一种半导体生产用抛光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体生产用抛光装置，包括抛光台，所述抛光台的顶部设置有输送机构，所述抛光台的顶部固连有龙门架，所述龙门架的顶部固连有气缸，所述气缸的输出端贯穿至龙门架的内腔并固连有抛光机构，所述抛光台顶部的前侧和后侧均设置有与抛光机构相适配的夹具，所述龙门架的右侧设置有除尘机构，所述除尘机构包括固定于龙门架右侧的固定块，所述固定块的底部固连有吸屑罩，所述吸屑罩顶部的前侧和后侧均连通有吸屑管，所述抛光台顶部的前侧和后侧均固连有储屑箱，所述储屑箱的左侧与吸屑管连通，所述储屑箱的顶部固连有负压风机，所述负压风机的进风口与储屑箱连通且两者的连通处设有滤布。该抛光装置可实现抛光碎屑的自动清理。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产用抛光装置
本技术涉及抛光
，具体为一种半导体生产用抛光装置。
技术介绍
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体在生产过程中，需要经过切片、磨片、抛光、清洗、外延、氧化、光刻、扩散、测试、压焊、封装和成品测试过程，半导体抛光后其表面抛光的碎屑会滞留在工作台上，细小的碎屑给使用者后期的清理带来不便。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体生产用抛光装置，该抛光装置可实现抛光碎屑的自动清理，解决了现有半导体抛光后其表面抛光的碎屑会滞留在工作台上带来清理不便的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体生产用抛光装置，包括抛光台，所述抛光台的顶部设置有输送机构，所述抛光台的顶部固定连接有龙门架，所述龙门架的顶部固定连接有气缸，所述气缸的输出端贯穿至龙门架的内腔并固定连接有抛光机构，所述抛光台顶部的前侧和后侧均设置有与抛光机构相适配的夹具，所述龙门架的右侧设置有除尘机构，所述除尘机构包括固定于龙门架右侧的固定块，所述固定块的底部固定连接有吸屑罩，所述吸屑罩顶部的前侧和后侧均连通有吸屑管，所述抛光台顶部的前侧和后侧均固定连接有储屑箱，所述储屑箱的左侧与吸屑管连通，所述储屑箱的顶部固定连接有负压风机，所述负压风机的进风口与储屑箱连通且两者的连通处设置有滤布。优选的，所述输送机构包括开设于抛光台顶部的凹槽，所述凹槽的内腔设置有输送带。优选的，所述抛光机构包括固定于气缸输出端的升降板，所述升降板的顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴贯穿至升降板的底部并固定连接有抛光盘，所述升降板顶部的前侧和后侧均设置有导向机构。优选的，所述导向机构包括固定于升降板顶部前侧和后侧的导向杆，所述导向杆的顶部贯穿至龙门架的顶部，所述龙门架顶部的前侧和后侧均开设有与导向杆相适配的导向孔。优选的，所述夹具包括固定于抛光台顶部前侧和后侧的固定板，所述固定板的外侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端贯穿至固定板的内侧并固定连接有夹板。优选的，所述储屑箱的一侧设置有箱门，所述箱门的一侧设置有把手。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：该半导体生产用抛光装置中，将待打磨的半导体放置在输送带上输送，输送的过程中被夹具进行夹紧固定，然后通过气缸调节抛光机构向下运动对半导体进行抛光，抛光的过程中开启负压风机，负压风机使储屑箱的内腔形成负压环境，从而通过吸屑罩和吸屑管将抛光产生的碎屑收集到储屑箱的内腔，即可达到清理抛光碎屑的目的，解决了现有半导体抛光后其表面抛光的碎屑会滞留在工作台上带来清理不便的问题。由此可见，本技术与现有技术相比，具有实质性特点和进步，其实施的有益效果也是显而易见的。附图说明图1为本技术的立体结构示意图一；图2为本技术的立体结构示意图二。图中：1、抛光台；2、输送机构；21、凹槽；22、输送带；3、龙门架；4、气缸；5、抛光机构；51、升降板；52、电机；53、抛光盘；54、导向机构；541、导向杆；542、导向孔；6、夹具；61、固定板；62、电动伸缩杆；63、夹板；7、除尘机构；71、固定块；72、吸屑罩；73、吸屑管；74、储屑箱；75、负压风机；76、箱门；77、把手。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。一种半导体生产用抛光装置，包括抛光台1，所述抛光台1的顶部设置有输送机构2，所述输送机构2包括开设于抛光台1顶部的凹槽21，所述凹槽21的内腔设置有输送带22，所述抛光台1的顶部固定连接有龙门架3，所述龙门架3的顶部固定连接有气缸4，所述气缸4的输出端贯穿至龙门架3的内腔并固定连接有抛光机构5。