一种双面太阳能电池及其制作方法技术

本申请公开了双面太阳能电池制作方法，包括获得正面形成有扩散层的预处理硅片，且预处理硅片的正面和背面均具有金字塔绒面结构；去除位于预处理硅片的背面的磷硅玻璃，并清洗去除磷硅玻璃后的预处理硅片，得到清洗后硅片；在清洗后硅片的正面依次形成叠加的氧化层和第一钝化层，得到处理后硅片；利用氢氟酸溶液去除位于处理后硅片的背面的绕镀氧化层和绕镀钝化层，并利用碱溶液去除位于处理后硅片的背面的扩散层和制绒，得到再处理硅片；在再处理硅片的背面形成第二钝化层，并对第二钝化层进行开槽处理，得到电池前驱体；分别在电池前驱体的正面和背面形成电极，得到双面太阳能电池，有效提高电池的双面率，并减小正面和背面的色差。

【技术实现步骤摘要】
一种双面太阳能电池及其制作方法
本申请涉及太阳能电池
，特别是涉及一种双面太阳能电池及其制作方法。
技术介绍
PERC(passivatedemitterandrearcontact，钝化发射极及背接触)电池因其自身良好的背钝化结构，可以提高电池的开压和短路电流，成为光伏行业的研究热点。目前在制备PERC双面太阳能电池时，在对硅片的正面进行扩散，形成金字塔结构之后，采用酸刻蚀的方法去除背面的PSG以及对背面进行抛光处理，因在背面采用酸刻蚀的方式，使得硅片背面反射率高，陷光能力差，导致电池背面效率不高，双面率一般为70％-75％，并且由于对背面进行刻蚀处理，使得硅片背面是凹凸不平的结构，而不是金字塔结构，即与正面的结构类型不同，导致PERC双面太阳能电池外观差异较大。因此，如何解决上述技术问题应是本领域技术人员重点关注的。
技术实现思路
本申请的目的是提供一种双面太阳能电池及其制作方法，以提高双面太阳能电池的双面率，并减小正面和背面的色差。为解决上述技术问题，本申请提供一种双面太阳能电池制作方法，包括：获得正面形成有扩散层的预处理硅片，且所述预处理硅片的所述正面和背面均具有金字塔绒面结构；去除位于所述预处理硅片的所述背面的磷硅玻璃，并清洗去除所述磷硅玻璃后的所述预处理硅片，得到清洗后硅片；在所述清洗后硅片的所述正面依次形成叠加的氧化层和第一钝化层，得到处理后硅片；利用氢氟酸溶液去除位于所述处理后硅片的所述背面的绕镀氧化层和绕镀钝化层，并利用碱溶液去除位于所述处理后硅片的所述背面的扩散层和制绒，得到再处理硅片；在所述再处理硅片的所述背面形成第二钝化层，并对所述第二钝化层进行开槽处理，得到电池前驱体；分别在所述电池前驱体的正面和背面形成电极，得到双面太阳能电池。可选的，所述获得正面形成有扩散层的预处理硅片，且所述预处理硅片的所述正面和背面均具有金字塔绒面结构包括：获得去损伤硅片；利用碱溶液对所述去损伤硅片进行制绒处理；对制绒后硅片的所述正面进行磷掺杂形成所述扩散层，得到所述预处理硅片。可选的，在所述对制绒后硅片的所述正面进行磷掺杂形成所述扩散层之后，还包括：对所述扩散层进行选择性发射电极掺杂。可选的，所述对制绒后硅片的所述正面进行磷掺杂形成所述扩散层包括：利用扩散法或者离子注入法，对制绒后硅片的所述正面进行磷掺杂形成所述扩散层。可选的，所述在所述再处理硅片的所述背面形成第二钝化层包括：在所述再处理硅片的所述背面依次形成叠加的氧化铝层和氮化硅层；相应的，对所述第二钝化层进行开槽处理包括：对所述氮化硅层进行开槽处理。可选的，在所述清洗后硅片的所述正面形成所述氧化层时，包括：利用高温热氧氧化法、硝酸氧化法、化学气相沉积法中的任一种方法形成所述氧化层。可选的，在所述清洗后硅片的所述正面形成所述第一钝化层时，包括：利用等离子体增强化学气相沉积法形成所述第一钝化层。本申请还提供一种双面太阳能电池，所述双面太阳能电池由上述任一种所述的双面太阳能电池制作方法制得。本申请所提供的一种双面太阳能电池制作方法，包括获得正面形成有扩散层的预处理硅片，且所述预处理硅片的所述正面和背面均具有金字塔绒面结构；去除位于所述预处理硅片的所述背面的磷硅玻璃，并清洗去除所述磷硅玻璃后的所述预处理硅片，得到清洗后硅片；在所述清洗后硅片的所述正面依次形成叠加的氧化层和第一钝化层，得到处理后硅片；利用氢氟酸溶液去除位于所述处理后硅片的所述背面的绕镀氧化层和绕镀钝化层，并利用碱溶液去除位于所述处理后硅片的所述背面的扩散层和制绒，得到再处理硅片；在所述再处理硅片的所述背面形成第二钝化层，并对所述第二钝化层进行开槽处理，得到电池前驱体；分别在所述电池前驱体的正面和背面形成电极，得到双面太阳能电池。可见，本申请中的双面太阳能电池制作方法对预处理硅片仅去除背面的磷硅玻璃而保留背面的金字塔绒面结构，并进行清洗，然后在清洗后硅片的正面形成氧化层和钝化层以得到处理后硅片，再用氢氟酸去除在背面形成的绕镀氧化层和绕镀钝化层，并用碱溶液去除在正面形成扩散层时在背面形成的扩散层，同时碱溶液还能在背面形成金字塔绒面结构，即在硅片的正面和背面均为金字塔绒面结构，使得到的双面电池的背面效率及双面率提高，且正面和背面色差减小，外观更加美观，双面电池的良率提高；另外，在利用氢氟酸溶液和碱溶液去除氧化层、绕镀钝化层、扩散层时，第一钝化层还起到掩膜层的作用，无需引入额外的掩膜层，有效减少外来污染，更适用工业化生产。此外，本申请还提供一种具有上述优点的双面太阳能电池。附图说明为了更清楚的说明本申请实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请实施例所提供的一种双面太阳能电池制作方法的流程图；图2为获得正面形成有扩散层的预处理硅片的流程图。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术，但是本专利技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似推广，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。正如
技术介绍
部分所述，现有的PERC双面太阳能电池双面率比较低，并且背面的绒面结构与正面不同，导致PERC双面太阳能电池的色差较大。有鉴于此，本申请提供了一种双面太阳能电池制作方法，请参考图1，图1为本申请实施例所提供的一种双面太阳能电池制作方法的流程图，该方法包括：步骤S101：获得正面形成有扩散层的预处理硅片，且所述预处理硅片的所述正面和背面均具有金字塔绒面结构。需要指出的是，本申请中的硅片主要对于P型单晶硅片而言，但不限于P型单晶硅片。正面即为双面太阳能电池面对太阳的一面，背面与正面相背。步骤S102：去除位于所述预处理硅片的所述背面的磷硅玻璃，并清洗去除所述磷硅玻璃后的所述预处理硅片，得到清洗后硅片。在对硅片的正面进行扩散形成扩散层时，在背面也会产生扩散层和磷硅玻璃，本步骤即是去除在背面产生的磷硅玻璃，具体可以采用氢氟酸溶液去除磷硅玻璃。进一步的，磷硅玻璃去除后，采用湿化学清洗方式清洗预处理硅片以去除颗粒、金属离子等沾污。步骤S103：在所述清洗后硅片的所述正面依次形成叠加的氧化层和第一钝化层，得到处理后硅片。具体的，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双面太阳能电池制作方法，其特征在于，包括：/n获得正面形成有扩散层的预处理硅片，且所述预处理硅片的所述正面和背面均具有金字塔绒面结构；/n去除位于所述预处理硅片的所述背面的磷硅玻璃，并清洗去除所述磷硅玻璃后的所述预处理硅片，得到清洗后硅片；/n在所述清洗后硅片的所述正面依次形成叠加的氧化层和第一钝化层，得到处理后硅片；/n利用氢氟酸溶液去除位于所述处理后硅片的所述背面的绕镀氧化层和绕镀钝化层，并利用碱溶液去除位于所述处理后硅片的所述背面的扩散层和制绒，得到再处理硅片；/n在所述再处理硅片的所述背面形成第二钝化层，并对所述第二钝化层进行开槽处理，得到电池前驱体；/n分别在所述电池前驱体的正面和背面形成电极，得到双面太阳能电池。/n

