为了解决真空镀膜机的空心管和真空镀膜机工作腔室底部相对旋转发生摩擦从而产生金属粉末掉落在温度计表面，最终影响温度计测量结果的问题，本实用新型专利技术提出一种真空镀膜机的炉腔测温装置，其包括：真空镀膜机工作腔室(1)、大盘(2)、温度传感器(3)、温度计(4)、空心管(5)、齿轮(7)，其特征在于：所述的真空镀膜机的炉腔测温装置还包括容纳腔室(6)，容纳腔室(6)固定在空心管(5)的底部，且容纳腔室(6)在XY平面上的横切面积大于空心管(5)在XY平面上的横切面积，温度计(4)位于容纳腔室(6)超出空心管的XY轴平面的侧壁上，温度传感器(3)的传输线穿过空心管(5)连接到温度计(4)上。
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的炉腔测温装置
本技术属于表面处理
，较为具体的，涉及到一种真空镀膜机的炉腔测温装置。
技术介绍
PVD真空镀膜机在工作时，大盘的上表面固定有一个或者多个工件架，所述的一个或者多个工件架可以在大盘的上表面发生自旋转，大盘的下表面设有转轴，转轴与空心管固定连接，空心管从真空镀膜机工作腔室的内部穿过真空镀膜机的底板，从而延伸到真空镀膜机工作腔室的外部，在空心管的外围固定有齿轮，齿轮的外围包覆有皮带轮，皮带轮在电机的电机轴的带动下发生旋转动作，从而带动大盘发生公转。PVD真空镀膜的过程中，温度的控制十分重要，目前，现有的PVD真空镀膜机的测温装置为，在真空镀膜机工作腔室的内部设有一个或多个温度传感器，温度传感器的传输线从空心管中穿过并延伸至温度较低的空心管的底部，并在空心管的底部固定有温度计，这样可以测量PVD真空镀膜机工作腔室的温度。但是采用这种结构，由于空心管长期处于旋转状态，与真空镀膜机工作腔室的底面发生摩擦，会产生金属粉末，这些金属粉末都会掉落在温度计的表面，从而会影响温度计的效果，使得温度计的测量不准，这样对于PVD真空镀膜机工作腔室的温度的控制就会不准，会直接影响真空镀膜的效果。
技术实现思路
有鉴于此，为了解决真空镀膜机的空心管和真空镀膜机工作腔室底部相对旋转发生摩擦从而产生金属粉末掉落在温度计表面，最终影响温度计测量结果的问题，本技术提出一种真空镀膜机的炉腔测温装置，其在传统方案的基础上，在空心管的底部增加一个容纳腔室，容纳腔室在XY轴平面的面积超出空心管的横截面积，并且在容纳腔室的超出空心管的XY轴平面的侧壁上安装温度计，这样可以使得摩擦产生的金属粉末不会掉落在温度计的表面，就不会影响温度计的使用效果，从而保证了真空镀膜机对温度的控制。一种真空镀膜机的炉腔测温装置，其包括：真空镀膜机工作腔室1、大盘2、温度传感器3、温度计4、空心管5、齿轮7，其中大盘2位于真空镀膜机工作腔室1的底部，且大盘2的上表面上设有一个或多个工件架21，大盘2的底部设有转轴，空心管5穿过真空镀膜机工作腔室1的底部，其中空心管5的上部分位于真空镀膜机工作腔室1的内部，空心管5的下部分位于真空镀膜机工作腔室1的外部，转轴与空心管5的上部分固定连接，空心管5的下部分外围固定有齿轮7，齿轮7的外围包覆皮带轮71，皮带轮71的另外一侧穿过电机72的电机轴721，电机72的电机轴721可以带动皮带轮71旋转，从而带动空心管5旋转，从而带动大盘2旋转，温度传感器3位于真空镀膜机工作腔室1的内部，其特征在于：所述的真空镀膜机的炉腔测温装置还包括容纳腔室6，容纳腔室6固定在空心管5的底部，且容纳腔室6在XY平面上的横切面积大于空心管5在XY平面上的横切面积，温度计4位于容纳腔室6超出空心管的XY轴平面的侧壁上，温度传感器3的传输线穿过空心管5连接到温度计4上。进一步的，容纳腔室6包括上部开口61、外螺纹、超出空心管5的XY轴平面的侧壁和底板62，其中上部开口61嵌套在空心管5的内部，外螺纹与空心管5内部的内螺纹固定连接，使得容纳腔室6与空心管5固定连接，底板62与超出空心管5的XY轴平面的侧壁底部连接。进一步的，所述的底板62与所述的超出空心管5的XY轴平面的侧壁为分体结构，在XY轴平面的侧壁外部设有卡箍组件63，通过将卡箍组件63锁紧或者松开，可以对底板62实现打开或者闭合，当底板62打开时，可以方便将容纳腔室6内部的金属粉末倒出，或者对温度计进行维修。进一步的，在空心管5的外侧设有磁流体密封51，磁流体密封51的上表面固定在真空镀膜机工作腔室1的底板的下表面上，这样可以使得空心管5与真空镀膜机工作腔室1实现密封。进一步的，在空心管5的外围固定有铜圈8，铜圈8与碳刷81接触，从而实现对真空镀膜机的供电。进一步的，在空心管5的外围还固定有转盘9，转盘9的边缘等距离设置多个开孔91，在转盘9的开孔91的上方设置有计数传感器92，当转盘9转动时，计数传感器92可以记录经过的开孔91的数量，从而可以计算转盘9旋转的圈数，从而可以去推算大盘旋转的圈数。由此可见，采用本技术的真空镀膜机的炉腔测温装置，可以使得空心管5和真空镀膜机工作腔室1底部相对旋转发生摩擦产生的金属粉末掉落在容纳腔室6的内部，不会掉落在温度计4的表面，从而保证了测温的准确性；同时，将容纳腔室6的底板62设置成活动连接方式，并采用卡箍组件63进行固定，这样可以方便及时出去金属粉末或者检修温度计。为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术的权利要求。凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、同等替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围内。