一种用于碳化硅打磨加工的冷却固定装置制造方法及图纸

一种用于碳化硅打磨加工的冷却固定装置，涉及半导体加工技术领域，与传统用于平面磨床的工件固定装置相比，该冷却固定装置具有中空的托盘，在打磨过程中，可以向托盘中注入冷却水，保持对石蜡的冷却，避免因石蜡融化而导致工件脱落的问题。进水管设置于基座上，进水管在注水的同时，还能扮演连接件的角色，实现托盘和基座的快速连接固定。除此之外，一般的平面磨床基本上都有循环水用以对砂轮进行冷却，在对托盘冷却时，只需要直接接入现有的循环水系统即可，并且现有平面磨床本身具备的用以回收循环水的水槽也可以直接用来接收托盘中流出的水，所以整个冷却固定装置并不需要对设备进行大的改动，制造成本较低。同时，该冷却固定装置提高了对循环水的利用率，还具备节能的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于碳化硅打磨加工的冷却固定装置
本技术涉及半导体加工
，具体而言，涉及一种用于碳化硅打磨加工的冷却固定装置。
技术介绍
平面磨床是磨床的一种，主要用砂轮旋转研磨工件以使其可达到要求的平整度。在工业生产过程中，为了提高生产效率，对于碳化硅技工领域，由于工件尺寸较小，通常会将多个工件摆放在一起集中打磨。在这时候，通常采用石蜡将多个小工件固定在同一个托盘上，随着托盘的往复运动，多个小工件轮流经过砂轮下方，即可实现利用一个砂轮对多个工件进行打磨。众所周知，在打磨的过程中，砂轮和工件的剧烈摩擦会产生大量的热量，现有的大型平面磨床中基本都会在打磨过程中往砂轮上浇水，对砂轮进行冷却。然而对于上述提到的小工件集中打磨的情况，石蜡本身熔点较低，打磨过程中的热量可能造成石蜡的融化，使其固定效果变差，严重时还会造成工件的掉落，现有的平面磨床中，却没有针对专门针对工件的冷却。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于碳化硅打磨加工的冷却固定装置，其结构简单，使用方便，可以在打磨的过程中，保持对工件以及工件周围石蜡的冷却，避免石蜡融化而导致工件掉落。本技术的实施例是这样实现的：一种用于碳化硅打磨加工的冷却固定装置，包括：托盘，托盘为中空结构，托盘的内部形成有储水室，托盘的下表面设置有进水口，进水口贯穿下表面与储水室连通；托盘长度方向上的端面设置有出水口，出水口贯穿端面与储水室连通；基座，基座的上表面凸设有进水管，进水管的位置与进水口对应；进水管可插入进水口；水槽，基座位于水槽内，基座宽度方向上的两侧与水槽的槽壁连接，水槽的槽壁上靠近槽底的位置设置有排水管，排水管贯穿水槽的槽壁与水槽内部连通；水槽的底部设置有滑槽，滑槽与平面磨床的导轨滑动配合。进一步地，在本技术的其它较佳实施例中，进水口和出水口分别位于储水室长度方向上的两端。进一步地，在本技术的其它较佳实施例中，进水口的数量为两个，两个进水口对称地分布于储水室宽度方向上的两侧；进水管的数量为两个，两个进水管与两个进水口一一对应。进一步地，在本技术的其它较佳实施例中，储水室内设置有多个隔板，每个隔板均沿储水室的宽度方向设置，且多个隔板相互平行；隔板包括第一隔板和第二隔板，第一隔板和第二隔板交替设置，第一隔板的中部设置有供水流通过的第一过水口，第二隔板的两端设置有供水流通过的第二过水口。进一步地，在本技术的其它较佳实施例中，托盘的上表面凹设有容置槽。进一步地，在本技术的其它较佳实施例中，容置槽的槽壁为斜面，使得容置槽的槽底在槽口所处平面上的正投影，位于槽口的范围内。进一步地，在本技术的其它较佳实施例中，进水管的外侧均套设有由弹性材料制成的密封环。进一步地，在本技术的其它较佳实施例中，基座还设置有进水输水管，进水输水管一端与进水管连通，另一端由基座的侧壁伸出与水供应设备连通。进一步地，在本技术的其它较佳实施例中，托盘长度方向上的两端均设置有便于手持的把手。进一步地，在本技术的其它较佳实施例中，基座在托盘上的正投影，位于托盘的范围内。