一种排片机原点校正系统技术方案

本发明专利技术属于半导体加工设备技术领域，特别是一种排片机原点校正系统，所述系统包括：加热台和XY部件，所述加热台在垂直方向上设有原点定位针，所述XY部件为四方形，所述XY部件通过连接板连接有Z轴机械手，所述Z轴机械手的底部还设有夹爪；其中，所述Z轴机械手从上往下依次设有滑板和轴承座，述滑块设置在所述连接板下方，所述夹爪包括基座和锥度块，所述锥度块包括校正针和校正针安装座。本发明专利技术的有益效果为：实现了高精度定位，提高了设备调试的工作效率，在实际生产中能够得到良好的推广和应用。

【技术实现步骤摘要】
一种排片机原点校正系统
本专利技术属于半导体加工设备
，特别是一种排片机原点校正系统。
技术介绍
随着微电子技术的发展，半导体电器元件的加工设备逐渐向自动化方向发展，在封装片料的自动排片机中，移料装置把封装片料送至工作台的夹持底架上相应的位置，然后夹持顶架配合夹持底架将封装片料夹持住并把封装片料移动到塑封机进行塑封。但是，在现有的半导体加工设备中，设备是长时间不间断的生产，且原材料会根据不同的料片进行更改，在此情况下，有可能造成机械手带动夹爪抓取料片的定位精度降低，或者在生产过程中，因原材料料片不同而重新定位，再生产过程中，会存在一定的盲目性，对设备调试工作带来麻烦。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种排片机原点校正系统。为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案予以实现：一种排片机原点校正系统，包括：加热台和XY部件，所述加热台在垂直方向上设有原点定位针，所述XY部件为四方形，所述XY部件通过连接板连接有Z轴机械手，所述Z轴机械手的底部还设有夹爪；其中，所述Z轴机械手从上往下依次设有滑板和轴承座，述滑块设置在所述连接板下方，所述夹爪包括基座和锥度块，所述锥度块包括校正针和校正针安装座。进一步的，所述加热台上还设有可移动的预热座安装板，所述原点定位针安装在所述预热座安装板上。进一步的，所述基座包括直线轴承安装块和滚珠轴承安装块。进一步的，所述Z轴机械手穿过所述XY部件设置，所述夹爪与所述Z轴机械手过盈配合。>一种排片机原点校正系统的使用方法，首先在加热台上垂直安装好原点定位针，再在XY部件上设置Z轴机械手，再在Z轴机械手上依次设置连接板、滑板和轴承座，继续在Z轴机械手下方安装夹爪，当Z轴机械手带动夹爪抓取料片，定位精度降低时，或因原材料料片不同，需重新定位时，可在XY部件与所述Z轴机械手所组成的三维坐标系内选取一个固定的坐标原点，并以此坐标原点为基础，在加热台上核对所述原点定位针的位置精度，此时，控制夹爪上的校正针与所述原点定位针进行定位，以达到高精度定位，实现原点校正。与现有技术相比，本专利技术具有以下技术效果：在本专利技术中，通过增加校正针和原点定位针，有效的解决了机械手带动夹爪抓取料片的定位精度降低，或者在生产过程中，因原材料料片不同而重新定位的问题，实现了高精度定位，提高了设备调试的工作效率，此外，在实际生产中能够得到良好的推广和应用。本专利技术的其他特征和优点将在随后的具体实施方式中予以详细说明。附图说明图1为本专利技术提供的一种排片机原点校正系统的剖视结构示意图；图2为图1中A处结构放大示意图；图3为图1中B处结构放大示意图；图中标号说明：1-加热台，11-原点定位针，12-预热座安装板，2-XY部件，21-连接板，3-夹爪，31-基座，311-直线轴承安装块，312-滚珠轴承安装块，32-锥度块，321-校正针，322-校正针安装座，4-Z轴机械手，41-滑板，42-轴承座。具体实施方式为了使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体附图，进一步阐明本专利技术。需要说明的是，在本专利技术中，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文中所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。如图1至图3所示，本专利技术提供一种排片机原点校正系统，包括：加热台1和XY部件2，所述加热台1在垂直方向上设有原点定位针11，所述XY部件2为四方形，所述XY部件2通过连接板21连接有Z轴机械手4，所述Z轴机械手4的底部还设有夹爪3；其中，所述Z轴机械手4从上往下依次设有滑板41和轴承座42，述滑块41设置在所述连接板21下方，所述夹爪3包括基座31和锥度块32，所述锥度块32包括校正针321和校正针安装座322，所述校正针321安装在所述校正针安装座322上，所述基座31包括直线轴承安装块311和滚珠轴承安装块312，使基座31可直线或旋转移动，从而使夹爪3可多方位工作。在现有技术中，半导体加工设备是长时间不间断的生产，且原材料会根据不同的料片进行更改，在此情况下，有可能造成机械手带动夹爪3抓取料片的定位精度降低，或者在生产过程中，因原材料料片不同而重新定位，再生产过程中，会存在一定的盲目性，对设备调试工作带来麻烦。而在本专利技术中，通过校正针321与原点定位针11的使用，有效的解决了机械手带动夹爪3抓取料片的定位精度降低，或者在生产过程中，因原材料料片不同而重新定位的问题，如此，便可实现设备在生产过程中的高精度定位，提高了设备调试的工作效率。进一步的，所述加热台1上还设有可移动的预热座安装板12，所述原点定位针11安装在所述预热座安装板12上，在本专利技术中，所述原点定位针11用于在所述XY部件2与所述Z轴机械手4构成的三维空间内固定一定点，而预热座安装板12的使用可使所述原点定位针11固定在三维空间内任意一点，可适应不同工况的工作环境，扩大了使用范围。进一步的，所述Z轴机械手4穿过所述XY部件2设置，所述夹爪3与所述Z轴机械手4过盈配合。本专利技术提供的一种排片机原点校正系统的使用方法为：首先在加热台1上垂直安装好原点定位针11，再在XY部件2上设置Z轴机械手4，再在Z轴机械手4上依次设置连接板21、滑板41和轴承座42，继续在Z轴机械手4下方安装夹爪3，当Z轴机械手4带动夹爪3抓取料片，定位精度降低时，或因原材料料片不同，需重新定位时，可在XY部件2与所述Z轴机械手4所组成的三维坐标系内选取一个固定的坐标原点，并以此坐标原点为基础，在加热台1上核对所述原点定位针11的位置精度，此时，控制夹爪3上的校正针321与所述原点定位针11进行定位，以达到高精度定位，实现原点校正。以上显示和描述了本专利技术的基本原理、主要特征和本专利技术的特点。本行业的技术人员应该了解，本专利技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本专利技术的原理，在不脱离本专利技术精神和范围的前提下，本专利技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本专利技术的范围内。本专利技术要求保护的范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种排片机原点校正系统，其特征在于，包括：/n加热台，其在垂直方向上设有原点定位针；/nXY部件，其为四方形，所述XY部件通过连接板连接有Z轴机械手，所述Z轴机械手的底部还设有夹爪；/n其中，所述Z轴机械手从上往下依次设有滑板和轴承座，述滑块设置在所述连接板下方，所述夹爪包括基座和锥度块，所述锥度块包括校正针和校正针安装座。/n

【技术特征摘要】
1.一种排片机原点校正系统，其特征在于，包括：
加热台，其在垂直方向上设有原点定位针；
XY部件，其为四方形，所述XY部件通过连接板连接有Z轴机械手，所述Z轴机械手的底部还设有夹爪；
其中，所述Z轴机械手从上往下依次设有滑板和轴承座，述滑块设置在所述连接板下方，所述夹爪包括基座和锥度块，所述锥度块包括校正针和校正针安装座。


2.根据权利要求1所述的排片机原点校正系统，其特征在于，所述加热台上还设有可移动的预热座安装板，所述原点定位针安装在所述预热座安装板上。


3.根据权利要求1所述的排片机原点校正系统，其特征在于，所述基座包括直线轴承安装块和滚珠轴承安装块。

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【专利技术属性】
技术研发人员：汪山，陆乐，宫林，徐善林，曹玉堂，汪宗华，周虹，
申请(专利权)人：文一三佳合肥机器人智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34