附图说明图1为本技术的真空镀膜机的炉腔测温装置的结构示意图。图2为转盘的结构示意图。图3为传统的真空镀膜机的炉腔测温装置的结构示意图。主要元件符号说明：如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。具体实施方式实施例1：如图1所示，为本技术的真空镀膜机的炉腔测温装置的结构示意图；如图2所示，为转盘的结构示意图。一种真空镀膜机的炉腔测温装置，其包括：真空镀膜机工作腔室1、大盘2、温度传感器3、温度计4、空心管5、齿轮7，其中大盘2位于真空镀膜机工作腔室1的底部，且大盘2的上表面上设有一个或多个工件架21，大盘2的底部设有转轴，空心管5穿过真空镀膜机工作腔室1的底部，其中空心管5的上部分位于真空镀膜机工作腔室1的内部，空心管5的下部分位于真空镀膜机工作腔室1的外部，转轴与空心管5的上部分固定连接，空心管5的下部分外围固定有齿轮7，齿轮7的外围包覆皮带轮71，皮带轮71的另外一侧穿过电机72的电机轴721，电机72的电机轴721可以带动皮带轮71旋转，从而带动空心管5旋转，从而带动大盘2旋转，温度传感器3位于真空镀膜机工作腔室1的内部，其特征在于：所述的真空镀膜机的炉腔测温装置还包括容纳腔室6，容纳腔室6固定在空心管5的底部，且容纳腔室6在XY平面上的横切面积大于空心管5在XY平面上的横切面积，温度计4位于容纳腔室6超出空心管的XY轴平面的侧壁上，温度传感器3的传输线穿过空心管5连接到温度计4上。容纳腔室6包括上部开口61、外螺纹、超出空心管5的XY轴平面的侧壁和底板62，其中上部开口61嵌套在空心管5的内部，外螺纹与空心管5内部的内螺纹固定连接，使得容纳腔室6与空心管5固定连接，底板62与超出空心管5的XY轴平面的侧壁底部连接。所述的底板62与所述的超出空心管5的XY轴平面的侧壁为分体结构，在XY轴平面的侧壁外部设有卡箍组件63，通过将卡箍组件63锁紧或者松开，可以对底板62实现打开或者闭合，当底板62打开时，可以方便将容纳腔室6内部的金属粉末倒出，或者对温度计进行维修。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机的炉腔测温装置，其包括：真空镀膜机工作腔室(1)、大盘(2)、温度传感器(3)、温度计(4)、空心管(5)、齿轮(7)，其中大盘(2)位于真空镀膜机工作腔室(1)的底部，且大盘(2)的上表面上设有一个或多个工件架(21)，大盘(2)的底部设有转轴，空心管(5)穿过真空镀膜机工作腔室(1)的底部，其中空心管(5)的上部分位于真空镀膜机工作腔室(1)的内部，空心管(5)的下部分位于真空镀膜机工作腔室(1)的外部，转轴与空心管(5)的上部分固定连接，空心管(5)的下部分外围固定有齿轮(7)，齿轮(7)的外围包覆皮带轮(71)，皮带轮(71)的另外一侧穿过电机(72)的电机轴(721)，电机(72)的电机轴(721)可以带动皮带轮(71)旋转，从而带动空心管(5)旋转，从而带动大盘(2)旋转，温度传感器(3)位于真空镀膜机工作腔室(1)的内部，其特征在于：所述的真空镀膜机的炉腔测温装置还包括容纳腔室(6)，容纳腔室(6)固定在空心管(5)的底部，且容纳腔室(6)在XY平面上的横切面积大于空心管(5)在XY平面上的横切面积，温度计(4)位于容纳腔室(6)超出空心管的XY轴平面的侧壁上，温度传感器(3)的传输线穿过空心管(5)连接到温度计(4)上。/n...
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的炉腔测温装置，其包括：真空镀膜机工作腔室(1)、大盘(2)、温度传感器(3)、温度计(4)、空心管(5)、齿轮(7)，其中大盘(2)位于真空镀膜机工作腔室(1)的底部，且大盘(2)的上表面上设有一个或多个工件架(21)，大盘(2)的底部设有转轴，空心管(5)穿过真空镀膜机工作腔室(1)的底部，其中空心管(5)的上部分位于真空镀膜机工作腔室(1)的内部，空心管(5)的下部分位于真空镀膜机工作腔室(1)的外部，转轴与空心管(5)的上部分固定连接，空心管(5)的下部分外围固定有齿轮(7)，齿轮(7)的外围包覆皮带轮(71)，皮带轮(71)的另外一侧穿过电机(72)的电机轴(721)，电机(72)的电机轴(721)可以带动皮带轮(71)旋转，从而带动空心管(5)旋转，从而带动大盘(2)旋转，温度传感器(3)位于真空镀膜机工作腔室(1)的内部，其特征在于：所述的真空镀膜机的炉腔测温装置还包括容纳腔室(6)，容纳腔室(6)固定在空心管(5)的底部，且容纳腔室(6)在XY平面上的横切面积大于空心管(5)在XY平面上的横切面积，温度计(4)位于容纳腔室(6)超出空心管的XY轴平面的侧壁上，温度传感器(3)的传输线穿过空心管(5)连接到温度计(4)上。
2.如权利要求1所述的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：容纳...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴伟亮，冯刚，邓永琪，汪毅，梁海洋，章强，
申请(专利权)人：苏州星蓝纳米技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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