一种退火氢气处理系统技术方案

本发明专利技术提供了一种退火氢气处理系统，其包括出气管路、燃烧装置以及反应管，出气管路的一端与反应管连接，出气管路的另一端与燃烧装置连接，出气管路上设有冷却元件，退火氢气处理系统还包括半导体温差发电块，半导体温差发电块的热端与位于反应管以及冷却元件之间的出气管路接触相接，半导体温差发电块的冷端与冷却元件相接。本发明专利技术利用出气管路的高温以及冷却元件的低温之间形成的温差，可以很好地借助退火炉尾气的余热发电，然后再将得到的电能通过逆变器转换接入到蓄电池中，又或者自用和/或接入公共电网，提高了资源的利用效率以及工厂车间经济效益。

【技术实现步骤摘要】
一种退火氢气处理系统
本专利技术涉及金属热处理
，具体而言，涉及一种退火氢气处理系统
技术介绍
近十年来研究发现，硅中微小的原生缺陷都与硅中的氧有关。而提升硅片质量的关键是使制作器件的硅表层中形成低氧区，以减少晶格缺陷。途径之一就是采用氢气退火工艺，在氢气中进行高温退火，通过氢促进氧的外扩散并与氧反应将氧消耗掉，以改善硅片质量。氢气退火工艺完成后，其排出的氢气尾气含有大量余热，如果对氢气进行降温冷却处理后即排放到大气中，无疑会使得氢气尾气中的余热无法得到有效的回收利用，造成资源的极大浪费。经过大量检索发现一些典型的现有技术，如图6所示，申请号为201610785971.0的专利公开了一种氢气退火炉废气处理系统及方法，其具有结构简单、操作方便的特点。又如图7所示，申请号为201710755450.5的专利公开了一种冷轧退火用全氢罩式炉氢气回收工艺及系统，其在实现氢气循环利用的同时确保证生产的安全性。又如图8所示，申请号为201810419014.5的专利公开了一种冷轧处理线退火炉氢气回收系统，其解决了传统冷轧处理线废氢气无法回收利用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种退火氢气处理系统，包括出气管路、燃烧装置以及反应管，所述反应管用于通入保护气以对位于反应管内的金属进行退火工艺操作，所述出气管路的一端与反应管连接，所述出气管路的另一端与燃烧装置连接，所述出气管路上设有冷却元件，其特征在于，所述退火氢气处理系统还包括半导体温差发电块，所述半导体温差发电块的热端与位于所述反应管以及冷却元件之间的出气管路接触相接，所述半导体温差发电块的冷端与冷却元件相接。/n

【技术特征摘要】
1.一种退火氢气处理系统，包括出气管路、燃烧装置以及反应管，所述反应管用于通入保护气以对位于反应管内的金属进行退火工艺操作，所述出气管路的一端与反应管连接，所述出气管路的另一端与燃烧装置连接，所述出气管路上设有冷却元件，其特征在于，所述退火氢气处理系统还包括半导体温差发电块，所述半导体温差发电块的热端与位于所述反应管以及冷却元件之间的出气管路接触相接，所述半导体温差发电块的冷端与冷却元件相接。


2.如权利要求1所述的一种退火氢气处理系统，其特征在于，所述冷却元件包括冷却介质入口、冷却介质出口以及冷却腔体，冷却介质通过所述冷却介质入口进入到所述冷却腔体内，并通过所述冷却介质出口排出。


3.如权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘永存，杨超，张伟，李海星，邓乐，
申请(专利权)人：佛山津西金兰冷轧板有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44