本技术实施例的有益效果是：本技术实施例提供了一种用于碳化硅打磨加工的冷却固定装置，与传统的平面磨床用工件固定装置相比，该冷却固定装置具有中空的托盘，在打磨过程中，可以向托盘中注入冷却水，保持对石蜡的冷却，避免因石蜡融化而导致工件脱落的问题。进水管设置于基座上，进水管在注水的同时，还能扮演连接件的角色，实现托盘和基座的快速连接固定。除此之外，一般的平面磨床基本上都有循环水用以对砂轮进行冷却，在对托盘冷却时，只需要直接接入现有的循环水系统即可，并且现有平面磨床本身具备的用以回收循环水的水槽也可以直接用来接收托盘中流出的水，所以整个冷却固定装置并不需要对设备进行大的改动，制造成本较低。同时，该冷却固定装置提高了对循环水的利用率，还具备节能的效果。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术实施例一种平面磨床的示意图；图2为本技术实施例一种用于碳化硅打磨加工的冷却固定装置的示意图；图3为本技术实施例一种用于碳化硅打磨加工的冷却固定装置的托盘的剖视图；图4为本技术实施例一种用于碳化硅打磨加工的冷却固定装置的基座的剖视图。图标：10-平面磨床；20-工件；100-冷却固定装置；110-托盘；111-储水室；112-进水口；113-出水口；114-隔板；1141-第一隔板；1142-第二隔板；1151-第一过水口；1152-第二过水口；116-容置槽；117-把手；120-基座；121-进水管；122-密封环；123-进水输水管；130-水槽；131-排水管；132-滑槽；200-支撑台；210-导轨；300-打磨装置。具体实施方式为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于碳化硅打磨加工的冷却固定装置，其特征在于，包括：/n托盘，所述托盘为中空结构，所述托盘的内部形成有储水室，所述托盘的下表面设置有进水口，所述进水口贯穿所述下表面与所述储水室连通；所述托盘长度方向上的端面设置有出水口，所述出水口贯穿所述端面与所述储水室连通；/n基座，所述基座的上表面凸设有进水管，所述进水管的位置与所述进水口对应；所述进水管可插入所述进水口；/n水槽，所述基座位于所述水槽内，所述基座宽度方向上的两侧与所述水槽的槽壁连接，所述水槽的槽壁上靠近槽底的位置设置有排水管，所述排水管贯穿所述水槽的槽壁与所述水槽内部连通；所述水槽的底部设置有滑槽，所述滑槽与平面磨床的导轨滑动配合。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅打磨加工的冷却固定装置，其特征在于，包括：
托盘，所述托盘为中空结构，所述托盘的内部形成有储水室，所述托盘的下表面设置有进水口，所述进水口贯穿所述下表面与所述储水室连通；所述托盘长度方向上的端面设置有出水口，所述出水口贯穿所述端面与所述储水室连通；
基座，所述基座的上表面凸设有进水管，所述进水管的位置与所述进水口对应；所述进水管可插入所述进水口；
水槽，所述基座位于所述水槽内，所述基座宽度方向上的两侧与所述水槽的槽壁连接，所述水槽的槽壁上靠近槽底的位置设置有排水管，所述排水管贯穿所述水槽的槽壁与所述水槽内部连通；所述水槽的底部设置有滑槽，所述滑槽与平面磨床的导轨滑动配合。


2.根据权利要求1所述的冷却固定装置，其特征在于，所述进水口和所述出水口分别位于所述储水室长度方向上的两端。


3.根据权利要求2所述的冷却固定装置，其特征在于，所述进水口的数量为两个，两个所述进水口对称地分布于所述储水室宽度方向上的两侧；所述进水管的数量为两个，两个所述进水管与两个所述进水口一一对应。


4.根据权利要求3所述的冷却固定装置，其特征在于，所述储水室内设置有多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：马红彬，宛鹏，
申请(专利权)人：河南雅利安新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41