一种用于基板生产的真空镀膜装置制造方法及图纸

技术编号:25359321 阅读:32 留言:0更新日期:2020-08-21 17:18
本实用新型专利技术属于基板生产技术领域,涉及一种用于基板生产的真空镀膜装置,其包括输送机构和夹持件,所述夹持件卡合连接在所述输送机构上,所述输送机构包括主动轮、从动轮和传送带,所述主动轮与所述从动轮通过所述传送带传动连接;通过在传送带上卡合连接有夹持件,可将待加工的基板夹持固定在传送带上,然后通过传送带两侧的加热器对基板的两面进行预处理,接着通过靶材对基板的两面进行镀膜作业,使得基板在传送带上进行输送的过程中,可同时对基板的两面进行镀膜作业,以及通过将基板卡合固定在夹持件上,通过夹持件上的夹持板与夹持侧件的相互配合下,使得基板可稳定的放置在传送带上,有效防止基板发生晃动,影响基板的镀膜效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于基板生产的真空镀膜装置
本技术涉及基板生产
,具体是一种用于基板生产的真空镀膜装置。
技术介绍
基板又称为“触控屏”、“触控面板”,是一种可接收触头等输入讯号的感应式液晶显示装置,当接触了屏幕上的图形按钮时,屏幕上的触觉反馈系统可根据预先编程的程式驱动各种连结装置,可用以取代机械式的按钮面板,并借由液晶显示画面制造出生动的影音效果。基板作为一种最新的电脑输入设备,它是目前最简单、方便、自然的一种人机交互方式,它赋予了多媒体以崭新的面貌,是极富吸引力的全新多媒体交互设备,不用学习,人人都会使用,是基板最大的魔力,这一点无论是键盘还是鼠标,都无法与其相比,基板主要应用于公共信息的查询、领导办公、工业控制、军事指挥、电子游戏、点歌点菜、多媒体教学、房地产预售等。中国专利公开了一种生产电容式基板用镀膜装置(授权公告号CN207079273U),该专利技术通过在镀膜室内设置有吸尘装置,镀膜过程中产生的粉尘可以通过吸尘泵从吸盘吸入到集尘装置中,避免了整体停机清理粉尘的步骤,提高了镀膜的效率,但是,现有的基板普遍两面都需要进行镀膜作业,在进行义一面镀膜后,需要重复作业进行另外一面的镀膜,使得基板的镀膜作业效率较低,因此,本领域技术人员提供了一种用于基板生产的真空镀膜装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于基板生产的真空镀膜装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于基板生产的真空镀膜装置,包括输送机构和夹持件,所述夹持件卡合连接在所述输送机构上,所述输送机构包括主动轮、从动轮和传送带,所述主动轮与所述从动轮通过所述传送带传动连接;所述夹持件包括夹持板和四个夹持侧件,所述夹持板的上端面中心处开设有卡槽,四个所述夹持侧件分别固定安装在所述夹持板的上端面两侧,且两个所述夹持侧件之间相对应,所述夹持侧件包括夹持侧板和转动轮,所述转动轮转动连接在所述夹持侧板内。作为本技术再进一步的方案:所述夹持侧板上开设有与所述转动轮相适配的转动槽,所述转动轮转动连接在所述转动槽。作为本技术再进一步的方案:所述转动轮的外壁粘接固定有橡胶垫,所述橡胶垫的外壁固定安装有凸起,所述转动轮的两端固定安装有转轴,所述转动轮通过所述转轴转动连接在所述转动槽内。作为本技术再进一步的方案:所述传送带上固定安装有若干个所述卡块,所述夹持板的底部固定安装有与所述卡块相适配的卡块,所述夹持件通过所述卡块卡合固定在所述传送带的上端面。作为本技术再进一步的方案:所述夹持侧板为弹性片。作为本技术再进一步的方案:所述输送机构的前后两侧安装有两个加热器和两个靶材,所述加热器位于所述靶材的输送前端。作为本技术再进一步的方案:所述输送机构安装在真空室内。与现有技术相比,本技术的有益效果是:通过在传送带上卡合连接有夹持件,可将待加工的基板夹持固定在传送带上,然后通过传送带两侧的加热器对基板的两面进行预处理,接着通过靶材对基板的两面进行镀膜作业,使得基板在传送带上进行输送的过程中,可同时对基板的两面进行镀膜作业,以及通过将基板卡合固定在夹持件上,通过夹持件上的夹持板与夹持侧件的相互配合下,使得基板可稳定的放置在传送带上,有效防止基板发生晃动,影响基板的镀膜效果。附图说明图1为一种用于基板生产的真空镀膜装置的结构示意图;图2为一种用于基板生产的真空镀膜装置中夹持件的结构示意图;图3为一种用于基板生产的真空镀膜装置中夹持件与基板的安装示意图;图4为一种用于基板生产的真空镀膜装置中转动轮的结构示意图;图5为一种用于基板生产的真空镀膜装置中夹持侧板的结构示意图。图中:1、输送机构;11、主动轮;12、从动轮;13、传送带;14、连接槽;2、夹持件;21、夹持板;22、卡槽;23、卡块;3、加热器;4、靶材;5、夹持侧件;51、夹持侧板;511、转动槽;52、转动轮;53、橡胶垫;54、凸起;55、转轴。