气体检测设备制造技术

本发明专利技术公开了一种气体检测设备，该气体检测设备包括：泵模块，该泵模块连接到用于吸入空气的第一输入和第二输入；传感器模块，该传感器模块包括至少一个单元传感器，该至少一个单元传感器被构造成响应于空气中存在的气体而输出感测信号；以及控制模块，该控制模块被构造成使用感测信号来检测气体。当在通过该第一输入引入的第一空气中检测到气体时，控制模块控制泵模块以通过打开第二输入来吸入第二空气，并且当在第二空气中检测到的气体浓度低于在第一空气中检测到的气体浓度时，确定检测到气体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体检测设备
本专利技术构思涉及气体检测设备。
技术介绍
各种气体用于半导体加工线和工业场所，因此，气体检测设备通常用于防止由气体泄漏引起的大规模事故。此类气体检测设备可检测从其中执行半导体工艺的室或连接到该室的气体管道或阀泄漏的气体，或者确定在工业场所中是否发生气体泄漏。当此类气体检测设备检测到气体泄漏并发出警报时，连接到该室的气体管道关闭或该室的操作停止。因此，重要的是该气体检测设备准确地确定是否已发生气体泄漏。专利技术技术问题的公开本专利技术构思的一个方面可提供准确检测气体泄漏的气体检测设备。问题的解决方案根据本专利技术构思的一个方面，气体检测设备可包括：泵模块，该泵模块连接到用于吸入空气的第一输入和第二输入；传感器模块，该传感器模块包括至少一个单元传感器，该至少一个单元传感器被构造成响应于空气中存在的气体而输出感测信号；以及控制模块，该控制模块被构造成使用感测信号检测气体。当在通过第一输入引入的第一空气中检测到气体时，该控制模块可控制泵模块以通过打开第二输入来吸入第二空气，并且当在第二空气中检测到的气体浓度低于在第一空气中检测到的气体浓度时，确定检测到气体。根据本专利技术构思的另一方面，气体检测设备可包括：传感器模块，该传感器模块包括至少一个单元传感器，该至少一个单元传感器被构造成响应于气体来输出感测信号；泵模块，该泵模块被构造成将已通过第一输入吸入的外部空气和通过第二输入吸入的循环空气中的至少一者供应给传感器模块；控制模块，该控制模块被构造成使用感测信号检测气体；以及气体过滤器，该气体过滤器连接在泵模块的输出和传感器模块的输入之间并被构造成通过过滤穿过传感器模块的外部空气来产生循环空气。控制模块可通过在外部空气中检测到气体时关闭第一输入并打开第二输入将循环空气供应给传感器模块，并在循环空气中检测到的气体浓度低于在外部空气中检测到的气体浓度时，确定检测到气体。根据本专利技术构思的另一个方面，气体检测设备可包括：泵模块，该泵模块被构造成吸入空气；传感器模块，该传感器模块被构造成在第一时间点和继第一时间点之后的第二时间点检测空气中存在的气体，并且输出感测信号；以及控制模块，该控制模块被构造成通过设置第一阈值和大于第一阈值的第二阈值，在第一时间点将感测信号与第一阈值进行比较，并且在第二时间点将感测信号与第二阈值进行比较，来确定是否输出警报。当感测信号在第一时间点和第二时间点之间限定的预先确定的验证时间期间减小时，控制模块可输出警报。本专利技术的有益效果根据本专利技术构思的一个示例性实施方案，当响应于气体而生成的感测信号怀疑气体泄漏时，气体检测设备可通过吸入空气来判断感测信号是否减小。因此，气体检测设备防止由于噪声诸如电信号或RF信号引起的警报故障。此外，可有效地操作连接到气体检测设备的室或气体管道。附图说明图1为根据本专利技术构思的一个示例性实施方案的包括气体检测设备的处理设施的简化图；图2和图3为示出根据本专利技术构思的一个示例性实施方案的气体检测设备的外部特征的图；图4和图5为示出根据本专利技术构思的示例性实施方案的气体检测设备的简化框图；图6至图8为提供以示出根据本专利技术构思的一个示例性实施方案的气体检测设备的操作的图；图9和图10为提供以示出根据本专利技术构思的一个示例性实施方案的气体检测设备的操作的图；图11和图12为提供以示出根据本专利技术构思的一个示例性实施方案的气体检测设备的操作的曲线图。专利技术模式在下文中，将参考附图描述根据本专利技术构思的示例性实施方案的半导体器件。图1为根据本专利技术构思的一个示例性实施方案的包括气体检测设备的处理设施的简化图。参见图1，根据本专利技术构思的一个示例性实施方案的处理设施1可包括气体源10、阀20、室30和气体检测设备40。室30可从气体源10接收气体以进行预先确定的生产过程。