【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】防尘薄膜组件框架把持装置及防尘薄膜组件框架把持方法
本专利技术涉及防尘薄膜组件框架把持装置及防尘薄膜组件框架把持方法。
技术介绍
在专利文献1中公开了如下那样的防尘薄膜组件框架把持装置：通过将防尘薄膜组件把持构件插入形成于防尘薄膜组件框架周缘的槽中来把持防尘薄膜组件，进行把持的防尘薄膜组件与被沿大致铅垂方向把持的光掩模的对位，并通过将防尘薄膜组件按压于光掩模来将防尘薄膜组件粘贴于光掩模。在先技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2016/133054号
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献1所记载的专利技术中，在将防尘薄膜组件粘贴于光掩模之后，通过将防尘薄膜组件把持构件从槽拔出来释放防尘薄膜组件，但若在防尘薄膜组件未可靠地粘贴于光掩模的状态下将防尘薄膜组件释放，则有可能防尘薄膜组件落下。本专利技术是鉴于上述那样的情况而提出的，其目的在于，提供一种能够对防尘薄膜组件可靠地粘贴于掩模的情况进行确认的防尘薄膜组件框架把持装置及防尘薄膜组件框架把持方法。用于
【技术保护点】
1.一种防尘薄膜组件框架把持装置，其把持防尘薄膜组件，并将所述防尘薄膜组件粘贴于在大致铅垂方向上保持的大致板状的掩模，所述防尘薄膜组件具有：大致中空筒状的防尘薄膜组件框架；防尘薄膜，其以覆盖防尘薄膜组件框架的中空部的方式设置于所述防尘薄膜组件框架的与外周面大致正交的第一面；以及粘接构件，其设置于与所述第一面大致平行的第二面，其特征在于，/n所述防尘薄膜组件框架把持装置具备：/n框体，其是将多个棒材组合成大致矩形形状而成的框状的构件；/n防尘薄膜组件把持部，其设置于所述框体，对所述防尘薄膜组件框架的所述外周面进行把持；/n计测部，其设置于所述框体；以及/n控制部，其对所述框体...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180125 JP 2018-0109991.一种防尘薄膜组件框架把持装置，其把持防尘薄膜组件，并将所述防尘薄膜组件粘贴于在大致铅垂方向上保持的大致板状的掩模，所述防尘薄膜组件具有：大致中空筒状的防尘薄膜组件框架；防尘薄膜，其以覆盖防尘薄膜组件框架的中空部的方式设置于所述防尘薄膜组件框架的与外周面大致正交的第一面；以及粘接构件，其设置于与所述第一面大致平行的第二面，其特征在于，
所述防尘薄膜组件框架把持装置具备：
框体，其是将多个棒材组合成大致矩形形状而成的框状的构件；
防尘薄膜组件把持部，其设置于所述框体，对所述防尘薄膜组件框架的所述外周面进行把持；
计测部，其设置于所述框体；以及
控制部，其对所述框体、所述防尘薄膜组件把持部以及所述计测部进行控制，
所述计测部设置为能够在前端附近与所述掩模重叠的第一位置、和所述前端附近与所述防尘薄膜组件框架重叠的第二位置之间移动，
从与所述棒材的延伸设置方向大致正交的方向观察时，所述防尘薄膜组件把持部与所述计测部设置于不同的位置，
在所述防尘薄膜组件把持部把持所述防尘薄膜组件框架，并且将所述框体沿大致垂直方向延伸设置以使所述粘接构件与所述掩模抵接的状态下，所述控制部将所述计测部配置于所述第一位置以测定至所述掩模的表面的距离即第一距离，使所述计测部向所述第二位置移动以测定至所述防尘薄膜的距离即第二距离。
2.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件框架把持装置，其特征在于，
所述防尘薄膜组件把持部具有防尘薄膜组件把持构件，该防尘薄膜组件把持构件设置为能够在与所述外周面抵接的抵接位置、和不与所述外周面抵接的退避位置之间，沿水平方向或垂直方向移动，
所述框体能够沿水平方向移动，
所述控制部将所述防尘薄膜组件把持构件向所述抵接位置配置以把持所述防尘薄膜组件框架，在将所述框体沿大致垂直方向延伸设置的状态下使所述框体沿水平方向移动以使所述粘接构件与所述掩模抵接，将所述计测部配置于所述第一位置以测定所述第一距离，使所述计测部向所述第二位置移动以测定所述第二距离，在所述第一距离与所述第二距离之差为阈值以下的情况下，能够使所述防尘薄膜组件把持构件从所述抵接位置向所述退避位置移动。
3.根据权利要求1或2所述的防尘薄膜组件框架把持装置，其特征在于，
所述计测部在使所述粘接构件与所述掩模抵接时的姿态下，具有设...
【专利技术属性】
技术研发人员：米泽良，佐藤敬行，及川昴，
申请(专利权)人：株式会社V技术，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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