一种抗酸碱UV减粘保护膜制造技术

本实用新型专利技术属于功能性薄膜技术领域，尤其涉及一种抗酸碱UV减粘保护膜，包括PO基材层，所述PO基材层的一面设置依次设置有UV减粘胶层和离型膜层，所述PO基材层的另一面依次设置有压敏胶层、乙烯基硅氧烷层、含氟聚酰亚胺膜层和疏水层。相比有现有技术，本实用新型专利技术柔软性佳，具有优异的跟随性和抗酸碱性，能有效避免酸碱液渗透到被保护面。

【技术实现步骤摘要】
一种抗酸碱UV减粘保护膜
本技术属于功能性薄膜
，尤其涉及一种抗酸碱UV减粘保护膜。
技术介绍
在大规模集成电路的制造和半导体器件的制造加工过程中，必不可少的基础材料是半导体芯片，半导体芯片是以单晶硅片(简称圆晶)加工而成的。在对晶圆材料进行切割、磨削加工时，需要用一种特殊的保护膜进行粘结固定，确保芯片边沿整齐，无多角、崩边、裂纹，表面无划伤、无残留晶渣及脏物污染。加工完毕后，需要把加工好的晶圆切片从保护膜上能轻易的完全剥离下来，不影响晶圆材料本身。这种使用时具有高粘结强度而通过紫外光照后又可以迅速彻底的失去粘性的保护膜称之为UV减粘保护膜。现有的UV减粘保护膜至少存在有以下缺点：1)很多UV保护膜采用PET基膜，PET基膜挺度较大，经常会有翘曲问题；2)很多UV减粘保护膜没有抗酸碱性，容易导致酸碱液渗入，破坏保护面。
技术实现思路
本技术的目的在于：针对现有技术的不足，而提供一种抗酸碱UV减粘保护膜，柔软性佳，具有优异的跟随性和抗酸碱性，能有效避免酸碱液渗透到被保护面。为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种抗酸碱UV减粘保护膜，包括PO基材层，所述PO基材层的一面设置依次设置有UV减粘胶层和离型膜层，所述PO基材层的另一面依次设置有压敏胶层、乙烯基硅氧烷层、含氟聚酰亚胺膜层和疏水层。作为本技术所述的抗酸碱UV减粘保护膜的一种改进，所述压敏胶层与所述乙烯基硅氧烷层连接的一面设置为波浪状。作为本技术所述的抗酸碱UV减粘保护膜的一种改进，所述UV减粘胶层与所述PO基材层连接的一面设置有若干凹槽。作为本技术所述的抗酸碱UV减粘保护膜的一种改进，所述疏水层设置有若干网孔，若干所述网孔的孔径为1～10μm，若干所述网孔的形状设置为正多边形、圆形或椭圆形。作为本技术所述的抗酸碱UV减粘保护膜的一种改进，所述乙烯基硅氧烷层的厚度为5～20μm。作为本技术所述的抗酸碱UV减粘保护膜的一种改进，所述含氟聚酰亚胺膜层的厚度为2～10μm。作为本技术所述的抗酸碱UV减粘保护膜的一种改进，所述压敏胶层的厚度为10～30μm。作为本技术所述的抗酸碱UV减粘保护膜的一种改进，所述PO基材层的厚度为45～90μm。作为本技术所述的抗酸碱UV减粘保护膜的一种改进，所述UV减粘胶层的厚度为12～25μm。作为本技术所述的抗酸碱UV减粘保护膜的一种改进，所述离型膜层的厚度为45～70μm。相比于现有技术，本技术的有益效果在于：1)本技术采用PO作为基材层的材料，PO柔软性佳且具有优异的跟随性，从而使得本技术的UV减粘保护膜具有柔韧性佳以及跟随性优异的优点。2)本技术在PO基材层的一面设置有UV减粘胶层和离型膜层，只需将离型膜层撕开，即可将UV减粘层粘接于被贴物，而在UV光照射前，本技术的UV减粘胶层具有很高的粘性(1800gf/25mm)，可以很好的粘接于被贴物表面，在UV光照射后，UV减粘胶层固化减粘(20gf/25mm)，可以很好的从被贴物表面撕除，且对被贴物表面无残胶污染。3)本技术通过压敏胶将乙烯基硅氧烷层、含氟聚酰亚胺膜层和疏水层依次于PO基材层的一面，其中，由于氟、硅材料具有表面张力低和耐腐蚀性能优的特性，能起到很好的抗酸碱作用，从而有效避免酸碱液渗透到被贴物表面。附图说明图1是本技术的结构示意图。其中：1-PO基材层，2-UV减粘胶层，3-离型膜层，4-压敏胶层，5-乙烯基硅氧烷层，6-含氟聚酰亚胺膜层，7-疏水层，21-凹槽，71-网孔。具体实施方式如在说明书及权利要求当中使用了某些词汇来指称特定组件。本领域技术人员应可理解，硬件制造商可能会用不同名词来称呼同一个组件。本说明书及权利要求并不以名称的差异来作为区分组件的方式，而是以组件在功能上的差异来作为区分的准则。如在通篇说明书及权利要求当中所提及的“包含”为一开放式用语，故应解释成“包含但不限定于”。“大致”是指在可接受的误差范围内，本领域技术人员能够在一定误差范围内解决所述技术问题，基本达到所述技术效果。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。以下结合附图对本技术作进一步详细说明，但不作为对本技术的限定。如图1所示，一种抗酸碱UV减粘保护膜，包括PO基材层1，PO基材层1的一面设置依次设置有UV减粘胶层2和离型膜层3，PO基材层1的另一面依次设置有压敏胶层4、乙烯基硅氧烷层5、含氟聚酰亚胺膜层6和疏水层7。进一步地，压敏胶层4与乙烯基硅氧烷层5连接的一面设置为波浪状。波浪状的设置使得乙烯基硅氧烷层5与压敏胶层4的结合更加紧密牢固。进一步地，UV减粘胶层2与PO基材层4连接的一面设置有若干凹槽21。凹槽21的设置使得PO基材层1与UV减粘胶层2的结合更加紧密牢固。进一步地，疏水层7设置有若干网孔71，若干网孔71的孔径为1～10μm，若干网孔71的形状设置为正多边形、圆形或椭圆形。具有正多边形、圆形或椭圆形的微米级网孔的疏水层7表面张力大，疏水能力好，有利于减少与含氟聚酰亚胺膜层6接触的酸碱的量。进一步地，乙烯基硅氧烷层5的厚度为5～20μm。含氟聚酰亚胺膜层6的厚度为2～10μm。压敏胶层4的厚度为10～30μm。PO基材层1的厚度为45～90μm。UV减粘胶层2的厚度为12～25μm。离型膜层的厚度3为45～70μm。以上各层的厚度均设置在合理的范围内，若以上各层的厚度过薄则起不到相应的作用，若以上各层的厚度过厚则会导致整体厚度过大，影响使用。上述说明示出并描述了本技术的若干优选实施方式，但如前所述，应当理解本技术并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施方式的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述技术构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本技术的精神和范围，则都应在本技术所附权利要求的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抗酸碱UV减粘保护膜，其特征在于：包括PO基材层，所述PO基材层的一面设置依次设置有UV减粘胶层和离型膜层，所述PO基材层的另一面依次设置有压敏胶层、乙烯基硅氧烷层、含氟聚酰亚胺膜层和疏水层。/n

【技术特征摘要】
1.一种抗酸碱UV减粘保护膜，其特征在于：包括PO基材层，所述PO基材层的一面设置依次设置有UV减粘胶层和离型膜层，所述PO基材层的另一面依次设置有压敏胶层、乙烯基硅氧烷层、含氟聚酰亚胺膜层和疏水层。


2.根据权利要求1所述的抗酸碱UV减粘保护膜，其特征在于：所述压敏胶层与所述乙烯基硅氧烷层连接的一面设置为波浪状。


3.根据权利要求1所述的抗酸碱UV减粘保护膜，其特征在于：所述UV减粘胶层与所述PO基材层连接的一面设置有若干凹槽。


4.根据权利要求1所述的抗酸碱UV减粘保护膜，其特征在于：所述疏水层设置有若干网孔，若干所述网孔的孔径为1～10μm，若干所述网孔的形状设置为正多边形、圆形或椭圆形。


5....

【专利技术属性】
技术研发人员：石喜梅，
申请(专利权)人：惠州市新欣材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44