【技术实现步骤摘要】
两通,三通的手动气动化学柱塞阀
本专利技术涉及阀门
,具体涉及两通,三通的手动气动化学柱塞阀。
技术介绍
在微电子行业有许多必须用到高腐蚀性及高纯度的化学品,一般都是使用昂贵的PFA材质隔膜阀,但隔膜阀必须使用昂贵且耗时的模具配合高温高压的PFA注模方式达成,过程繁复;并且隔膜阀因为必须通过狭窄的通道,通道中无可避免的死角也让研磨液的颗粒容易堵塞及聚积在窄通道内,其压力的损失较为大,流体的顺畅度较差。
技术实现思路
为了克服上述技术缺陷的不足,本专利技术提供了一种结构合理、耐腐蚀性强、压力损失小的两通,三通的手动气动化学柱塞阀。一种两通,三通的手动气动化学柱塞阀,关键在于:包括阀体,所述阀体中安装有阀芯,所述阀体上开设有进液口和出液口,所述阀芯的上部穿出所述阀体连接有转向装置。优选的,所述转向装置包括压盖、密封圈和阀杆,所述压盖与所述阀体固定连接,所述密封圈通过压盖与所述阀体压紧,所述阀杆的下部与所述阀芯固定连接,所述阀杆的上部贯穿所述密封圈、压盖后固定连接有手柄。该方案的效果是通过 ...
【技术保护点】
1.一种两通,三通的手动气动化学柱塞阀,其特征在于:包括阀体(1),所述阀体(1)中安装有阀芯(2),所述阀体(1)上开设有进液口(3)和至少一个出液口(4),所述阀芯(2)的上部穿出所述阀体(1)连接有转向装置(5)。/n
【技术特征摘要】
1.一种两通,三通的手动气动化学柱塞阀,其特征在于:包括阀体(1),所述阀体(1)中安装有阀芯(2),所述阀体(1)上开设有进液口(3)和至少一个出液口(4),所述阀芯(2)的上部穿出所述阀体(1)连接有转向装置(5)。
2.根据权利要求1所述的两通,三通的手动气动化学柱塞阀,其特征在于:所述转向装置(5)包括压盖(51)、第一密封圈(52)和阀杆(53),所述压盖(51)与所述阀体(1)固定连接,所述第一密封圈(52)通过压盖(51)与所述阀体(1)压紧,所述阀杆(53)的下部与所述阀芯(2)固定连接,所述阀杆(53)的上部贯穿所述第一密封圈(52)、压盖(51)后固定连接有手柄(54)。
3.根据权利要求1所述的两通,三通的手动气动化学柱塞阀,其特征在于:所述转向装置(5)包括压盖(51)、第一密封圈(52)和气动执行器(55),所述压盖(51)与所述阀体(1)固定连接,所述第一密封圈(52)通过压盖(51)与所述阀体(1)压紧,所述阀芯(2)的上部固定连接有阀杆(53),所述阀杆(53)的上部贯穿所述第一密封圈(52)、压盖(51)后与所述气动执行器(55)的输出端固定连接。
4.根据权利要求3所述的两通,三通的手动气动化学柱塞阀,其特征在于:所述压盖(51)和所述气动执行器(55)之间固定设有执行器支撑架(6),所述执行器支撑架(6)中活动...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑圣弘,王其任,
申请(专利权)人:深圳融科科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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