在一些示例性实施方案中，室30可以为半导体处理设备，在该半导体处理设备中执行半导体工艺，诸如蚀刻工艺、沉积工艺、光刻工艺或清洁工艺。室30可连接到传输其上执行半导体工艺的基板的传输路径31和32，并且可从气体源10接收半导体工艺所需的气体。气体源10可包括分别容纳不同气体的第一气罐11至第四气罐14。尽管在图1所示的示例性实施方案中，气体源10总共具有四个气罐11至14，但本专利技术构思并不限于此。显然，气体源10中可包括更少或更多气罐。容纳在第一气罐11至第四气罐14中的气体可通过阀20的操作供应给室30。在图1所示的示例性实施方案中，气体检测设备40可包括第一气体检测设备41和第二气体检测设备42。第一气体检测设备41可连接到阀20，以检测从第一气罐11至第四气罐14供应给阀20的气体是否泄漏。同时，第二气体检测设备42可连接到室30，以测量容纳在室30中的各种气体中的每一种的浓度，或者确定气体是否已从室30泄漏。根据需要，可将更多数量的气体检测设备连接到气体供应路径、室30等。图2和图3为示出根据本专利技术构思的一个示例性实施方案的气体检测设备的外部特征的图。首先，参见图2，根据本专利技术构思的示例性实施方案的气体检测设备100可包括壳体110、显示器150和输入160。壳体110可容纳吸收和排放空气以检测气体的泵模块、感测由泵模块吸收的空气中所包含的气体的传感器模块、以及控制气体检测设备100的总体操作的控制模块。壳体110可包括主体111和与主体111结合的覆盖件112。覆盖件112可设置在壳体110的前侧上。在一些示例性实施方案中，显示器150和输入160可设置在覆盖件112上。输入160可包括多个机械输入键或与显示器150集成的触摸屏。在一些示例性实施方案中，覆盖件112可通过设置在主体111和覆盖件112的一个表面上的铰链113与主体111组合。覆盖件112可相对于铰链113旋转以暴露主体111的内部。参见图2，根据本专利技术构思的示例性实施方案的主体111和覆盖件112可通过接合构件112A接合在一起。接合构件112A可形成于覆盖件112的表面上，以将主体111和覆盖件112组合并接合，并且在操作气体检测设备100的同时防止覆盖件112打开。同时，多个端口P1至P5可设置在壳体110的下表面上。在一些示例性实施方案中，第一端口P1和第二端口P2可以为通过其引入空气的进气口，并且第三端口P3可以为通过其排出空气的排气口。通过泵模块的操作通过第一端口P1或第二端口P2引入的空气可经由安装在壳体110内部的传感器模块通过第三端口P3排出。通过第一端口P1或第二端口P2引入以通过第三端口P3排出的空气量可由安装在壳体110内部的泵模块确定。根据本专利技术构思的示例性实施方案，第一端口P1和第二端口P2可连接到不同的空间。在一些示例性实施方案中，如上文参考图1所述，第一端口P1可连接到确定气体泄漏的空间诸如室30，并且第二端口P2可连接到不容纳待确定泄漏的气体的一般气罐或连接到吸入外部空气的管道。因此，当怀疑气体泄漏时，可能不立即输出警报，以便验证气体是否实际上泄漏。同本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体检测设备，包括：/n泵模块，所述泵模块连接到用于吸入空气的第一输入和第二输入；/n传感器模块，所述传感器模块包括至少一个单元传感器，所述至少一个单元传感器被构造成响应于所述空气中存在的气体而输出感测信号；和/n控制模块，所述控制模块被构造成使用所述感测信号检测所述气体，其中当在通过所述第一输入引入的第一空气中检测到气体时，所述控制模块通过在预先确定的验证时间期间打开所述第二输入来控制所述泵模块以吸入第二空气，以及/n当所述感测信号在所述预先确定的验证时间期间减小时，所述控制模块确定检测到气体。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种气体检测设备，包括：
泵模块，所述泵模块连接到用于吸入空气的第一输入和第二输入；
传感器模块，所述传感器模块包括至少一个单元传感器，所述至少一个单元传感器被构造成响应于所述空气中存在的气体而输出感测信号；和
控制模块，所述控制模块被构造成使用所述感测信号检测所述气体，其中当在通过所述第一输入引入的第一空气中检测到气体时，所述控制模块通过在预先确定的验证时间期间打开所述第二输入来控制所述泵模块以吸入第二空气，以及
当所述感测信号在所述预先确定的验证时间期间减小时，所述控制模块确定检测到气体。


