掩模组件及包括掩模组件的用于制造显示装置的设备制造方法及图纸

提供了一种用于制造显示装置的掩模组件和一种包括掩模组件的用于制造显示装置的设备，所述掩模组件包括：掩模框架，包括沿第一方向布置的一对第一边部分、沿与第一方向相交的第二方向布置的一对第二边部分以及由第一边部分和第二边部分限定的开口部分；掩模片，布置在掩模框架的开口部分上，固定在掩模框架上，并且包括多个开口；以及支撑构件，利用被施加的拉力附着到掩模框架的第一边部分和第二边部分中的至少一者。

【技术实现步骤摘要】
掩模组件及包括掩模组件的用于制造显示装置的设备本申请要求于2019年2月1日提交的第10-2019-0013760号韩国专利申请的优先权和权益，出于所有目的，该韩国专利申请通过引用被包含于此，如同在这里充分阐述的一样。
专利技术的示例性实施方式总体涉及一种掩模组件设备，更具体地，涉及一种用于显示装置的掩模组件以及一种包括该掩模组件的用于制造显示装置的设备。
技术介绍
移动电子设备被广泛使用。对于移动电子设备，不仅诸如移动电话之类的小型电子设备已经被广泛使用，而且最近，平板个人计算机(PC)也已经被广泛使用。为了支持各种功能，移动电子设备包括显示装置，以向用户提供诸如图像的视觉信息。近来，随着用于驱动显示装置的部件已经小型化，电子设备的被显示装置占据的部分已经逐渐增加，并且允许显示装置在平坦状态下具有预定角度的可弯曲结构正在开发中。显示装置可以通过具有精细图案的掩模组件来制造，通过所述掩模组件将沉积材料施加到基底以生产显示装置。在本
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于理解专利技术构思的背景，因此，其可能包含不构成现有技术的信息。
技术实现思路
申请人发现，在制造用于显示装置的掩模组件的工艺期间，掩模框架会在掩模片被附着到掩模框架之后变形。结果，因为变形的掩模具有与为显示基底设计的图案不同的图案，所以在通过使用变形的掩模组件沉积沉积材料而制造的显示装置中会产生缺陷。由于根据专利技术的原理和示例性实施方式构造的用于显示装置的掩模组件可以保持掩模框架的最初设计的形状，因此掩模组件能够制造出具有精细沉积图案的显示装置。例如，用于根据专利技术的原理和示例性实施例构造的掩模组件的一个或更多个支撑构件可以利用被施加的拉力被选择性地附着到掩模框架或被从掩模框架去除，这从而通过简单的结构校正了掩模组件的变形而不损害掩模组件的完整性。包括根据专利技术的原理和示例性实施方式构造的掩模组件的用于制造显示装置的设备以及根据专利技术的原理的制造显示装置的方法能够简单地且快速地校正在沉积工艺期间发生的掩模框架的变形，从而减少了显示装置的制造时间和制造成本。根据专利技术的原理和示例性实施例的用于制造显示装置的设备和制造显示装置的方法通过使用具有最小化的变形的掩模组件制造出包括精确图案的显示装置，并且使制造显示装置时的缺陷率最小化。专利技术构思的附加特征将在下面的描述中阐述，并且部分地通过该描述将是明显的，或者可以通过实践专利技术构思来习得。根据专利技术的方面，一种用于制造显示装置的掩模组件包括：掩模框架，包括沿第一方向布置的一对第一边部分、沿与第一方向相交的第二方向布置的一对第二边部分以及由第一边部分和第二边部分限定的开口部分；掩模片，布置在掩模框架的开口部分上，固定在掩模框架上，并且包括多个开口；支撑构件，利用被施加的拉力附着到掩模框架的第一边部分和第二边部分中的至少一种边部分。掩模框架的第一边部分和第二边部分中的所述至少一种边部分可以包括槽，并且支撑构件可以包括横跨槽设置的支撑杆。槽的长度可以比掩模框架的开口部分的一边的长度小。槽的宽度可以为其中形成有槽的所述至少一种边部分的宽度的大约1/2或更小。支撑杆可以在槽的长度方向和槽的宽度方向中的至少一个方向上横跨槽设置。支撑构件可以包括可拆卸地附着到掩模框架的支撑杆，以能够根据掩模框架的变形从掩模框架拆卸而不损害掩模框架的完整性。支撑构件可以包括多个第一支撑杆和多个第二支撑杆，并且第一支撑杆中的至少一个可以附着到掩模框架的第一边部分中的一个，第二支撑杆中的至少一个可以附着到掩模框架的第一边部分中的另一个。第一支撑杆的数量和第二支撑杆的数量可以彼此不同。根据专利技术的另一方面，一种用于制造显示装置的设备包括：腔室，显示基底布置在其中；掩模组件，布置在腔室内部以面对显示基底；以及沉积源，布置在腔室内部以面对掩模组件，其中，掩模组件包括掩模框架、掩模片和支撑构件，掩模框架包括沿第一方向布置的一对第一边部分、沿第二方向布置的一对第二边部分以及由第一边部分和第二边部分限定的开口部分，掩模片布置在掩模框架上，固定在掩模框架的开口部分上，并且包括多个开口，支撑构件利用被施加的拉力附着到掩模框架的第一边部分和第二边部分中的至少一种边部分。掩模框架的第一边部分和第二边部分中的所述至少一种边部分可以包括槽，并且支撑构件可以包括横跨槽设置的支撑杆。支撑杆可以在槽的长度方向和槽的宽度方向中的至少一个方向上横跨槽设置。槽的长度可以比掩模框架的开口部分的一边的长度小，或者槽的宽度可以为其中形成有槽的所述至少一种边部分的宽度的大约1/2或更小。支撑构件可以包括：支撑杆，可拆卸地附着到掩模框架，以使得根据掩模框架的变形而能够从掩模框架拆卸，而不损害掩模组件的完整性。支撑杆可以包括多个第一支撑杆和多个第二支撑杆，第一支撑杆中的至少一个可以附着到掩模框架的第一边部分中的一个，并且第二支撑杆中的至少一个可以附着到掩模框架的第一边部分中的另一个。第一支撑杆的数量和第二支撑杆的数量可以彼此不同。根据专利技术的又一方面，一种制造显示装置的方法包括以下步骤：感测掩模框架的变形；通过选择性地将支撑杆附着在掩模框架上或从掩模框架去除支撑杆来校正掩模框架的变形；以及将包括已经校正了变形的掩模框架的掩模组件布置在沉积室内部，然后通过使用沉积源将沉积材料供应并沉积在显示基底上。将支撑构件附着到掩模框架的步骤可以包括：利用被施加的拉力将支撑杆布置并固定在掩模框架上。支撑构件可以包括多个第一支撑杆和多个第二支撑杆，并且该方法还可以包括以下步骤：根据掩模框架的变形，将第一支撑杆和第二支撑杆布置在掩模框架的多个部分上，掩模框架的所述多个部分相对于掩模框架的中心彼此不同。第一支撑杆的数量和第二支撑杆的数量可以彼此不同。可以在掩模框架中设置槽，并且支撑构件可以在槽的宽度方向或长度方向上横跨槽。将理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述都是示例性的和说明性的，并且旨在提供对所要求保护的专利技术的进一步解释。附图说明附图示出了专利技术的示例性实施例，并且与描述一起用于解释专利技术构思，附图被包括以提供对专利技术的进一步理解，并且被并入本说明书中并构成本说明书的一部分。图1是根据专利技术的原理构造的用于制造显示装置的设备的示例性实施例的剖视图。图2是图1中所示的掩模组件的透视图。图3是图2中所示的掩模框架的第一变形形状的示例性实施例的平面图。图4是图3中所示的掩模框架在变形已经被校正后的平面图。图5是图2中所示的掩模框架的第二变形形状的示例性实施例的平面图。图6是图5中所示的掩模框架在变形已经被校正后的平面图。图7是根据专利技术的原理构造的掩模组件的另一示例性实施例的透视图。图8是图7中所示的掩模框架的第三变形形状的示例性实施例的平面图。图9是图8中所示的掩模框架在变形已经被校正后的平面图。图10是图7中所示的掩模框架的第四变形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制造显示装置的掩模组件，所述掩模组件包括：/n掩模框架，包括沿第一方向布置的一对第一边部分、沿与所述第一方向相交的第二方向布置的一对第二边部分以及由所述第一边部分和所述第二边部分限定的开口部分；/n掩模片，布置在所述掩模框架的所述开口部分上，固定在所述掩模框架上，并且包括多个开口；以及/n支撑构件，利用被施加的拉力附着到所述掩模框架的所述第一边部分和所述第二边部分中的至少一种边部分。/n

