本实用新型专利技术公开了一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置，包括机壳、振动发生机构和底板，振动发生机构设置在机壳的内部，振动发生机构与底板相连接，底板的底面设置有拉丝结构，拉丝结构由上至下依次设置有第一棉层、第二棉层和拉丝层。第一棉层覆盖胶接于底板的底面；第二棉层包覆第一棉层的底面，第二棉层的周边部与底板周边部相连接；拉丝层由胶水砂砾混合物干固形成，胶水砂砾混合物涂抹于第二棉层的底面，胶水砂砾混合物的涂抹长度不小于底板的宽度。与现有技术相比，本实用新型专利技术使平面靶材表面拉丝形成有规律的、相对统一的拉丝纹理，以方便客户进行靶材验收。
【技术实现步骤摘要】
一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置
本技术涉及平面靶材生产设备
，尤其是涉及一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置。
技术介绍
溅射过程不影响靶材合金、混合材质的比例和性质，所以如果是表面容易变质的靶材，如果不抛光去除表面变质部分，沉积到基材上的膜层性质就是表面变质的杂质。比如铝靶材等活性金属靶材，长期暴露在大气中，表面容易形成一层氧化皮，在直流脉冲、中频溅射过程中，离子撞击的能量不足以破坏氧化皮，所以一般在溅射的时候进行物理抛光。靶材厂家在出货前，一般会按客户要求进行平面靶材表面抛光。平面靶材的表面粗糙度具有相应的生产规格，其规格范围一般设置为Ra0.5～0.8。但是，由于各厂家的抛光工艺各不相同，造成相同规格的平面靶材的表面纹理的区别，难以辨识，不利于客户的表面验收和比较。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置，在平面靶材抛光周期的末尾，对靶材表面进行一次一致性的纹理拉丝处理，提高靶材表面纹理的一致性以及均匀性，从而方便客户进行靶材表面检查以及比较。为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案是：一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置，包括机壳、振动发生机构和底板，振动发生机构设置在机壳的内部，振动发生机构与底板相连接，底板的底面设置有拉丝结构，拉丝结构由上至下依次设置有第一棉层、第二棉层和拉丝层。第一棉层覆盖胶接于底板的底面；第二棉层包覆第一棉层的底面，第二棉层的周边部与底板周边部相连接；拉丝层由胶水砂砾混合物干固形成，胶水砂砾混合物涂抹于第二棉层的底面，胶水砂砾混合物的涂抹长度不小于底板的宽度。本技术所提供的一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置，用作于平面靶材表面抛光处理的最后一个工作步骤，在平面靶材表面拉丝形成有规律的、相对统一的拉丝纹理，以方便客户进行靶材验收。在进一步的技术方案中，拉丝层的粒度设置为100μm～150μm。在进一步的技术方案中，第一棉层的厚度大于第二棉层的厚度，第一棉层选用无砂型的百洁布，第二棉层选用含砂型的百洁布。在进一步的技术方案中，作为第二棉层的百洁布的粒度设置为80μm～120μm，第二棉层的粒度小于拉丝层的粒度。在进一步的技术方案中，拉丝层包括至少一个砂胶涂带，砂胶涂带沿底板的宽度方向涂抹设置，砂胶涂带的两端分别延伸至底板宽度方向的两侧边之外，砂胶涂带的涂抹宽度设置为0.2cm～1cm。在进一步的技术方案中，拉丝层包括有多个砂胶涂带，各砂胶涂带分别弯曲形成不同或相同的标识图形，相邻的两个砂胶涂带之间形成有设定的间距。在进一步的技术方案中，振动发生机构包括电机、偏心轴、配重块和轴承。电机固定在机壳的中上部，电机具有一输出轴；偏心轴连接于电机的输出轴；配重块和轴承套设于偏心轴，配重块与轴承套之间上下贴合设置，底板的顶部与轴承相连接；机壳的中部设置有散热结构，散热结构与电机的输出轴相连接。在进一步的技术方案中，散热结构包括一风叶，风叶的圆周部等角度设置有多个扇叶，在风叶靠近扇叶的内侧开设有多个上下贯穿设置的通孔，各通孔分别分布于相邻的两个扇叶之间，且相邻的两个通孔之间形成相等的角度间隔。在进一步的技术方案中，配重块有金属或合金制成。在进一步的技术方案中，在底板相对的两侧分别设置有一夹紧装置，第二棉层包覆第一棉层的底面，第二棉层相应的两个侧部分别卷翘设置，这两个第二棉层的卷翘部分分别连接于相应的夹紧装置。采用上述结构后，本技术和现有技术相比所具有的优点是：本技术所提供的一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置，用作于平面靶材表面抛光处理的最后一个工作步骤，在平面靶材表面拉丝形成有规律的、相对统一的拉丝纹理，以方便客户进行靶材验收；本技术所提供的一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置，通过在底板底面设置可拆卸的第二棉层进行拉丝纹理处理，第二棉层可替换使用，成本低，拉丝效果好；本技术所提供的一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置，通过在百洁布底面进行胶水砂砾混合物的涂抹处理，形成拉丝结构，形成难度低，操作简单，进一步降低生产成本。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的结构示意图。图2是本技术的俯视角度的结构示意图。图3是本技术的拉丝结构的截面图。