【技术实现步骤摘要】
一种芯片外缘残金刮片装置
本技术涉及芯片加工
,更具体的说,尤其涉及一种芯片外缘残金刮片装置。
技术介绍
芯片是半导体元件产品的统称,芯片生产是一个点砂成金的过程,从砂子到晶圆再到芯片,价值密度直线飙升。真正的芯片制造过程十分复杂,从熔融态Si中拉出晶圆并切片,获得晶圆后,将感光材料均匀涂抹在晶圆上,利用光刻机将复杂的电路结构转印到感光材料上,被曝光的部分会溶解并被水冲掉,从而在晶圆表面暴露出复杂的电路结构,再使用刻蚀机将暴露出来的硅片的部分刻蚀掉。晶圆片抛光后利用光刻机将设计好的电路转印到晶圆上,在晶圆上刻蚀出来复杂的结构,接着,经过离子注入等数百道复杂的工艺,这些复杂的结构便拥有了特定的半导体特性,并能在几平方厘米的范围内制造出数亿个有特定功能的晶体管。镀铜后再切削掉表面多余的铜,再覆盖上铜作为导线,就能将数以亿计的晶体管连接起来。经过测试、晶片切割和封装,就得到了我们见到的芯片。芯片在生产过程中外缘会产生一些残金毛刺,通过手动加工难以去除,稍有不慎就会损坏整个芯片,操作难度较大,给生产加工带来了极大不便。 ...
【技术保护点】
1.一种芯片外缘残金刮片装置,包括:机体(1)、通风口(2)、电源开关(3)、旋转平台(4)、底板(5)、底脚(6)、气泵(7)、底座(8)、真空吸盘(9)、支座(10)、刀架(11)、刀片(12)、锁紧螺栓(13)、气管支架(14)、吹气管(15);其特征在于:所述通风口(2)开设在机体(1)的一侧,且电源开关(3)镶嵌安装在机体(1)前端上部的外壁上;所述旋转平台(4)安装在机体(1)的内部,且旋转平台(4)的顶端与机体(1)通过螺栓固定连接;所述底板(5)通过螺栓固定安装在机体(1)的底部,且底脚(6)粘合固定安装在底板(5)的底部;所述气泵(7)通过螺栓安装在底板( ...
【技术特征摘要】
1.一种芯片外缘残金刮片装置,包括:机体(1)、通风口(2)、电源开关(3)、旋转平台(4)、底板(5)、底脚(6)、气泵(7)、底座(8)、真空吸盘(9)、支座(10)、刀架(11)、刀片(12)、锁紧螺栓(13)、气管支架(14)、吹气管(15);其特征在于:所述通风口(2)开设在机体(1)的一侧,且电源开关(3)镶嵌安装在机体(1)前端上部的外壁上;所述旋转平台(4)安装在机体(1)的内部,且旋转平台(4)的顶端与机体(1)通过螺栓固定连接;所述底板(5)通过螺栓固定安装在机体(1)的底部,且底脚(6)粘合固定安装在底板(5)的底部;所述气泵(7)通过螺栓安装在底板(5)上,且气泵(7)的出气端贯穿机体(1);所述底座(8)通过螺栓固定安装在旋转平台(4)的顶端,且真空吸盘(9)通过螺栓固定安装在底座(8)的上方;所述支座(10)通过螺栓固定安装在机体(1)上,且支座(10)位于真空吸盘(9)的一侧;所述刀架(11)通过焊接方式安装在支座(10)一侧的顶端,且刀片(12)镶嵌安装在刀架(11)的内侧;所述锁紧螺栓(13)通过螺纹拧接方式安装在刀架(11)上;所述气管支架(14)通过焊接方式安装在支座(10)的顶端,且吹气管(15)插接安装...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭祖福,蒋青勇,
申请(专利权)人:湘能华磊光电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:湖南;43
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