一种碱性蚀刻液处理方法技术

一种碱性蚀刻液处理方法，首先对含有金离子的碘化钾蚀刻液进行还原反应，从而析出金金属；再使该经处理的碘化钾蚀刻液进行碘离子氧化反应，从而析出碘分子，此方法可以有效的连续回收蚀刻液中的金金属与碘分子成分。

【技术实现步骤摘要】
一种碱性蚀刻液处理方法
一种涉及蚀刻液的处理方法，尤其涉及从含碘化钾的金蚀刻液中回收金与回收碘的处理方法。
技术介绍
半导体及光电产业制造工艺中均利用蚀刻法(etching)来进行蚀刻制造工艺，含有碘化钾(KI，potassiumiodide)的溶液为常见的金蚀刻液(goldetchant)，当金蚀刻液中的碘化钾浓度或蚀刻能力不符合制造工艺需求时，此蚀刻液会因无法再度活化使用而被废弃，即为废弃的蚀刻液。因此废弃的蚀刻液中含有浓度不一的金离子(goldion)，金金属(gold)为经济价值高昂的贵金属(preciousmetal)，具有高度的回收价值。因此废弃的蚀刻液通常交由回收厂商进行金回收处理。当含有碘化钾的废弃金蚀刻液进行金回收后，剩余的溶液即为废水(wastewater)，由于废水中含有大量碘化钾成分，对水中生物的危害性很大，因此需要除去毒性后才可排放。目前的废水处理是另外设置处理场，利用化学分法进行除碘或中和毒性的程序；待废水符合排放标准后予以排放。上述的现行方法，是高成本且低效率的，无法以一贯化的程序处理含碘化钾的金蚀刻液。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碱性蚀刻液处理方法，其特征在于，包括以下步骤：/n在碱性环境下添加双氧水使蚀刻液中的金离子化合物进行还原反应，从而析出金金属；/n接着在酸性环境下添加氧化剂于该蚀刻液中，使该蚀刻液中的碘离子进行氧化反应，析出碘分子，从而回收碘分子，采用的公式为：调和前浓度=（系数1*系数2*硫代硫酸钠量）/回收液药量，碘加入量=（固定值-调和前浓度）*碘分子量*回收液药量。/n

【技术特征摘要】
1.一种碱性蚀刻液处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
在碱性环境下添加双氧水使蚀刻液中的金离子化合物进行还原反应，从而析出金金属；
接着在酸性环境下添加氧化剂于该蚀刻液中，使该蚀刻液中的碘离子进行氧化反应，析出碘分子，从而回收碘分子，采用的公式为：调和前浓度=（系数1*系数2*硫代硫酸钠量）/回收液药量，碘加入量=（固定值-调和前浓度）*碘分子量*回收液药量。


2.根据权利要求1所述的蚀刻液处理方法，其特征是该碱性环境形成方法为添加氢氧化钠。


3.根据权利要求2所述的蚀刻液处理方法，其特征是该碱性环境的pH值介于pH＝9至pH＝13之间。


4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：王共海，蔡小辉，于永辉，李国春，王立华，刘善政，
申请(专利权)人：湖南凯通电子有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南;43