一种碱性蚀刻液处理方法技术

一种碱性蚀刻液处理方法，首先对含有金离子的碘化钾蚀刻液进行还原反应，从而析出金金属；再使该经处理的碘化钾蚀刻液进行碘离子氧化反应，从而析出碘分子，此方法可以有效的连续回收蚀刻液中的金金属与碘分子成分。

【技术实现步骤摘要】
一种碱性蚀刻液处理方法
一种涉及蚀刻液的处理方法，尤其涉及从含碘化钾的金蚀刻液中回收金与回收碘的处理方法。
技术介绍
半导体及光电产业制造工艺中均利用蚀刻法(etching)来进行蚀刻制造工艺，含有碘化钾(KI，potassiumiodide)的溶液为常见的金蚀刻液(goldetchant)，当金蚀刻液中的碘化钾浓度或蚀刻能力不符合制造工艺需求时，此蚀刻液会因无法再度活化使用而被废弃，即为废弃的蚀刻液。因此废弃的蚀刻液中含有浓度不一的金离子(goldion)，金金属(gold)为经济价值高昂的贵金属(preciousmetal)，具有高度的回收价值。因此废弃的蚀刻液通常交由回收厂商进行金回收处理。当含有碘化钾的废弃金蚀刻液进行金回收后，剩余的溶液即为废水(wastewater)，由于废水中含有大量碘化钾成分，对水中生物的危害性很大，因此需要除去毒性后才可排放。目前的废水处理是另外设置处理场，利用化学分法进行除碘或中和毒性的程序；待废水符合排放标准后予以排放。上述的现行方法，是高成本且低效率的，无法以一贯化的程序处理含碘化钾的金蚀刻液。
技术实现思路
基于此，有必要提供提出一种有效回收蚀刻液成分的专利技术，可在一个系统内回收金金属与碘分子，使最终废水降低毒性。在碱性环境下添加双氧水使蚀刻液中的金离子化合物进行还原反应，从而析出金金属；接着在酸性环境下添加氧化剂于该蚀刻液中，使该蚀刻液中的碘离子进行氧化反应，析出碘分子，从而回收碘分子，采用的公式为：调和前浓度＝(系数1*系数2*硫代硫酸钠量)/回收液药量，碘加入量＝(固定值-调和前浓度)*碘分子量*回收液药量。该碱性环境形成方法为添加氢氧化钠。该碱性环境的pH值介于pH＝9至pH＝13之间。该碱性环境为pH值介于pH＝10至pH＝12之间。该酸性环境形成方法为添加硫酸。该氧化剂为过硫酸铵或氯酸钠。该酸性环境为pH值小于pH＝5。该酸性环境为pH值介于pH＝1到pH＝4之间。该酸性环境为pH值介于pH＝2到pH＝3之间。上述碱性蚀刻液处理方法，首先对含有金离子的碘化钾蚀刻液进行还原反应，从而析出金金属；再使该经处理的碘化钾蚀刻液进行碘离子氧化反应，从而析出碘分子，此方法可以有效的回收蚀刻液中的金金属与碘分子成分。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清晰，以下结合实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以更好地理解本专利技术的技术方案，并不用于限定本专利技术。本专利技术所要揭示的是一种蚀刻液处理方法。在碱性环境下添加双氧水使蚀刻液中的金离子化合物进行还原反应，从而析出金金属；接着在酸性环境下添加氧化剂于该蚀刻液中，使该蚀刻液中的碘离子进行氧化反应，析出碘分子，从而回收碘分子，采用的公式为：调和前浓度＝(系数1*系数2*硫代硫酸钠量)/回收液药量，碘加入量＝(固定值-调和前浓度)*碘分子量*回收液药量。该碱性环境形成方法为添加氢氧化钠。该碱性环境的pH值介于pH＝9至pH＝13之间。该碱性环境为pH值介于pH＝10至pH＝12之间。该酸性环境形成方法为添加硫酸。该氧化剂为过硫酸铵或氯酸钠。该酸性环境为pH值小于pH＝5。该酸性环境为pH值介于pH＝1到pH＝4之间。该酸性环境为pH值介于pH＝2到pH＝3之间。本专利技术的一个较佳实施例为，将待处理的碘化钾蚀刻液置于第一反应槽300中。