【技术特征摘要】
1.一种双面太阳能电池制作方法，其特征在于，包括：
获得正面形成有扩散层的预处理硅片，且所述预处理硅片的所述正面和背面均具有金字塔绒面结构；
去除位于所述预处理硅片的所述背面的磷硅玻璃，并清洗去除所述磷硅玻璃后的所述预处理硅片，得到清洗后硅片；
在所述清洗后硅片的所述正面依次形成叠加的氧化层和第一钝化层，得到处理后硅片；
利用氢氟酸溶液去除位于所述处理后硅片的所述背面的绕镀氧化层和绕镀钝化层，并利用碱溶液去除位于所述处理后硅片的所述背面的扩散层和制绒，得到再处理硅片；
在所述再处理硅片的所述背面形成第二钝化层，并对所述第二钝化层进行开槽处理，得到电池前驱体；
分别在所述电池前驱体的正面和背面形成电极，得到双面太阳能电池。


2.如权利要求1所述的双面太阳能电池制作方法，其特征在于，所述获得正面形成有扩散层的预处理硅片，且所述预处理硅片的所述正面和背面均具有金字塔绒面结构包括：
获得去损伤硅片；
利用碱溶液对所述去损伤硅片进行制绒处理；
对制绒后硅片的所述正面进行磷掺杂形成所述扩散层，得到所述预处理硅片。


3.如权利要求2所述的双面太阳能电池制作方法，其特征在于，在所述对制绒后硅片的所述正面进行磷掺杂形成所...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖晖，马玉超，单伟，何胜，徐伟智，
申请(专利权)人：浙江正泰太阳能科技有限公司，海宁正泰新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33