一种真空度恒定的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜设备技术领域，且公开了一种真空度恒定的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体的一侧侧壁通过管道连通有真空泵，所述真空镀膜机本体的上端内壁固定连接有物料架，且真空镀膜机本体的一侧侧壁固定连接有负压仓，所述负压仓与真空镀膜机本体连通设置，且负压仓的内壁滑动连接有真空腔，所述真空腔靠近真空镀膜机本体的一侧滑动连接有挡板。该种真空度恒定的真空镀膜机，通过距离传感器配合电动推杆和真空腔，利用电动推杆移动真空腔调整真空镀膜机本体的内部容积快速实现真空度的快速调整，然后配合真空泵进行真空度的缓速调整，并使真空腔回归初始位置，及时响应下次真空度变化。

【技术实现步骤摘要】
一种真空度恒定的真空镀膜机
本技术涉及真空镀膜设备
，具体为一种真空度恒定的真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，在真空镀膜过程中，保持真空度是真空镀膜的一个的质量关键点，在真空镀膜生产过程中对于真空条件是有严格限定的，真空度过高或过低都会影响镀膜的性能和质量。在现有技术中，工厂里使用的镀膜机对于真空度的控制通常采用感应器配合罗茨泵，在真空镀膜机内真空度下降时启动罗茨泵进行抽真空，而罗茨泵抽真空时间较长，无法以较快的速度稳定真空度，甚至有可能导致真空度过高，反而降低镀膜质量，为此，我们提出一种真空度恒定的真空镀膜机解决上述问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种真空度恒定的真空镀膜机，具备真空度恒定、响应时间短、真空度调整速度快、结构简单等优点，解决了
技术介绍
提出的问题。(二)技术方案为实现上述真空度恒定、响应时间短、真空度调整速度快、结构简单等优点的目的，本技术提供如下技术方案：一种真空度恒定的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体的一侧侧壁通过管道连通有真空泵，所述真空镀膜机本体的上端内壁固定连接有物料架，且真空镀膜机本体的一侧侧壁固定连接有负压仓，所述负压仓与真空镀膜机本体连通设置，且负压仓的内壁滑动连接有真空腔，所述真空腔靠近真空镀膜机本体的一侧滑动连接有挡板，且真空腔远离挡板的侧壁固定连接有电动推杆，所述电动推杆远离真空腔的一端与负压仓的内壁固定连接，所述真空腔的靠近真空镀膜机本体的一端固定连接有距离传感器，且距离传感器通过导线与真空泵和电动推杆电联接，所述真空腔远离真空镀膜机本体的内壁固定连接有压缩弹簧，且压缩弹簧远离真空腔的一端与挡板固定连接。优选的，所述挡板的表面开设有透气孔，且挡板靠近透气孔的侧壁固定连接有支架，所述支架内滑动连接有活塞，且活塞贯穿透气孔设置。优选的，所述真空腔的侧壁套设有密封垫圈，且密封垫圈与负压仓的内壁为过盈配合，所述挡板的四周固定连接有密封套，且密封套与真空腔的内壁为过盈配合。优选的，所述挡板靠近压缩弹簧的侧壁固定连接有多个套管，且多个套管内均滑动连接有滑杆，所述滑杆远离套管的一端与真空腔的内壁固定连接。优选的，所述活塞为橡胶材质，且活塞的外径大于透气孔的外径。优选的，所述支架远离活塞的一侧固定连接有电磁铁，且活塞内嵌设有磁性金属。(三)有益效果与现有技术对比，本技术具备以下有益效果：1、该种真空度恒定的真空镀膜机，通过距离传感器配合电动推杆和真空腔，利用电动推杆移动真空腔调整真空镀膜机本体的内部容积快速实现真空度的快速调整，然后配合真空泵进行真空度的缓速调整，并使真空腔回归初始位置，及时响应下次真空度变化。2、该种真空度恒定的真空镀膜机，通过设置透气孔配合活塞，可以直接利用真空泵对真空腔进行抽真空作业，并且通过设置磁性金属配合电磁铁，可以对活塞进行控制，保证空腔内的真空度的稳定。附图说明图1为本技术立体结构示意图；图2为本技术剖视结构示意图；图3为本技术真空腔结构示意图。图中：1、真空镀膜机本体；2、真空泵；3、物料架；4、负压仓；5、真空腔；6、挡板；7、电动推杆；8、距离传感器；9、压缩弹簧；10、透气孔；11、支架；12、活塞；13、套管；14、滑杆；15、电磁铁。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例1请参阅图1-3，一种真空度恒定的真空镀膜机，包括包括真空镀膜机本体1，真空镀膜机本体1的一侧侧壁通过管道连通有真空泵2，真空镀膜机本体1的上端内壁固定连接有物料架3，且真空镀膜机本体1的一侧侧壁固定连接有负压仓4，负压仓4与真空镀膜机本体1连通设置，且负压仓4的内壁滑动连接有真空腔5，真空腔5靠近真空镀膜机本体1的一侧滑动连接有挡板6，真空腔5的侧壁套设有密封垫圈，且密封垫圈与负压仓4的内壁为过盈配合，挡板6的四周固定连接有密封套，且密封套与真空腔5的内壁为过盈配合，通过设置密封圈和密封套，可以提高真空腔5和挡板6的密封性，提高对真空镀膜机本体1内真空度的控制效果，且真空腔5远离挡板6的侧壁固定连接有电动推杆7，电动推杆7远离真空腔5的一端与负压仓4的内壁固定连接，真空腔5的靠近真空镀膜机本体1的一端固定连接有距离传感器8，且距离传感器8通过导线与真空泵2和电动推杆7电联接，真空腔5远离真空镀膜机本体1的内壁固定连接有压缩弹簧9，通过设置压缩弹簧9可以减小密封套与真空腔5内壁的摩擦力对挡板6移动距离的影响，提高真空度的控制效果，且压缩弹簧9远离真空腔5的一端与挡板6固定连接，挡板6靠近压缩弹簧9的侧壁固定连接有多个套管13，且多个套管13内均滑动连接有滑杆14，滑杆14远离套管13的一端与真空腔5的内壁固定连接，通过设置套管13和滑杆14可以对挡板6进行限位，避免挡板6发生偏移或者侧向位移。