一种通用型精密位移测量辅助装置制造方法及图纸

本发明专利技术用于微位移测量，特别适用于位移量小于１微米的精密测量。采用了平衡式杠杆机构，可以精确的将微位移放大数十倍甚至数百倍，从而可以使普通位移测量仪器的测量精度提高１～２个数量级。采用了两级平衡调整方式，调整方便，最大限度的减小了受力变形对测量精度的影响，保证测量了过程稳定。本发明专利技术具有结构简单，使用、维护方便，制造成本低等特点，解决了目前微位移测量装置制造成本高、使用条件要求很高，很难在现场测量中直接使用的问题，极大地扩展了普通位移测量仪器的应用领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于机械加工领域，特指一种具有成倍的提高位移测量仪器精度的装置，可方便于微位移测量，特别适用于精密加工、精密测量领域。
技术介绍
位移是一种最基本的物理量，大量的研究都涉及到位移测量，因此如何方便、准确的测量到研究对象的位移一直是机械加工领域的需要解决的问题。特别是随着科学技术的发展，对产品的质量要求越来越高，从而导致对位移测量精度的要求越来越高，微小位移(也称微位移)的测量已经成为研究问题的重要手段。例如，在精密加工中，加工零件的精度测量，机床部件的微小变形控制，微进给装置的进给量控制，误差反馈系统的误差补偿量控制等都涉及到微位移的精确测量问题。目前微位移测量中常用的方法有三类，即(1)机械测量法；(2)电学测量法；(3)光学测量法。在机械测量法中，最常用的微位移测量仪器是杠杆式千分表，它的分辨率只有1微米。而电学测量法中，最常的微位移测量仪器是电容式测微仪，它的分辨率只有0.3微米。这两类传统的位移测量仪器都不能直接用于微位移量小于1微米的测量。采用光学测量法的位移测量仪器的精度和分辨率可以达到很高的水平，例如激光干涉测微仪的分辨率可以达到纳米级，理论上，它可以用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种通用型精密位移测量辅助装置，其特征是采用两级平衡调整装置，即两级平衡式杠杆，在第一测量头（５）的一侧依次安装了一根调整螺杆（３）、一个粗调平衡块（２）和一个微调平衡块（１），杠杆支承副为一对支承刀（６）和支承块（７）组成的硬质刀口式支承，杠杆轴（８）的侧面刻有标尺，杠杆轴的尺寸φ＝８～１８ｍｍ，杠杆主动臂长度Ｌ１＝１０～５０ｍｍ，杠杆主动臂长度Ｌ２＝１００～５００ｍｍ。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王树林，王贵成，刘远伟，沈春根，张兵，
申请(专利权)人：江苏大学，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]