一种使用拉簧波纹管的水冷真空插板阀制造技术

本实用新型专利技术公开了一种使用拉簧波纹管的水冷真空插板阀，包括壳体，所述壳体顶部设升降气缸，升降气缸的输出杆朝下进入壳体内部并与密封板连接，密封板下降到最低高度时，对应到壳体上的密封面位置对其进行密封，所述密封板内部设冷却水道并连接一根进水管和出水管，进水管另一端与壳体上的进水口连接，出水管另一端与壳体上的出水口连接，所述进水管和所述出水管均为三层结构的拉簧波纹管，即最内层为波纹管，波纹管外表面套有金属编织网，所述金属编织网外表面盘绕拉簧。本实用新型专利技术的拉簧波纹管外表面坚硬、光滑，对壁面和气缸杆的摩擦大大减小，从而很好地解决了进水管和出水管被摩擦和挤压破坏的风险，从而具有较强的抗变形和抗破坏能力。

【技术实现步骤摘要】
一种使用拉簧波纹管的水冷真空插板阀
本技术涉及一种插板阀，特别是一种使用拉簧波纹管的水冷真空插板阀，用于航天航空、新能源、半导体和化工等
的真空系统。
技术介绍
水冷真空插板阀作为真空系统中的重要元件，具有流导量大、适用温度高、安装简易等特点，被广泛应用于航天航空、新能源、半导体、化工等领域。水冷阀门水冷部位主要分为壳体水冷和内部阀板水冷。因阀门内部阀芯存在驱动机构，结构较为复杂，市场上的壳体水冷插板阀多，内部阀板水冷的插板阀较少。而金属波纹管作为水冷真空插板阀内部阀板水冷结构中的重要元件，主要用于解决阀门内部阀板冷却水输送问题，直接影响着阀门的稳定性、可靠性和操作性等技术指标的高低。目前市面上水冷真空插板阀内部阀板水冷结构主要采用以下两种结构形式：一、阀盖上端活塞式伸缩水冷硬管与内部软管组合设计的阀板水冷结构。这种结构会在阀盖上端焊接与阀板行程等长的活塞管，用于硬管的伸缩。外部水管与硬管连接，对阀板内部通冷却液，进行循环水冷。此种阀板水冷结构对硬管活塞部分的轴向密封要求很高，制造精度和配合精度都较高，当阀板运动快速或运动行程较大时，容易造成伸缩硬管运动卡死。二、采用内部金属软管设计阀板内部水冷循环结构。内部采用适合长度的金属软管，一端与密封板相连，一端通过焊接水嘴与外部水管相连，此种阀板水冷结构采用的金属软管为带编制网套的波纹管，外部结构紧凑美观，但由于金属丝编织网存在表面粗糙，加之阀门内部结构复杂、阀腔空间狭小、执行机构中阀板不断往复运动，导致水冷波纹管易磨损、被挤压、刮伤气缸杆等问题，从而引起阀板漏水、气缸轴向密封处漏气风险。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种使用拉簧波纹管的水冷真空插板阀，采用外壁光滑的拉簧波纹管代替编制网套波纹管作为水冷阀门的阀板水冷循环软管，安全耐用。为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：一种使用拉簧波纹管的水冷真空插板阀，包括壳体，所述壳体顶部设升降气缸，升降气缸的输出杆朝下进入壳体内部并与密封板连接，密封板下降到最低高度时，对应到壳体上的密封面位置对其进行密封，所述密封板内部设冷却水道并连接一根进水管和出水管，进水管另一端与壳体上的进水口连接，出水管另一端与壳体上的出水口连接，所述进水管和所述出水管均为三层结构的拉簧波纹管，即最内层为波纹管，波纹管外表面套有金属编织网，所述金属编织网外表面盘绕拉簧。上述技术方案中，波纹管采用不锈钢材质挤压成型，金属编织网采用优质不锈钢钢丝编织，拉簧采用不锈钢卷制而成。所述金属编织网加在波纹管外增加波纹管的强度和耐磨性，拉簧盘绕在金属丝编织网上，紧密程度适中。拉簧管外表面坚硬、光滑，在阀体内运动时，属于光滑壁面滚动摩擦，对壁面和气缸杆的摩擦大大减小，不易被刮擦，从而很好地解决了密封板在壳体内运动时进水管和出水管被摩擦和挤压破坏的风险，从而具有较强的抗变形和抗破坏能力，大大降低受损概率以及减少维修次数，从提高插板阀的稳定可靠性和经济性。作为优选，所述壳体内部还在密封板升降轨迹两侧设导轨，对密封板进行限位，是的密封板上下更加平稳可靠，也能够延长升降气缸的使用寿命。作为优选，所述进水口和出水口均设置在壳体下部，所述进水管和出水管从下部往上绕过密封板顶部后再向下形成∩字型，再与密封板的冷却水道连通。附图说明图1为本技术的结构示意图。附图标记：1为升降气缸，2为输出杆，3为壳体，4为拉簧波纹管，5为进水口，6为出水口，7为密封板，8为冷却水道，9为密封面。具体实施方式下面结合实施例对本技术作进一步的描述，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，并不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域的普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的其他所用实施例，都属于本技术的保护范围。实施例：一种使用拉簧波纹管的水冷真空插板阀，如图1所示，包括壳体3，所述壳体3顶部设升降气缸1，升降气缸1的输出杆2朝下进入壳体3内部并与密封板7连接，密封板7下降到最低高度时，对应到壳体3上的密封面9位置对其进行密封，所述密封板7内部设冷却水道8并连接一根进水管和出水管，进水管另一端与壳体3上的进水口5连接，出水管另一端与壳体3上的出水口6连接，所述进水管和所述出水管均为三层结构的拉簧波纹管4，即最内层为波纹管，波纹管外表面套有金属编织网，所述金属编织网外表面盘绕拉簧。所述壳体3内部还在密封板7升降轨迹两侧设导轨，对密封板7进行限位。所述进水口5和出水口6均设置在壳体3下部，所述进水管和出水管从下部往上绕过密封板7顶部后再向下形成∩字型，再与密封板7的冷却水道8连通。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种使用拉簧波纹管的水冷真空插板阀，包括壳体(3)，所述壳体(3)顶部设升降气缸(1)，升降气缸(1)的输出杆(2)朝下进入壳体(3)内部并与密封板(7)连接，密封板(7)下降到最低高度时，对应到壳体(3)上的密封面(9)位置对其进行密封，所述密封板(7)内部设冷却水道(8)并连接一根进水管和出水管，进水管另一端与壳体(3)上的进水口(5)连接，出水管另一端与壳体(3)上的出水口(6)连接，其特征在于：所述进水管和所述出水管均为三层结构的拉簧波纹管(4)，即最内层为波纹管，波纹管外表面套有金属编织网，所述金属编织网外表面盘绕拉簧。/n

【技术特征摘要】
1.一种使用拉簧波纹管的水冷真空插板阀，包括壳体(3)，所述壳体(3)顶部设升降气缸(1)，升降气缸(1)的输出杆(2)朝下进入壳体(3)内部并与密封板(7)连接，密封板(7)下降到最低高度时，对应到壳体(3)上的密封面(9)位置对其进行密封，所述密封板(7)内部设冷却水道(8)并连接一根进水管和出水管，进水管另一端与壳体(3)上的进水口(5)连接，出水管另一端与壳体(3)上的出水口(6)连接，其特征在于：所述进水管和所述出水管均为三层结构的拉簧波纹管(4)，即最内层为波纹管，波...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，宋敏，郑玉兴，秦艺，罗兴维，余明燕，
申请(专利权)人：四川九天真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51