压电元件、液体喷出头以及打印机制造技术

本发明专利技术提供一种难以产生裂纹的压电元件的压电元件、液体喷出头以及打印机。压电元件包括：第一电极，其被设置于基体上；第二电极；压电体层，其被设置于所述第一电极与所述第二电极之间，并且包含含有钾、钠以及铌的钙钛矿型结构的复合氧化物，所述压电体层的所述第二电极侧的面通过由第一粒子组成的第一区域和由第二粒子组成的第二区域而构成，所述第一区域上的凹凸的高度大于所述第二区域上的凹凸的高度，在所述压电体层的所述面中，所述第一区域的占有面积为10.0％以下。

【技术实现步骤摘要】
压电元件、液体喷出头以及打印机
本专利技术涉及一种压电元件、液体喷出头以及打印机。
技术介绍
作为液体喷出头的代表例，例如有一种喷墨式记录头，所述喷墨式记录头通过利用压电元件来使振动板变形并对压力产生室的油墨进行加压，以该油墨作为油墨滴而从喷嘴孔喷出。作为被用于喷墨式记录头的压电元件，存在通过用两个电极来夹持由呈现出机电转换功能的压电材料、例如由结晶化了的电介质材料而构成的压电体层，从而被构成的元件。对于作为这样的压电体层而被使用的压电材料，要求较高的压电特性，作为压电材料的代表例，例如如专利文献1中所记载的那样，可以列举锆钛酸铅(Pb(Zr，Ti)O3：PZT)，且以被薄膜化的方式而被使用。但是，由于在PZT中包含有铅，因此从环境问题的观点来看，要求一种不含铅的压电材料。作为不含铅的压电材料，已经研究出了铌酸钾钠((K，Na)NbO3：KNN)。虽然对于KNN也希望薄膜化，但是在对KNN层进行成膜时，有时会产生裂纹。尤其是，当通过化学溶液沉积(ChemicalSolutionDeposition，CSD)法而对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电元件，包括：/n第一电极，其被设置于基体上；/n第二电极；/n压电体层，其被设置于所述第一电极与所述第二电极之间，并且包含含有钾、钠、以及铌的钙钛矿型结构的复合氧化物，/n所述压电体层的所述第二电极侧的面通过由第一粒子组成的第一区域和由第二粒子组成的第二区域而构成，/n所述第一区域上的凹凸的高度大于所述第二区域上的凹凸的高度，/n在所述压电体层的所述面中，所述第一区域的占有面积为10.0％以下。/n

【技术特征摘要】
20190226 JP 2019-0325931.一种压电元件，包括：
第一电极，其被设置于基体上；
第二电极；
压电体层，其被设置于所述第一电极与所述第二电极之间，并且包含含有钾、钠、以及铌的钙钛矿型结构的复合氧化物，
所述压电体层的所述第二电极侧的面通过由第一粒子组成的第一区域和由第二粒子组成的第二区域而构成，
所述第一区域上的凹凸的高度大于所述第二区域上的凹凸的高度，
在所述压电体层的所述面中，所述第一区域的占有面积为10.0％以下。


2.如权利要求1所述的压电元件，其中，
在将所述压电体层的结晶结构视为准立方晶的情况下，
所述压电体层为(100)择优取向。


3.如权利要求2或3所述的压电元件，其中，
在将所述压电体层的结晶结构视为准立方晶的情况下，
所述第一区域为(111)取向，
所述第二区域为(100)取向。


4.一种压电元件，包括：
第一电极，其被设置于基体上；
第二电极；
压电体层，其被设置于所述第一电极与所述第二电极之间，并且包含含有钾、钠、以及铌的钙钛矿型结构的复合氧化物，
在将所述压电体层的结晶结构视为准立方晶的情况下，
所述压电体层具有(11...

【专利技术属性】
技术研发人员：米村贵幸，降旗荣道，掛村康人，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP