【技术实现步骤摘要】
一种基于驻极体的可重构驱动电压RFMEMS开关及其制备方法
本专利技术涉及射频微机电
，具体涉及一种基于驻极体的可重构驱动电压RFMEMS开关及其制备方法。
技术介绍
RFMEMS(射频微机电系统)开关是指利用MEMS技术加工出来的尺寸在微米到毫米量级的器件，用于射频和微波信号的导通和断开。它主要是由两个部分组成：机械部分(执行)和电学部分。其机械部分主要以静电、静磁、压电或热原理为机械运动提供驱动力，实现开关的横向或纵向运动；而电学部分可以采用串联或并联方式排列，可以是金属-金属接触或电容耦合。由于基于静电执行开关具有零直流功耗、小的结构电极、相对短的开关时间(μs)、较小的接触力(50～200μN)以及可用高阻偏置线给开关施加偏压等优势，所以静电执行是目前使用的最普遍的技术。目前，消费类无线通讯设备以及某些特殊工作环境的雷达系统仅能提供低驱动电压，若需要提高基于静电原理的RFMEMS开关的驱动电压必须增加向上变换器。所增加的变换器必然引起额外尺寸、功耗和成本问题。通过设计RFMEMS开关的结构，例如...
【技术保护点】
1.一种基于驻极体的可重构驱动电压RF MEMS开关，其特征在于，包括：/n固支梁，设置在第二衬底上，所述第二衬底上设置凹槽，所述固支梁的中部位于所述凹槽的槽口，所述固支梁的两端远离所述第二衬底的一面设置第一键合结构；/nCPW结构，设置在第一衬底上，所述CPW结构包括CPW信号线以及位于所述CPW信号线两侧的CPW地线，所述CPW信号线与所述CPW地线相互平行；所述CPW地线上设置第二键合结构，所述固支梁通过所述第一键合结构与所述第二键合结构的键合工艺设置在所述CPW结构上；/n驱动电极，设置在所述第一衬底上，位于所述CPW信号线与所述CPW地线之间；以及/n充电结构，设...
【技术特征摘要】
1.一种基于驻极体的可重构驱动电压RFMEMS开关，其特征在于，包括：
固支梁，设置在第二衬底上，所述第二衬底上设置凹槽，所述固支梁的中部位于所述凹槽的槽口，所述固支梁的两端远离所述第二衬底的一面设置第一键合结构；
CPW结构，设置在第一衬底上，所述CPW结构包括CPW信号线以及位于所述CPW信号线两侧的CPW地线，所述CPW信号线与所述CPW地线相互平行；所述CPW地线上设置第二键合结构，所述固支梁通过所述第一键合结构与所述第二键合结构的键合工艺设置在所述CPW结构上；
驱动电极，设置在所述第一衬底上，位于所述CPW信号线与所述CPW地线之间；以及
充电结构，设置在所述第一衬底上，所述充电结构包括驻极体以及压焊块，所述驻极体设置在所述驱动电极上，所述压焊块通过金属连接线与所述驱动电极连接。
2.根据权利要求1所述的基于驻极体的可重构驱动电压RFMEMS开关，其特征在于，所述驻极体包括氮化硅绝缘介质层以及二氧化硅层，所述二氧化硅层设置在所述驱动电极远离所述第一衬底的一面上，所述氮化硅绝缘介质层设置在所述二氧化硅层远离所述驱动电极的一面上。
3.根据权利要求2所述的基于驻极体的可重构驱动电压RFMEMS开关，其特征在于，每个所述CPW地线上设置一条缝隙，所述金属连接线的一端与所述驱动电极连接，所述金属连接线的另一端穿过所述缝隙与所述压焊块连接。
4.根据权利要求3所述的基于驻极体的可重构驱动电压RFMEMS开关，其特征在于，因所述缝隙中断的所述CPW地线通过空气桥连接，所述空气桥下方正对的所述金属连接线上设置氮化硅绝缘介质层。
5.根据权利要求4所述的基于驻极体的可重构驱动电压RFMEMS开关，其特征在于，所述第一衬底上设置U型槽，所述U型槽的轴线与所述CPW信号线平行，所述CPW信号线以及所述驱动电极位于所述U型槽内。
6.根据权利要求5所述的基于驻极体的可重构驱动电压RFMEMS开关，其特征在于，所述第一衬底靠近所述CPW结构的一面以及所述第二衬底靠近...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓东，郑从兵，张志强，韩磊，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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