具体实施方式请参阅图1~4,本技术实施例中,一种用于基板生产的真空镀膜装置,包括输送机构1和夹持件2,夹持件2卡合连接在输送机构1上,输送机构1包括主动轮11、从动轮12和传送带13,主动轮11与从动轮12通过传送带13传动连接;夹持件2包括夹持板21和四个夹持侧件5,夹持板21的上端面中心处开设有卡槽22,四个夹持侧件5分别固定安装在夹持板21的上端面两侧,且两个夹持侧件5之间相对应,夹持侧件5包括夹持侧板51和转动轮52,转动轮52转动连接在夹持侧板51内。本实施例中,可将待加工的基板夹持固定在传送带13上,然后通过传送带13两侧的加热器3对基板的两面进行预处理,接着通过靶材4对基板的两面进行镀膜作业,使得基板在传送带13上进行输送的过程中,可同时对基板的两面进行镀膜作业,以及通过将基板卡合固定在夹持件2上,通过夹持件2上的夹持板21与夹持侧件5的相互配合下,使得基板可稳定的放置在传送带13上,有效防止基板发生晃动,影响基板的镀膜效果。在图1中:传送带13上固定安装有若干个连接槽14,夹持板21的底部固定安装有与连接槽14相适配的卡块23,夹持件2通过卡块23卡合固定在传送带13的上端面,输送机构1的前后两侧安装有两个加热器3和两个靶材4,加热器3位于靶材4的输送前端,通过将夹持件2中卡合固定在传送带13上,使得夹持件2带动待加工的基板在传送带13的作用下进行移动,加热器3与公开号CN207079273U中所提出的预加热装置的工作原理一致,通过气缸控制的活塞杆,气缸设置在预处理室的外壁上,活塞杆的另一端连有金属挠性软管,金属挠性软管的下端设有向下开口的半圆形的反射罩,反射罩的内部设有加热器3,加热器3朝向传送带13上的基板,从而对基板进行加热,靶材4与公开号CN207079273U中所提出的靶材4工作原理一致,靶材4用于朝基板溅射金属。在图2-3中:夹持件2包括夹持板21和四个夹持侧件5,夹持板21的上端面中心处开设有卡槽22,四个夹持侧件5分别固定安装在夹持板21的上端面两侧,且两个夹持侧件5之间相对应,夹持侧件5包括夹持侧板51和转动轮52,转动轮52转动连接在夹持侧板51内,夹持侧板51为弹性片,当需要将待加工的基板安装夹持件2上时,首先将待加工的基板向下插入四个夹持侧件5内,在转动轮52的作用下,可将待加工的基板的在两个转动轮52的夹持作用下,向下移动,直至将待加工的基板插入夹持板21的卡槽22内,从而对待加工的基板进行固定,通过卡槽22可将待加工的基板卡合固定在夹持板21上,接着在四个夹持侧件5对待加工的基板进行二次固定,防止待加工的基板在夹持件2上发生左右晃动,从而增加待加工的基板在夹持件2的稳定性。在图4中:转动轮52的外壁粘接固定有橡胶垫53,橡胶垫53的外壁固定安装有凸起54,转动轮52的两端固定安装有转轴55,转动轮52通过转轴55转动连接在转动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于基板生产的真空镀膜装置,其特征在于,包括输送机构(1)和夹持件(2),所述夹持件(2)卡合连接在所述输送机构(1)上,所述输送机构(1)包括主动轮(11)、从动轮(12)和传送带(13),所述主动轮(11)与所述从动轮(12)通过所述传送带(13)传动连接;所述夹持件(2)包括夹持板(21)和四个夹持侧件(5),所述夹持板(21)的上端面中心处开设有卡槽(22),四个所述夹持侧件(5)分别固定安装在所述夹持板(21)的上端面两侧,且两个所述夹持侧件(5)之间相对应,所述夹持侧件(5)包括夹持侧板(51)和转动轮(52),所述转动轮(52)转动连接在所述夹持侧板(51)内。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于基板生产的真空镀膜装置,其特征在于,包括输送机构(1)和夹持件(2),所述夹持件(2)卡合连接在所述输送机构(1)上,所述输送机构(1)包括主动轮(11)、从动轮(12)和传送带(13),所述主动轮(11)与所述从动轮(12)通过所述传送带(13)传动连接;所述夹持件(2)包括夹持板(21)和四个夹持侧件(5),所述夹持板(21)的上端面中心处开设有卡槽(22),四个所述夹持侧件(5)分别固定安装在所述夹持板(21)的上端面两侧,且两个所述夹持侧件(5)之间相对应,所述夹持侧件(5)包括夹持侧板(51)和转动轮(52),所述转动轮(52)转动连接在所述夹持侧板(51)内。


2.根据权利要求1所述的一种用于基板生产的真空镀膜装置,其特征在于,所述夹持侧板(51)上开设有与所述转动轮(52)相适配的转动槽(511),所述转动轮(52)转动连接在所述转动槽(511)。


3.根据权利要求2所述的一种用于基板生产的真空镀膜装置,其特征在于,所述转动轮(52)的外壁粘接固定有...

【专利技术属性】
技术研发人员:严伯林张军杨凡
申请(专利权)人:盐城牧东光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1