实施例2基于实施例1,如图1-3，挡板6的表面开设有透气孔10，且挡板6靠近透气孔10的侧壁固定连接有支架11，支架11内滑动连接有活塞12，且活塞12贯穿透气孔10设置，活塞12较大的一端位于真空腔5的外部，活塞12为橡胶材质，且活塞12的外径大于透气孔10的外径，支架11远离活塞12的一侧固定连接有电磁铁15，且活塞12内嵌设有磁性金属，活塞12包括活塞头和活塞杆，活塞杆为塑料材质，且活塞杆的长度大于压缩弹簧9极限状态下最短的长度，活塞头内嵌设有铁或者不锈钢等磁性金属，可以配合电磁铁15密封透气孔10。工作原理：在需要进行真空镀膜作业前，首先打开真空镀膜机本体1，然后将待镀膜的物料放置在物料架3上，然后关闭真空镀膜机本体1并且启动真空泵2对真空镀膜机本体1进行抽真空作业，而此时电磁铁15处于关闭状态，然后随着真空泵2运转，真空镀膜机本体1内气压下降，所以活塞12在真空腔5内气压的作用下向真空镀膜机本体1方向移动，这样真空腔5与真空镀膜机本体1处于连通状态，使真空腔5内的真空度与真空镀膜机本体1内的真空度保持一致，在真空镀膜机本体1内的真空度达到工艺要求后，启动电磁铁15使活塞12封闭透气孔10并关闭真空泵2，即可进行真空镀膜作业，在真空度镀膜作业的过程中，当真空镀膜机本体1内的真空度发生变化时，由于真空腔5完全密封，所以真空腔5的真空度保持稳定，这时真空镀膜机本体1和真空腔5内真空度不同，使得挡板6向远离或者靠近真空镀膜机本体1，这样距离传感器8感受到挡板6的位于，启本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空度恒定的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体(1)，所述真空镀膜机本体(1)的一侧侧壁通过管道连通有真空泵(2)；/n其特征在于：/n所述真空镀膜机本体(1)的上端内壁固定连接有物料架(3)，且真空镀膜机本体(1)的一侧侧壁固定连接有负压仓(4)，所述负压仓(4)与真空镀膜机本体(1)连通设置，且负压仓(4)的内壁滑动连接有真空腔(5)，所述真空腔(5)靠近真空镀膜机本体(1)的一侧滑动连接有挡板(6)，且真空腔(5)远离挡板(6)的侧壁固定连接有电动推杆(7)，所述电动推杆(7)远离真空腔(5)的一端与负压仓(4)的内壁固定连接，所述真空腔(5)的靠近真空镀膜机本体(1)的一端固定连接有距离传感器(8)，且距离传感器(8)通过导线与真空泵(2)和电动推杆(7)电联接，所述真空腔(5)远离真空镀膜机本体(1)的内壁固定连接有压缩弹簧(9)，且压缩弹簧(9)远离真空腔(5)的一端与挡板(6)固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空度恒定的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体(1)，所述真空镀膜机本体(1)的一侧侧壁通过管道连通有真空泵(2)；
其特征在于：
所述真空镀膜机本体(1)的上端内壁固定连接有物料架(3)，且真空镀膜机本体(1)的一侧侧壁固定连接有负压仓(4)，所述负压仓(4)与真空镀膜机本体(1)连通设置，且负压仓(4)的内壁滑动连接有真空腔(5)，所述真空腔(5)靠近真空镀膜机本体(1)的一侧滑动连接有挡板(6)，且真空腔(5)远离挡板(6)的侧壁固定连接有电动推杆(7)，所述电动推杆(7)远离真空腔(5)的一端与负压仓(4)的内壁固定连接，所述真空腔(5)的靠近真空镀膜机本体(1)的一端固定连接有距离传感器(8)，且距离传感器(8)通过导线与真空泵(2)和电动推杆(7)电联接，所述真空腔(5)远离真空镀膜机本体(1)的内壁固定连接有压缩弹簧(9)，且压缩弹簧(9)远离真空腔(5)的一端与挡板(6)固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种真空度恒定的真空镀膜机，其特征在于：所述挡板(6)的表面开设有透气孔(10)，且挡板(6)靠近透气孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：封文炎，阮志明，吴敬超，林敏，赖鸿飞，廖俊峰，王波，魏城峰，
申请(专利权)人：深圳市正和忠信股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44