所述抛光机构5包括固定于气缸4输出端的升降板51，所述升降板51的顶部固定连接有电机52，所述电机52的输出轴贯穿至升降板51的底部并固定连接有抛光盘53，所述升降板51顶部的前侧和后侧均设置有导向机构54，所述导向机构54包括固定于升降板51顶部前侧和后侧的导向杆541，所述导向杆541的顶部贯穿至龙门架3的顶部，所述龙门架3顶部的前侧和后侧均开设有与导向杆541相适配的导向孔542。所述抛光台1顶部的前侧和后侧均设置有与抛光机构5相适配的夹具6，所述夹具6包括固定于抛光台1顶部前侧和后侧的固定板61，所述固定板61的外侧固定连接有电动伸缩杆62，所述电动伸缩杆62的输出端贯穿至固定板61的内侧并固定连接有夹板63，通过抛光机构5和夹具6的配合使用，当半导体运动至两个夹板63之间时，两个电动伸缩杆62带动两个夹板63相向运动将半导体进行固定，然后通过气缸4带动升降板51向下运动，升降板51带动抛光盘53与半导体接触，开启升降板51带动抛光盘53转动对半导体进行抛光，即可达到对半导体抛光的目的，导向机构54能够有效的提高升降板51上下运动的稳定性。所述龙门架3的右侧设置有除尘机构7，所述除尘机构7包括固定于龙门架3右侧的固定块71，所述固定块71的底部固定连接有吸屑罩72，所述吸屑罩72顶部的前侧和后侧均连通有吸屑管73，所述抛光台1顶部的前侧和后侧均固定连接有储屑箱74，所述储屑箱74的左侧与吸屑管73连通，所述储屑箱74的顶部固定连接有负压风机75，所述负压风机75的进风口与储屑箱74连通且两者的连通处设置有滤布，滤布在保证负压风机75正常工作的情况下，可以对抛光产生的碎屑进行阻挡，使碎屑集中在储屑箱74内，所述储屑箱74的一侧设置有箱门76，所述箱门76的一侧设置有把手77。通过箱门76和把手77的配合使用，使用者拉动把手77将箱门76打开，能够便于使用者对储屑箱74内腔的碎屑进行清理。本技术在使用时，将待打磨的半导体放置在输送带22上输送，输送的过程中被夹具6进行夹紧固定，然后通过气缸4调节抛光机构5向下运动对半导体进行抛光，抛光的过程中开启负压风机75，负压风机75使储屑箱74的内腔形成负压环境，从而通过吸屑罩72和吸屑管73将抛光产生的碎屑收集到储屑箱74的内腔，即可达到清理抛光碎屑的目的，解决了现有半导体抛光后其表面抛光的碎屑会滞留在工作台上带来清理不便的问题。该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。本技术中未经描述的技术特征可以通过现有技术实现，在此不再赘述。本技术并不仅限于上述具体实施方式，本领域普通技术人员在本技术的实质范围内做出的变化、改型、添加或替换，也应属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体生产用抛光装置，包括抛光台（1），其特征在于：所述抛光台（1）的顶部设置有输送机构（2），所述抛光台（1）的顶部固定连接有龙门架（3），所述龙门架（3）的顶部固定连接有气缸（4），所述气缸（4）的输出端贯穿至龙门架（3）的内腔并固定连接有抛光机构（5），所述抛光台（1）顶部的前侧和后侧均设置有与抛光机构（5）相适配的夹具（6），所述龙门架（3）的右侧设置有除尘机构（7），所述除尘机构（7）包括固定于龙门架（3）右侧的固定块（71），所述固定块（71）的底部固定连接有吸屑罩（72），所述吸屑罩（72）顶部的前侧和后侧均连通有吸屑管（73），所述抛光台（1）顶部的前侧和后侧均固定连接有储屑箱（74），所述储屑箱（74）的左侧与吸屑管（73）连通，所述储屑箱（74）的顶部固定连接有负压风机（75），所述负压风机（75）的进风口与储屑箱（74）连通且两者的连通处设置有滤布。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产用抛光装置，包括抛光台（1），其特征在于：所述抛光台（1）的顶部设置有输送机构（2），所述抛光台（1）的顶部固定连接有龙门架（3），所述龙门架（3）的顶部固定连接有气缸（4），所述气缸（4）的输出端贯穿至龙门架（3）的内腔并固定连接有抛光机构（5），所述抛光台（1）顶部的前侧和后侧均设置有与抛光机构（5）相适配的夹具（6），所述龙门架（3）的右侧设置有除尘机构（7），所述除尘机构（7）包括固定于龙门架（3）右侧的固定块（71），所述固定块（71）的底部固定连接有吸屑罩（72），所述吸屑罩（72）顶部的前侧和后侧均连通有吸屑管（73），所述抛光台（1）顶部的前侧和后侧均固定连接有储屑箱（74），所述储屑箱（74）的左侧与吸屑管（73）连通，所述储屑箱（74）的顶部固定连接有负压风机（75），所述负压风机（75）的进风口与储屑箱（74）连通且两者的连通处设置有滤布。


2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用抛光装置，其特征在于：所述输送机构（2）包括开设于抛光台（1）顶部的凹槽（21），所述凹槽（21）的内腔设置有输送带（22）。


3.根据权利要求2所述的一种半导体...

【专利技术属性】
技术研发人员：周天，
申请(专利权)人：安徽康越新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34