一种用于碳化硅工件的倒角加工装置制造方法及图纸

一种用于碳化硅工件的倒角加工装置，涉及半导体加工技术领域，其包括支撑件、调节件、打磨件和驱动装置，支撑件包括转轴，可以在驱动装置的驱动下旋转。多个打磨件的顶部与支撑件铰接，调节件套设于转轴之外。通过调整调节件的高度，利用调节件中圆台的上边缘将打磨件撑起，即可十分方便地改变打磨件的倾斜角度，从而加工出不同角度的倒角。该倒角加工装置的结构简单，使用方便，可以提高碳化硅工件的加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于碳化硅工件的倒角加工装置
本技术涉及半导体加工
，具体而言，涉及一种用于碳化硅工件的倒角加工装置。
技术介绍
倒角加工装置是半导体加工中需要用到的常用设备，可以为各种形状的碳化硅工件加工倒角。其中，有一类倒角加工装置主要用于环状工件的倒角加工，这种倒角加工装置的打磨件通常被做成圆锥形，加工时，将圆环工件套在高速旋转的圆锥形打磨件外，从而对圆环工件的内边缘进行打磨。在加工过程中，根据需要加工的倒角的角度不同，所需要的圆锥形打磨件的顶角也要随之改变。现有技术中，圆锥形打磨件的顶角都是固定的，所以要加工不同角度的倒角，需要在多个打磨件之间不断的更换，操作十分复杂。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于碳化硅工件的倒角加工装置，其结构简单，使用方便，可以快速方便地调整打磨件的角度，从而满足不同角度的倒角加工。本技术的实施例是这样实现的：一种用于碳化硅工件的倒角加工装置，其包括：支撑件，支撑件包括支撑台，以及设置于支撑台下表面的转轴；调节件，调节件包括圆台，以为设置于圆台下表面的套筒，圆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于碳化硅工件的倒角加工装置，其特征在于，包括：/n支撑件，所述支撑件包括支撑台，以及设置于所述支撑台下表面的转轴；/n调节件，所述调节件包括圆台，以为设置于所述圆台下表面的套筒，所述圆台和所述套筒同轴设置，所述圆台和所述套筒的中部设置有通孔，所述通孔沿所述套筒的轴线方向贯穿所述圆台和所述套筒；所述转轴滑动嵌设于所述通孔内，使得所述调节件可以沿所述转轴的轴线方向滑动；所述支撑台在所述圆台上表面的投影位于所述圆台的范围内；/n打磨件，所述打磨件的数量为多个，多个打磨件沿所述转轴的周向排列，每个所述打磨件的顶端均与所述支撑台铰接，使得每个所述打磨件均可绕其铰接端上下翻转；/n驱动装置，用以...

【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅工件的倒角加工装置，其特征在于，包括：
支撑件，所述支撑件包括支撑台，以及设置于所述支撑台下表面的转轴；
调节件，所述调节件包括圆台，以为设置于所述圆台下表面的套筒，所述圆台和所述套筒同轴设置，所述圆台和所述套筒的中部设置有通孔，所述通孔沿所述套筒的轴线方向贯穿所述圆台和所述套筒；所述转轴滑动嵌设于所述通孔内，使得所述调节件可以沿所述转轴的轴线方向滑动；所述支撑台在所述圆台上表面的投影位于所述圆台的范围内；
打磨件，所述打磨件的数量为多个，多个打磨件沿所述转轴的周向排列，每个所述打磨件的顶端均与所述支撑台铰接，使得每个所述打磨件均可绕其铰接端上下翻转；
驱动装置，用以驱动所述转轴绕其轴线转动。


2.根据权利要求1所述的倒角加工装置，其特征在于，所述转轴具有外螺纹，所述通孔内设置有内螺纹，所述转轴与所述通孔之间螺纹配合。


3.根据权利要求1所述的倒角加工装置，其特征在于，每个所述打磨...

【专利技术属性】
技术研发人员：马红彬，宛鹏，
申请(专利权)人：河南雅利安新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41