【技术实现步骤摘要】
MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统
本专利技术涉及微机电系统
，具体涉及一种MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统。
技术介绍
在人工智能、自动驾驶、惯性导航以及物联网的进一步发展之下，信号检测显得尤为重要，而与信号检测息息相关的传感器技术也得到了迅速发展。特别是物联网的发展，使得传感器产品需求大幅度增加，重心也逐渐转向技术含量较高的微机电系统(MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystems)传感器领域。微机电系统是利用传统的半导体工艺和材料，集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统，具有体积小、成本低、集成化等优点。图1是现有的一种MEMS传感器系统的电路结构示意图，所述MEMS传感器系统采用模拟闭环负反馈架构，包括MEMS传感器10以及所述MEMS传感器10的检测装置，其中，所述检测装置包括前置放大器11、环路滤波器12以及反馈电路13。具体地，所述MEMS传感器10用于将压力、加速度以及流量...
【技术保护点】
1.一种MEMS传感器检测装置，包括前置放大器、环路滤波器以及反馈电路，其特征在于，还包括设置在所述前置放大器之后的HL型滤波器，所述前置放大器、所述环路滤波器以及所述HL型滤波器串联；/n所述HL型滤波器对低频段信号具有高通滤波功能，所述HL型滤波器对高频段信号具有低通滤波功能。/n
【技术特征摘要】
1.一种MEMS传感器检测装置，包括前置放大器、环路滤波器以及反馈电路，其特征在于，还包括设置在所述前置放大器之后的HL型滤波器，所述前置放大器、所述环路滤波器以及所述HL型滤波器串联；
所述HL型滤波器对低频段信号具有高通滤波功能，所述HL型滤波器对高频段信号具有低通滤波功能。
2.根据权利要求1所述的MEMS传感器检测装置，其特征在于，所述HL型滤波器包括第一电阻、第二电阻、第一电容、第二电容以及第一运算放大器；
所述第一电阻的一端连接所述第一电容的一端并作为所述HL型滤波器的输入端，所述第一电阻的另一端连接所述第一电容的另一端、所述第二电阻的一端、所述第二电容的一端以及所述第一运算放大器的反相输入端，所述第一运算放大器的同相输入端接地，所述第一运算放大器的输出端连接所述第二电阻的另一端和所述第二电容的另一端并作为所述HL型滤波器的输出端。
3.根据权利要求1所述的MEMS传感器检测装置，其特征在于，还包括设置在所述前置放大器之后的共模失调抵消器，所述前置放大器、所述环路滤波器、所述HL型滤波器以及所述共模失调抵消器串联；
所述共模失调抵消器用于消除所述前置放大器接收的正参考电压和负参考电压之间的共模电压偏差。
4.根据权利要求3所述的MEMS传感器检测装置，其特征在于，所述共模失调抵消器包括选择电路、二阶带通滤波器以及加法器；
所述选择电路用于在所述MEMS传感器检测装置工作于清零阶段和反馈阶段时选择所述正参考电压输出，在所述MEMS传感器检测装置工作于读出阶段时选择所述负参考电压输出；
所述二阶带通滤波器用于对所述选择电路输出的电压信号进行二阶带通滤波处理；
所述加法器用于对所述二阶带通滤波器输出的电压信号和所述共模失调抵消器接收的电压信号进行相加处理。
5.根据权利要求4所述的MEMS传感器检测装置，其特征在于，所述选择电路包括第一开关和第二开关；
所述第一开关的一端用于接收所述负参考电压，所述第二开关的一端用于接收所述正参考电压，所述第一开关的另一端连接所述第二开关的另一端并作为所述选择电路的输出端；
所述第一开关在所述MEMS传感器检测装置工作于读出阶段时导通，在所述MEMS传感器检测装置工作于清零阶段和反馈阶段时断开；
所述第二开关在所述MEMS传感器检测装置工作于读出阶段时断开，在所述MEMS传感器检测装置工作于清零阶段和反馈阶段时导通。
6.根据权利要求4所述的MEMS传感器检测装置，其特征在于，所述二阶带通滤波器包括第三电阻、第四电阻、第三电容、第四电容以及第二运算放大器；
所述第三电容的一端连接所述选择电路的输出端，所述第三电容的另一端连接所述第三电阻的一端，所述第三电阻的另一端连接所...
【专利技术属性】
技术研发人员：李宗伟，周永建，张潇筱，刘婧，孟海龙，杨长春，韩可都，冯方方，
申请(专利权)人：中国科学院地质与地球物理研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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