【技术实现步骤摘要】
一种新型探针卡检测设备
本技术涉及检测设备领域,特别涉及一种新型探针卡检测设备。
技术介绍
如IC市场一样,探针卡制造业有着庞大的市场,自从IC的专利技术后,数十年来,每一颗芯片在从晶圆上切割下来前,都需要使用探针卡进行测试,探针卡由探针、固定环、PCB等组成,其中的探针是整个探针卡的核心,探针通常由导电性能良好的合金构成,所有的探针都固定安装在一个特别设计的PCB板上,探针的尖端面积非常小,通常直径仅有几十到几百微米且长度在3-10mm,探针卡在使用前需要对其进行检测,然而现有的探针卡检测设备在使用时存在一定的弊端,例如检测时探针卡固定在背板上无法调节检测角度。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种新型探针卡检测设备,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种新型探针卡检测设备,包括工作台,所述工作台上表面活动安装有调节机构,所述调节机构表面固定安装有固定机构,所述工作台表面位于调节机构两侧固定安装有固定支架,所述固定支架上固定安装有安装座,所述安装座上 ...
【技术保护点】
1.一种新型探针卡检测设备,其特征在于:包括工作台(4),所述工作台(4)上表面活动安装有调节机构(2),所述调节机构(2)表面固定安装有固定机构(8),所述工作台(4)表面位于调节机构(2)两侧固定安装有固定支架(9),所述固定支架(9)上固定安装有安装座(6),所述安装座(6)上固定安装有显微镜(10),所述安装座(6)下表面固定安装有照明灯(1),所述工作台(4)表面位于固定支架(9)一侧固定安装有控制面板(3),所述工作台(4)表面位于固定支架(9)另一侧固定安装有显示屏幕(7),所述工作台(4)下表面位于四角位置均固定安装有固定支脚(5)。/n
【技术特征摘要】
1.一种新型探针卡检测设备,其特征在于:包括工作台(4),所述工作台(4)上表面活动安装有调节机构(2),所述调节机构(2)表面固定安装有固定机构(8),所述工作台(4)表面位于调节机构(2)两侧固定安装有固定支架(9),所述固定支架(9)上固定安装有安装座(6),所述安装座(6)上固定安装有显微镜(10),所述安装座(6)下表面固定安装有照明灯(1),所述工作台(4)表面位于固定支架(9)一侧固定安装有控制面板(3),所述工作台(4)表面位于固定支架(9)另一侧固定安装有显示屏幕(7),所述工作台(4)下表面位于四角位置均固定安装有固定支脚(5)。
2.根据权利要求1所述的一种新型探针卡检测设备,其特征在于:所述调节机构(2)包括防尘罩(201)、安装槽(202)、调节支座(203)和轴承(204),所述安装槽(202)开设于工作台(4)表面,所述安装槽(202)内固定安装有轴承(204),所述安装槽(202)内位于轴承(204)上固定安装有调节支座(203),所述调节支座(203)表面套设有防尘罩(201)。
3.根据权利要求2所述的一种新型探针卡检测设备,...
【专利技术属性】
技术研发人员:王艾琳,赵梁玉,于海超,
申请(专利权)人:强一半导体苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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