一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置及干燥脱脂方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置及干燥脱脂方法，属于靶坯干燥领域。本发明专利技术提供的装置，利用了微波加热器和红外加热设备，使用了微波干燥和红外干燥混合干燥的方法，提高干燥的速率；横向移动导轨使靶坯在干燥过程中可以横向往复匀速运动，从而达到均匀干燥的目的，避免了微波干燥或红外干燥不均匀导致靶坯开裂的情况；且本发明专利技术所提供的装置是干燥脱脂一体炉，在同一个炉子可以同时完成干燥和脱脂两道工艺，简化了工艺，节省了工厂场地设备的投入。

【技术实现步骤摘要】
一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置及干燥脱脂方法
本专利技术涉及靶坯干燥
，尤其涉及一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置及干燥脱脂方法。
技术介绍
近年来，随着镀膜技术的日益成熟，人们对靶材的需求愈来愈大，同时对靶材的品质要求也越来越苛刻，ITO靶材作为显示镀膜过程中必不可少的材料，其需求也日渐增大。目前，ITO靶材的制备工艺有冷压烧结法、热等静压法、热压法和有氧烧结法。传统的冷压烧结工艺，得不到高密度的ITO靶材，无法满足生产要求。热等静压工艺包套难度大，设备投资大且生产效率较低。而用热压法制备ITO靶材时，对热压设备的热应力场、温度场要求高，烧结过程中容易发生热应力开裂。因此，有氧烧结法较其他方法是一种比较理想的制备工艺，较其他制备方法，流程简单，设备投入小，适合大批量生产，但其也有些许工艺有待改进，注浆成型得到的ITO靶坯含水量在15％左右，干燥后的坯体收缩率在3％左右，传统干燥工艺就是将靶坯放入恒温恒湿的环境中进行自然干燥，这种干燥工艺干燥周期长，往往需要80小时左右干燥，且会出现靶坯干裂的情况。中国专利CN108640674A公开了一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，该方法将靶材进行分步干燥，来缩短干燥时间，其较传统干燥工艺时间有所缩短，但仍需要两天左右时间进行干燥，其干燥时间仍无法满足工厂大规模生产，且干燥完还需再转移到另外的脱脂炉中进行脱脂处理。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置及干燥脱脂方法。本专利技术提供的ITO靶材坯体干燥脱脂装置不仅可以大大缩短干燥时间，提高干燥靶坯的成品率，且可进行脱脂，将干燥脱脂工艺一体化，简化了工艺，节约了成本。为了实现上述专利技术目的，本专利技术提供以下技术方案：本专利技术提供了一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置，包括控制台、供氧设备、微波发生器、连接波导管、微波加热器、红外加热设备、横向移动导轨和垫板，所述连接波导管、微波加热器、红外加热设备、横向移动导轨和垫板位于带有开口的密闭容器中，所述控制台、供氧设备和微波发生器位于所述带有开口的密闭容器外；所述微波发生器通过连接波导管与微波加热器连接；所述垫板位于横向移动导轨表面；所述垫板为干燥垫板或脱脂垫板；所述微波加热器和红外加热设备设置在横向移动导轨的上方。优选的，所述脱脂垫板包括上板、下板和垫球，所述垫球位于所述上板和下板之间且可转动。优选的，所述干燥垫板的材质为石膏，所述脱脂垫板的材质为树脂。优选的，所述垫球的材质为耐高温陶瓷。优选的，所述垫球的材质为氧化锆陶瓷。优选的，所述红外加热设备包括红外加热灯组和红外测温仪。本专利技术还提供了一种ITO靶材坯体干燥脱脂方法，利用上述技术方案所述的ITO靶材坯体干燥脱脂装置，包括以下步骤：将注浆成型的ITO靶材坯体放置到干燥垫板上，装入所述密闭容器中，启动微波发生器和微波加热器，同时启动横向移动导轨，进行微波干燥，得到微波干燥后的坯体；关闭微波发生器和微波加热器，启动红外加热设备，保持横向移动导轨运行，进行红外干燥，得到干燥后的坯体；将所述干燥后的坯体取出，将所述干燥垫板替换为脱脂垫板，再将干燥后的坯体装入所述密闭容器中，同时启动供氧设备、红外加热设备和横向移动导轨进行脱脂。优选的，所述微波干燥的微波频率为2.4～2.6GHz，时间为1～2h，所述微波干燥时横向移动导轨的往复频率为1～3次/min。优选的，所述红外干燥的温度为70～90℃，时间为3～5h，所述红外干燥时横向移动导轨的往复频率为1～3次/min。优选的，所述脱脂的氧通量为100～140L/min，加热温度为400～500℃，时间为2～4h。本专利技术提供了一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置，包括控制台、供氧设备、微波发生器、连接波导管、微波加热器、红外加热设备、横向移动导轨和垫板，所述连接波导管、微波加热器、红外加热设备、横向移动导轨和垫板位于带有开口的密闭容器中，所述控制台、供氧设备和微波发生器位于所述带有开口的密闭容器外；所述微波发生器通过连接波导管与微波加热器连接；所述垫板位于横向移动导轨表面；所述垫板为干燥垫板或脱脂垫板；所述微波加热器和红外加热设备设置在横向移动导轨的上方。本专利技术相对于现有技术取得了以下有益技术效果：1、本专利技术提供的ITO靶材坯体干燥脱脂装置，利用了微波加热器和红外加热设备，使用了微波干燥和红外干燥混合干燥的方法，首先微波干燥不同于传统干燥，传统干燥室靶材坯体由外至内的干燥，如果外界环境与靶材坯体温度湿度相差过大，易造成内外干燥速率不均匀，产生应力，从而导致坯体开裂，因此需要恒温恒湿的干燥环境，通过干燥介质的流通来进行干燥，干燥时间长、干燥效率低、干燥环境要求苛刻，而微波干燥的原理是微波能直接作用于水分子转换成热能，由于微波具有穿透性能使介质内外同时加热，不需要热传导，因此微波干燥不需要恒温恒湿的环境，且具有干燥速率大、节能、生产效率高、干燥均匀、清洁生产、易实现自动化控制和提高产品质量等优点。但由于微波干燥的原理是微波作用于水分子，当靶坯含水量减少的时候，微波干燥的效率会有相应的降低，因此本专利技术产用微波干燥与红外干燥相结合的方式，提高干燥的速率。2、本专利技术所提供的装置的装有横向移动导轨，使靶坯在干燥过程中可以横向往复匀速运动，从而达到均匀干燥的目的，避免了微波干燥或红外干燥不均匀导致靶坯开裂的情况。3、本专利技术所提供的装置是干燥脱脂一体炉，在同一个炉子可以同时完成干燥和脱脂两道工艺，简化了工艺，节省了工厂场地设备的投入。4、本专利技术所提供的脱脂垫板，通过上板和下板将垫球固定在相应的位置上并且仍可以转动，由于ITO靶材坯体在脱脂过程中体积收缩明显，产用普通垫板不仅会导致靶坯下方无法通氧，脱氧严重，且由于ITO靶材坯体和垫板间摩擦力过大，在靶坯脱脂收缩过程中出现变形甚至开裂现象，而本专利技术所设计的脱脂垫板，由于ITO靶材坯体通过垫球支撑，ITO靶材坯体下方仍可进行氧气流通，避免了ITO靶材坯体失氧问题，且垫球可转动，在ITO靶材坯体收缩过程中避免了变形开裂问题。附图说明图1为本专利技术ITO靶材坯体干燥脱脂装置的结构示意图，其中1-控制台、2-供氧设备、3-微波发生器、4-连接波导管、5-微波加热器、6-红外加热设备、7-横向移动导轨、8-垫板；图2为脱脂垫板的结构示意图，其中9-上板、10-垫球、11-下板；图3为干燥后的坯体的实物照片；图4为干燥脱脂后的产品的实物照片。具体实施方式本专利技术提供了一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置，包括控制台、供氧设备、微波发生器、连接波导管、微波加热器、红外加热设备、横向移动导轨和垫板，所述连接波导管、微波加热器、红外加热设备、横向移动导轨和垫板位于带有开口的密闭容器中，所述括控制台、供氧设备和微波发生器位于所述带有开口的密闭容器外；所述微波发生器通过连接波导管与微波加热器连接；...

