一种太阳能硅片加工用热量排放处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种太阳能硅片加工用热量排放处理装置，包括硅片热处理箱和加热装置，所述硅片热处理箱的箱壁上安装有抽风扇，所述抽风扇的一端穿过箱壁连接有定位管，所述定位管的上端连接有若干组排风短管，所述加热装置和排风短管之间利用连接弯管连接，所述连接弯管的一端部伸入加热装置的内部并且安装有单向阀。本实用新型专利技术所述的一种太阳能硅片加工用热量排放处理装置，由于热空气的温度高，破坏性强，将整段的排风管分为若干组排风短管，并用法兰固定，方便及时的拆卸和维护；在抗压储气罐内利用热空气对蒸汽发生管内的水分进行加热烘干，变为储藏热能的高温水蒸汽，方便使用，适用不同工作状况，带来更好的使用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能硅片加工用热量排放处理装置
本技术涉及太阳能硅片加工领域，特别涉及一种太阳能硅片加工用热量排放处理装置。
技术介绍
硅片在加工的过程中为了还原直拉单晶硅片真实电阻率需要对硅片进行热处理工艺，由于氧是在大约1400℃引入硅单晶的，所以在一般器件制造过程的温度范围（≤1200℃），以间隙态存在的氧是处于过饱和状态的，这些氧杂质在器件工艺的热循环过程中由于固溶度的降低会产生氧沉淀。一般而言，氧浓度越高，氧沉淀越易成核生长，形成的氧沉淀也就越多。反之，氧沉淀就越少。尤其是当氧浓度小于一定值时，几乎就观察不到氧沉淀的形成；由于热处理的温度都在350℃以上，因此当硅片退火降温时，热处理箱内的大多数热量被消散到大气中，一方面造成对环境的污染，另一方面也浪费了空气能，为此，我们提出一种太阳能硅片加工用热量排放处理装置。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种太阳能硅片加工用热量排放处理装置，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种太阳能硅片加工用热量排放处理装置，包括硅片热处理箱和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能硅片加工用热量排放处理装置，包括硅片热处理箱（1）和加热装置（5），其特征在于：所述硅片热处理箱（1）的箱壁上安装有抽风扇（2），所述抽风扇（2）的一端穿过箱壁连接有定位管（3），所述定位管（3）的上端连接有若干组排风短管（4），所述加热装置（5）和排风短管（4）之间利用连接弯管（7）连接，所述连接弯管（7）的一端部伸入加热装置（5）的内部并且安装有单向阀（8），抗压储气罐（9）通过两端的支座（10）和加热装置（5）的内壁铆接，所述抗压储气罐（9）的底部中间位置处安装有真空泵（11），所述抗压储气罐（9）的内部中间位置处横向固定设置有蒸汽发生管（12），所述蒸汽发生管（12）的一...

【技术特征摘要】
1.一种太阳能硅片加工用热量排放处理装置，包括硅片热处理箱（1）和加热装置（5），其特征在于：所述硅片热处理箱（1）的箱壁上安装有抽风扇（2），所述抽风扇（2）的一端穿过箱壁连接有定位管（3），所述定位管（3）的上端连接有若干组排风短管（4），所述加热装置（5）和排风短管（4）之间利用连接弯管（7）连接，所述连接弯管（7）的一端部伸入加热装置（5）的内部并且安装有单向阀（8），抗压储气罐（9）通过两端的支座（10）和加热装置（5）的内壁铆接，所述抗压储气罐（9）的底部中间位置处安装有真空泵（11），所述抗压储气罐（9）的内部中间位置处横向固定设置有蒸汽发生管（12），所述蒸汽发生管（12）的一端穿过加热装置（5）连接有防溢流管（13），所述防溢流管（13）远离蒸汽发生管（12）的一端连接有高温蒸汽排放管（14）；
所述加热装置（5）的上端面中间位置处开设有安装槽（15）并且所述安装槽（15）内放置有供水箱（16），所述供水箱（16）的内部向外延伸连接有抽水管（17），所述抽水管（17）通过接头对称连接有两组支管（18），所述两组支管（18）穿过抗压储气罐（9）并且进入到蒸汽发生管（12）的内部，所述支管（18）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡晓超，
申请(专利权)人：安徽尚夏光能有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34