图中：1-机壳、2-底板、21-夹紧装置、3-第一棉层、4-第二棉层、41-拉丝层。具体实施方式以下仅为本技术的较佳实施例，并不因此而限定本技术的保护范围。一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置，如图1至图3所示，包括机壳1、振动发生机构和底板2，振动发生机构设置在机壳1的内部，振动发生机构与底板2相连接，底板2的底面设置有拉丝结构，拉丝结构由上至下依次设置有第一棉层3、第二棉层4和拉丝层41。第一棉层3覆盖胶接于底板2的底面；第二棉层4包覆第一棉层3的底面，第二棉层4的周边部与底板2周边部相连接；拉丝层41由胶水砂砾混合物干固形成，胶水砂砾混合物涂抹于第二棉层4的底面，胶水砂砾混合物的涂抹长度不小于底板2的宽度。本技术提供的拉丝装置，通过在第二棉层4的底面设置拉丝层41，对完成抛光处理的平面靶材的表面进行拉丝纹理处理，使平面靶材的表面纹理具有规律性和统一性，以方便客户进行靶材验收以及区别于不同厂家的靶材。其原理是，第二棉层4的研磨面具有不同粒度的研磨作用区，通过拉丝装置对平面靶材表面进行一次的单向整副研磨，粒度大的研磨作用区在平面靶材表面的形成拉丝纹理。较好的实施方式是，拉丝层41的粒度设置为120μm，粒度为120μm拉丝层41，能够在纯铜、纯铝等软质基片表面形成浅层拉丝纹理，且不会破坏基片的光滑性质。具体地，第一棉层3的厚度大于第二棉层4的厚度，第一棉层3选用无砂型的百洁布，第二棉层4选用含砂型的百洁布。作为第一棉层3的百洁布的厚度大于第二棉层4的百洁布，其原理是，作为第一棉层3的百洁布的作用是缓冲作用，减少研磨作用力，避免刮花平面靶材表面。优选地，作为第二棉层4的百洁布的粒度设置为100μm，第二棉层4的粒度小于拉丝层41的粒度。粒度为100μm的第二棉层4不会抛光拉丝纹理，且能够对靶材表面进行细腻研磨，使其更加的光滑。具体地，拉丝层41包括至少一个砂胶涂带，砂胶涂带沿底板2的宽度方向涂抹设置，砂胶涂带的两端分别延伸至底板2宽度方向的两侧边之外，砂胶涂带的涂抹宽度设置为1cm。具体地，拉丝层41包括有多个砂胶涂带，各砂胶涂带分别弯曲形成不同或相同的标识图形，相邻的两个砂胶涂带之间形成有设定的间距。砂胶涂带间距的设置目的是，在拉丝研磨的同时进行抛光研磨，使靶材表面更加光滑，进一步提高抛光质量。具体地，振动发生机构包括电机、偏心轴、配重块和轴承。电机固定在机壳1的中上部，电机具有一输出轴；偏心轴连接于电机的输出轴；配重块和轴承套设于偏心轴，配重块与轴承套之间上下贴合设置，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置，包括机壳(1)、振动发生机构和底板(2)，振动发生机构设置在机壳(1)的内部，振动发生机构与底板(2)相连接，其特征在于：底板(2)的底面设置有拉丝结构，拉丝结构由上至下依次设置有第一棉层(3)、第二棉层(4)和拉丝层(41)，/n第一棉层(3)覆盖胶接于底板(2)的底面；/n第二棉层(4)包覆第一棉层(3)的底面，第二棉层(4)的周边部与底板(2)周边部相连接；/n拉丝层(41)由胶水砂砾混合物干固形成，胶水砂砾混合物涂抹于第二棉层(4)的底面，胶水砂砾混合物的涂抹长度不小于底板(2)的宽度。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置，包括机壳(1)、振动发生机构和底板(2)，振动发生机构设置在机壳(1)的内部，振动发生机构与底板(2)相连接，其特征在于：底板(2)的底面设置有拉丝结构，拉丝结构由上至下依次设置有第一棉层(3)、第二棉层(4)和拉丝层(41)，
第一棉层(3)覆盖胶接于底板(2)的底面；
第二棉层(4)包覆第一棉层(3)的底面，第二棉层(4)的周边部与底板(2)周边部相连接；
拉丝层(41)由胶水砂砾混合物干固形成，胶水砂砾混合物涂抹于第二棉层(4)的底面，胶水砂砾混合物的涂抹长度不小于底板(2)的宽度。
2.根据权利要求1所述的一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置，其特征在于：所述拉丝层(41)的粒度设置为100μm～150μm。
3.根据权利要求2所述的一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置，其特征在于：所述第一棉层(3)的厚度大于所述第二棉层(4)的厚度，第一棉层(3)选用无砂型的百洁布，第二棉层(4)选用含砂型的百洁布。
4.根据权利要求3所述的一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置，其特征在于：作为所述第二棉层(4)的百洁布的粒度设置为80μm～120μm，第二棉层(4)的粒度小于所述拉丝层(41)的粒度。
5.根据权利要求4所述的一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置，其特征在于：所述拉丝层(41)包括至少一个砂胶涂带，砂胶涂带沿所述底板(2)的宽度方向涂抹设置，砂胶涂带的两端分别延伸至底板(2)宽度方向的两侧边之外，砂胶涂带的涂抹宽度...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭文明，
申请(专利权)人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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