2.根据权利要求1所述的气体检测设备，其中当由所述传感器模块响应于所述第一空气输出的所述感测信号超过预先确定的第一阈值时，所述控制模块打开所述第二输入以吸入所述第二空气。


3.根据权利要求2所述的气体检测设备，其中当所述感测信号在所述验证时间期间减小时，所述控制模块在所述验证时间之后打开所述第一输入并关闭所述第二输入以再次吸入所述第一空气，并且
当在所述验证时间之后所述感测信号超过所述第一阈值时，所述控制模块确定检测到气体，并且输出警报。


4.根据权利要求3所述的气体检测设备，其中当所述感测信号超过大于所述第一阈值的第二阈值时，所述控制模块输出所述警报。


5.根据权利要求1所述的气体检测设备，还包括开关，所述开关被构造成确定是打开还是关闭所述第一输入和所述第二输入。


6.根据权利要求5所述的气体检测设备，其中所述控制模块控制所述开关以选择性地打开和关闭所述第一输入和所述第二输入。


7.根据权利要求1所述的气体检测设备，其中所述泵模块包括微管和压力测量单元，所述微管被构造成提供所述第一空气和所述第二空气的路径，所述压力测量单元连接到所述微管并测量所述第一空气和所述第二空气的压力。


8.根据权利要求7所述的气体检测设备，其中所述压力测量单元包括连接到所述微管的第一点的第一流速传感器，连接到所述微管的不同于所述第一点的第二点的第二流速传感器，以及压力计算部件，所述压力计算部件被构造成基于分别由所述第一流速传感器和所述第二流速传感器测量的值来计算所述第一空气和所述第二空气的压力。


9.根据权利要求8所述的气体检测设备，其中所述第一流速传感器和所述第二流速传感器连接到所述微管，所述微管连接到所述传感器模块的输出。


10.根据权利要求1所述的气体检测设备，其中所述第一输入连接到其中执行使用所述气体的操作的工作空间，并且所述第二输入连接到不同于所述工作空间的外部空间和单独的气罐中的至少一者。


11.一种气体检测设备，包括：
传感器模块，所述传感器模块包括至少一个单元传感器，所述至少一个单元传感器被构造成响应于气体而输出感测信号；
泵模块，所述泵模块被构造成将已通过第一输入吸入的外部空气和通过第二输入吸入的循环空气中的至少一者供应到所述传感器模块；
控制模块，所述控制模块被构造成使用所述感测信号检测所述气体；和
气体过滤器，所述气体过滤器被构造成通过过滤穿过所述传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴俊成，安杰菲，林正浩，李在镇，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：美国;US