如步骤一100，将还原剂(例如：亚硫酸钠、硫酸亚铁或联胺等)加入待处理的碘化钾蚀刻液，则碘化钾蚀刻液中的金离子会被还原成金金属；已由第一反应槽300处理的碘化钾蚀刻液通过第一通道302被输送到第二反应槽304，如步骤二200，在酸性条件下(pH值小于5，尤其是介于pH＝1到pH＝4之间，更尤其是介于pH＝2到pH＝3之间)，添加碘离子氧化反应试剂(例如：硫酸与氧化剂；氧化剂可以是过硫酸铵、氯酸钠)于第二反应槽302中，则碘化钾蚀刻液中的碘离子会被氧化成碘分子而析出。本专利技术的另一个较佳实施例为，将待处理的碘化钾蚀刻液置于第一反应槽300中，将氢氧化钠加入待处理之碘化钾蚀刻液，如步骤一110，在碱性环境下(pH值大于8，较好是介于pH＝9到pH＝14之间，更好是介于pH＝10到pH＝13之间，最好是介于pH＝11到pH＝12之间)，再加入双氧水至待处理之碘化钾蚀刻液，则碘化钾蚀刻液中的金离子会被还原成金金属；已由第一反应槽300处理之碘化钾蚀刻液通过第一通道304被输送到第二反应槽302，如步骤二210，在酸性条件下(pH值小于5，尤其是介于pH＝1到pH＝4之间，更尤其是介于pH＝2到pH＝3之间)，添加碘离子氧化反应试剂(例如：硫酸与氧化剂；氧化剂可以是过硫酸铵、氯酸钠)于第二反应槽302中，则碘化钾蚀刻液中的碘离子会被氧化成碘分子而析出。综合以上所述，本专利技术有效的由蚀刻液中回收金金属与碘分子，此方法能够免除前述存在于公知技术中的问题，并且具有以下的优点：一、连续的回收碘化钾废液中的金金属与碘分子，符合原子经济效益、创造经济效益；二、降低蚀刻液的毒性，使对环境伤害降至最低。以上，本专利技术已通过实施例清楚说明。然而，所属
的技术人员应当了解的是，本专利技术的各个实施例在此仅为例示性而非为限制性，亦即，在不脱离本专利技术实质精神及范围之内，上述所述的变化例及修正例均为本专利技术所涵盖。因此，本专利技术由权利要求加以界定。以上所述实施例仅表达了本专利技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本专利技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本专利技术的保护范围。因此，本专利技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碱性蚀刻液处理方法，其特征在于，包括以下步骤：/n在碱性环境下添加双氧水使蚀刻液中的金离子化合物进行还原反应，从而析出金金属；/n接着在酸性环境下添加氧化剂于该蚀刻液中，使该蚀刻液中的碘离子进行氧化反应，析出碘分子，从而回收碘分子，采用的公式为：调和前浓度=（系数1*系数2*硫代硫酸钠量）/回收液药量，碘加入量=（固定值-调和前浓度）*碘分子量*回收液药量。/n

【技术特征摘要】
1.一种碱性蚀刻液处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
在碱性环境下添加双氧水使蚀刻液中的金离子化合物进行还原反应，从而析出金金属；
接着在酸性环境下添加氧化剂于该蚀刻液中，使该蚀刻液中的碘离子进行氧化反应，析出碘分子，从而回收碘分子，采用的公式为：调和前浓度=（系数1*系数2*硫代硫酸钠量）/回收液药量，碘加入量=（固定值-调和前浓度）*碘分子量*回收液药量。


2.根据权利要求1所述的蚀刻液处理方法，其特征是该碱性环境形成方法为添加氢氧化钠。


3.根据权利要求2所述的蚀刻液处理方法，其特征是该碱性环境的pH值介于pH＝9至pH＝13之间。


4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：王共海，蔡小辉，于永辉，李国春，王立华，刘善政，
申请(专利权)人：湖南凯通电子有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南;43