【技术实现步骤摘要】
一种二次离子质谱仪测试用样品架
本技术涉及专用测试样品架，尤其涉及一种二次离子质谱仪测试用样品架。该样品架适用于二次离子质谱仪测试装载样品时使用，特别适合大批量样品标准化测试。
技术介绍
二次离子质谱仪是从国外引进的大型测试仪器，价格昂贵，是检测高纯半导体材料痕量杂质必不可少的工具，样品架是其关键的一个组件，关系到样品测试的准确性和均匀性。仪器引进时配备的样品架，前挡片机械强度不够，容易变形，造成电场不均匀，测试误差较大，而且耐磨性差；孔的大小、数量及均匀性都不适合均匀装载数量较多的样品；另外用来调节样品厚度和压力的弹簧太硬，压力大，经常导致前挡片脱焊；内六角固定螺丝采用不锈钢制成，易被磨损，使用次数多了就出现螺丝溢扣的现象；背面压块重量不够，通常还需要人为的再加上一定的压力才能将样品压紧，力度不可控，很容易压不实或力过大造成前挡片从基座脱焊。
技术实现思路
鉴于现有样品架存在的各种弊端，本技术提供一种二次离子质谱仪测试用样品架。新型的样品架旨在解决装载样品较少、测试结果重复性差、操作不便、易损坏等问题。本技术为实现上述目的采用的技术方案是：一种二次离子质谱仪测试用样品架，其特征在于：所述样品架包括样品架基座、前挡片、背压块、固定螺丝和弹簧；前挡片开有十个大小相等的正方形方孔，分布均匀对称，前挡片焊接在样品架基座上；背压块通过固定螺丝固定在样品架基座上，弹簧的上端置于背压块底部，下端压住装载后的样品，使样品与前挡片充分接触。本技术所述弹簧是采用磷铜丝制成的塔形弹簧。本技术所...
【技术保护点】
1.一种二次离子质谱仪测试用样品架，其特征在于：所述样品架包括样品架基座（1）、前挡片（2）、背压块（3）、固定螺丝（4）和弹簧（5）；前挡片（2）开有十个大小相等的正方形方孔，分布均匀对称，前挡片（2）焊接在样品架基座（1）上；背压块（3）通过固定螺丝（4）固定在样品架基座（1）上，弹簧（5）的上端置于背压块（3）底部，下端压住装载后的样品（6），使样品（6）与前挡片（2）充分接触。/n
【技术特征摘要】
1.一种二次离子质谱仪测试用样品架，其特征在于：所述样品架包括样品架基座（1）、前挡片（2）、背压块（3）、固定螺丝（4）和弹簧（5）；前挡片（2）开有十个大小相等的正方形方孔，分布均匀对称，前挡片（2）焊接在样品架基座（1）上；背压块（3）通过固定螺丝（4）固定在样品架基座（1）上，弹簧（5）的上端置于背压块（3）底部，下端压住装载后的样品（6），使样品（6）与前挡片（2）充分接触。
2.如权利要求1所述的一种二次离子质谱仪测试用样品架，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：马农农，何友琴，陈潇，张鑫，王东雪，杨东海，孙雪莲，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十六研究所，
类型：新型
国别省市：天津;12
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。