【技术保护点】
1.一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置，其特征在于，包括控制台、供氧设备、微波发生器、连接波导管、微波加热器、红外加热设备、横向移动导轨和垫板，/n所述连接波导管、微波加热器、红外加热设备、横向移动导轨和垫板位于带有开口的密闭容器中，所述控制台、供氧设备和微波发生器位于所述带有开口的密闭容器外；/n所述微波发生器通过连接波导管与微波加热器连接；/n所述垫板位于横向移动导轨表面；所述垫板为干燥垫板或脱脂垫板；/n所述微波加热器和红外加热设备设置在横向移动导轨的上方。/n

【技术特征摘要】
1.一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置，其特征在于，包括控制台、供氧设备、微波发生器、连接波导管、微波加热器、红外加热设备、横向移动导轨和垫板，
所述连接波导管、微波加热器、红外加热设备、横向移动导轨和垫板位于带有开口的密闭容器中，所述控制台、供氧设备和微波发生器位于所述带有开口的密闭容器外；
所述微波发生器通过连接波导管与微波加热器连接；
所述垫板位于横向移动导轨表面；所述垫板为干燥垫板或脱脂垫板；
所述微波加热器和红外加热设备设置在横向移动导轨的上方。


2.根据权利要求1所述的ITO靶材坯体干燥脱脂装置，其特征在于，所述脱脂垫板包括上板、下板和垫球，所述垫球位于所述上板和下板之间且可转动。


3.根据权利要求1或2所述的ITO靶材坯体干燥脱脂装置，其特征在于，所述干燥垫板的材质为石膏，所述脱脂垫板的材质为树脂。


4.根据权利要求2所述的ITO靶材坯体干燥脱脂装置，其特征在于，所述垫球的材质为耐高温陶瓷。


5.根据权利要求4所述的ITO靶材坯体干燥脱脂装置，其特征在于，所述垫球的材质为氧化锆陶瓷。


6.根据权利要求1所述的ITO靶材坯体干燥脱脂装置，其特征在于，所述红...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄田奇，张科，李康，李强，
申请(专利权)人：福建阿石创新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35