导电性组合物与其制造方法以及水溶性聚合物与其制造方法技术

本发明专利技术的导电性组合物含有导电性聚合物(A)、水溶性聚合物(B)和溶剂(C1)，所述水溶性聚合物(B)含有下述通式(11)所表示的水溶性聚合物(B11)，所述水溶性聚合物(B)中的下述通式(2)所表示的水溶性聚合物(B2)的含量相对于所述导电性组合物的总质量为0.15质量％以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】导电性组合物与其制造方法以及水溶性聚合物与其制造方法
本专利技术涉及导电性组合物与其制造方法以及水溶性聚合物与其制造方法。本申请基于2018年1月26日于日本提出申请的特愿2018-011446号主张优先权，在此援引其内容。
技术介绍
使用了电子束或离子束等的带电粒子束的图案形成技术作为光刻法的新一代技术而受到期待。使用带电粒子束时，要提高生产率，提高抗蚀剂的灵敏度很重要。因此，使曝光部分或被带电粒子束照射到的部分产生酸，接着通过所谓曝光后烘烤(PEB)处理的加热处理促进交联反应或者分解反应的高灵敏度的化学增幅型抗蚀剂的使用正在成为主流。然而，在使用带电粒子束的图案形成方法中，尤其基板为绝缘性的情况时，存在由于基板带电(chargeup)而产生的电场导致带电粒子束的轨道发生弯曲、难以得到期望的图案这样的课题。作为解决该课题的手段，已知在抗蚀剂层的表面涂布含有导电性聚合物的导电性组合物来形成涂膜，用所述涂膜包覆抗蚀剂层的表面，对抗蚀剂层赋予抗静电功能的技术是有效的。通常，将含有导电性聚合物的导电性组合物适用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种导电性组合物，是含有导电性聚合物A、水溶性聚合物B和溶剂C1的导电性组合物，/n所述水溶性聚合物B含有下述通式(11)所表示的水溶性聚合物B11，/n相对于所述导电性组合物的总质量，所述水溶性聚合物B中的下述通式(2)所表示的水溶性聚合物B2的含量为0.15质量％以下，/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180126 JP 2018-0114461.一种导电性组合物，是含有导电性聚合物A、水溶性聚合物B和溶剂C1的导电性组合物，
所述水溶性聚合物B含有下述通式(11)所表示的水溶性聚合物B11，
相对于所述导电性组合物的总质量，所述水溶性聚合物B中的下述通式(2)所表示的水溶性聚合物B2的含量为0.15质量％以下，



式(11)中，R1表示碳原子数6～20的直链或支链烷基，Y1表示单键、-S-、-S(＝O)-、-C(＝O)-O-或者-O-，p1表示平均重复数且为1～50的数，m是1～5的数，



式(2)中，R4、R5各自独立地表示甲基或者乙基，R6表示亲水性基团，R7表示氢原子或者甲基，Z表示氰基或者羟基，q表示平均重复数且为1～50的数。


2.一种导电性组合物，是含有导电性聚合物A、水溶性聚合物B、溶剂C1和碱性化合物D的导电性组合物，
所述水溶性聚合物B含有下述通式(1)所表示的水溶性聚合物B1，
相对于所述导电性组合物的总质量，所述水溶性聚合物B中的下述通式(2)所表示的水溶性聚合物B2的含量为0.15质量％以下，



式(1)中，R1表示碳原子数6～20的直链或支链烷基，R2表示亲水性基团，R3表示氢原子或者甲基，Y1表示单键、-S-、-S(＝O)-、-C(＝O)-O-或者-O-，p1表示平均重复数且为1～50的数，



式(2)中，R4、R5各自独立地表示甲基或者乙基，R6表示亲水性基团，R7表示氢原子或者甲基，Z表示氰基或者羟基，q表示平...

【专利技术属性】
技术研发人员：牧川早希，佐伯慎二，入江嘉子，鹈泽正志，山嵜明，
申请(专利权)人：三菱化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP