圆裸片)共同进入流片工序，再通过检测各工序前后的控片缺陷情况，通过晶圆裸片加工前后缺陷对比，来反映各工序的污染情况，以便及时发现设备硬件或设备工艺中的各种污染因素，确保所产半导体设备的污染率满足芯片制造的相关指标要求。目前常用晶圆缺陷检测方法的主要包括电子束扫描检测和光学检测两大类，其中电子束检测是基于电子波与被测样品散射作用的一种成像测量方式，得益于电子波的极端波长本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：/n获取待测部件的待处理图像，所述待处理图像包括多个像素图像；/n根据各像素图像的灰度值确定所述像素图像是否为目标像素图像，所述目标像素图像为所述待测部件中待测目标的图像；/n当所述待处理图像中具有目标像素图像时，对目标像素图像进行聚类处理，获取目标区域，所述目标区域包括一个目标像素图像或多个相邻的目标像素图像；/n根据所述目标区域中目标像素图像的数量以及目标像素图像的灰度值确定所述待测目标的尺寸。/n

【技术特征摘要】
1.一种检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：
获取待测部件的待处理图像，所述待处理图像包括多个像素图像；
根据各像素图像的灰度值确定所述像素图像是否为目标像素图像，所述目标像素图像为所述待测部件中待测目标的图像；
当所述待处理图像中具有目标像素图像时，对目标像素图像进行聚类处理，获取目标区域，所述目标区域包括一个目标像素图像或多个相邻的目标像素图像；
根据所述目标区域中目标像素图像的数量以及目标像素图像的灰度值确定所述待测目标的尺寸。


2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述根据所述目标区域中目标像素图像的数量以及目标像素图像的灰度值确定所述待测目标的尺寸，包括：当所述目标区域中具有灰度值大于或等于饱和灰度值的目标像素图像时，根据所述目标区域中目标像素图像的个数获取所述待测目标的尺寸；否则，至少根据所述目标区域中目标像素图像的数量或者目标像素图像的灰度值确定所述待测目标的尺寸。


3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，所述获取待测部件的待处理图像，包括：
通过光探测装置探测所述待测部件返回的信号光，并根据所述信号光获取所述待处理图像；
其中，当所述信号光到达所述光探测装置的饱和光强值时，像素图像具有第一灰度值，所述饱和灰度值小于或等于第一灰度值。


4.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，所述至少根据所述目标区域中目标像素图像的数量或者目标像素图像的灰度值确定所述待测目标的尺寸，包括：
获取标准数量阈值；
当所述目标区域中目标像素图像的个数大于或等于所述标准数量阈值时，根据所述目标区域中目标像素图像的个数获取所述待测目标的尺寸；
否则，至少根据目标像素图像的灰度值确定所述待测目标的尺寸。


5.根据权利要求4所述的检测方法，其特征在于，所述至少根据目标像素图像的灰度值确定所述待测目标的尺寸，包括：
当所述目标区域中目标像素图像的个数为1时，根据目标像素图像的灰度值确定所述待测目标的尺寸；
当所述目标区域中目标像素图像的个数大于1时，分别根据所述目标区域中目标像素图像的数量及目标像素图像的灰度值获取所述待测目标的第一尺寸和第二尺寸，当第一尺寸小于第二尺寸时，取第一尺寸作为所述待测目标的尺寸；否则，以所述第二尺寸作为所述待测目标的尺寸。


6.根据权利要求4所述的检测方法，其特征在于，所述获取标准数量阈值，包括：
获取多个已知尺寸的标准目标的图像；
设置多个预设数量阈值；
分别基于所述预设数量阈值，确定所述标准目标的计算尺寸；
选取与所述标准目标的已知尺寸的误差最小的计算尺寸对应的预设数量阈值，将该预设数量阈值作为所述标准数量阈值。


7.根据权利要求3～6任意一项所述的检测方法，其特征在于，根据所述目标区域中目标像素图像的数量确定所述待测目标的尺寸的方法包括：
设置灰度阈值；
确定所述目标区域中灰度值大于或等于所述灰度阈值的目标像素图像的个数；
根据灰度值大于或等于所述灰度阈值的目标像素图像的个数，获取所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，黄有为，王天民，张嵩，崔高增，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44