【技术特征摘要】
20190201 KR 10-2019-00137601.一种用于制造显示装置的掩模组件，所述掩模组件包括：
掩模框架，包括沿第一方向布置的一对第一边部分、沿与所述第一方向相交的第二方向布置的一对第二边部分以及由所述第一边部分和所述第二边部分限定的开口部分；
掩模片，布置在所述掩模框架的所述开口部分上，固定在所述掩模框架上，并且包括多个开口；以及
支撑构件，利用被施加的拉力附着到所述掩模框架的所述第一边部分和所述第二边部分中的至少一种边部分。


2.根据权利要求1所述的掩模组件，其中，所述掩模框架的所述第一边部分和所述第二边部分中的所述至少一种边部分包括槽，并且所述支撑构件包括横跨所述槽设置的支撑杆。


3.根据权利要求2所述的掩模组件，其中，所述槽的长度比所述掩模框架的所述开口部分的一边的长度小。


4.根据权利要求2所述的掩模组件，其中，所述槽的宽度为所述槽形成在其中的所述至少一种边部分的宽度的1/2或更小。


5.根据权利要求2所述的掩模组件，其中，所述支撑杆沿所述槽的长度方向和所述槽的宽度方向中的至少一个方向横跨所述槽设置。


6.根据权利要求1所述的掩模组件，其中，所述支撑构件包括可拆卸地附着到所述掩模框架的支撑杆，以能够根据所述掩模框架...

【专利技术属性】
技术研发人员：金世一，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR