照明光学系统、曝光装置以及物品制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开照明光学系统、曝光装置以及物品制造方法。照明光学系统使用从光源射出的非相干光对被照明面进行照明。所述照明光学系统包括：积分器，配置于所述光源与所述被照明面之间；光学系统，配置于所述积分器与所述被照明面之间；以及光学元件，配置于所述积分器与所述光学系统之间，所述光学元件包括楔形形状部。

【技术实现步骤摘要】
照明光学系统、曝光装置以及物品制造方法
本专利技术涉及照明光学系统、曝光装置以及物品制造方法。
技术介绍
在用于制造半导体装置或者显示装置等物品的光刻工序中，能够使用曝光装置。在曝光装置中，在1次的曝光处理中曝光的1个拍摄区域的尺寸各种各样。例如，在显示装置的制造中能够使用的第8代的基板具有纵2200mm×横2400mm的尺寸，能够在该基板上配置多个拍摄区域。在将基板纵向2分割、横向2分割而配置4个拍摄区域的情况下，1个拍摄区域能够成为纵1100mm×横1200mm。在将基板纵向2分割、横向3分割而配置6个拍摄区域的情况下，1个拍摄区域能够成为纵1100mm×横800mm。在专利文献1中，记载了一种曝光装置，具有：聚光镜，对来自放电灯的光进行聚光；以及积分透镜，设置于来自该聚光镜的光的聚光位置，其中，设为能够将该积分透镜与发散角度不同的其它积分透镜更换。在这样的曝光装置中，例如，在从具有宽的曝光面积的工件变更为具有窄的曝光面积的工件的情况下，从发散角度大的积分透镜变更为发散角度小的积分透镜。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平3-165023号公报
技术实现思路
在专利文献1记载的技术中，在从具有某个发散角度的积分器更换为具有其它发散角度的积分器的情况下，曝光面积(原版的照明范围)变化，但曝光范围的重心位置仍原样地固定于光轴。即，在专利文献1记载的技术中，由于积分器的更换而变化的只不过是以光轴为中心的曝光范围的半径。因此，专利文献1记载的技术难以应用于使用通过配置于远离光轴的位置的狭缝的狭缝光来进行曝光的扫描曝光技术。这是因为，在扫描曝光装置中，在减小与扫描方向正交的方向上的狭缝的宽度的情况下，如果与其对应地减小原版的照明范围，则有可能无法对狭缝的整个域进行照明。此外，为了变更照明范围的位置(例如重心位置)，考虑变更照明光学系统相对投影光学系统的位置，但在这样的方式中，在照明光学系统的位置的变更中可能需要长时间。本专利技术的目的在于提供一种有利于容易地变更照明范围的位置的技术。本专利技术的第1侧面涉及使用来自光源的光对被照明面进行照明的照明光学系统，所述照明光学系统包括：积分器，配置于所述光源与所述被照明面之间；光学系统，配置于所述积分器与所述被照明面之间；以及光学元件，配置于所述积分器与所述光学系统之间，所述光学元件包括楔形形状部。本专利技术的第2侧面涉及使用来自光源的光对被照明面进行照明的照明光学系统，所述照明光学系统包括：积分器，从射出角相互不同的多个积分器选择、且配置于所述光源与所述被照明面之间；光学系统，配置于所述积分器与所述被照明面之间；以及光学元件，配置于所述积分器与所述光学系统之间，所述光学元件包括楔形形状部。本专利技术的第3侧面涉及曝光装置，所述曝光装置具备：所述第1或者第2侧面所涉及的照明光学系统；以及投影光学系统，将配置于所述照明光学系统的所述被照明面的原版的图案投影到基板。本专利技术的第4侧面涉及物品制造方法，所述物品制造方法包括：曝光工序，使用所述第3侧面所涉及的曝光装置对基板进行曝光；以及显影工序，对在所述曝光工序中曝光的所述基板进行显影，根据所述基板制造物品。根据本专利技术，提供有利于容易地变更照明范围的位置的技术。附图说明图1是示出第1实施方式的照明光学系统的第1使用方式的图。图2是示出第1实施方式的照明光学系统的第2使用方式的图。图3是例示照明范围的偏移的图。图4是示出第2实施方式的照明光学系统的图。图5是说明照明范围的放大的图。图6是示出第3实施方式的照明光学系统的图。图7是例示照明范围的偏移的图。图8是示出第4实施方式的照明光学系统的图。图9是例示照明范围的偏移的图。图10是示出第5实施方式的照明光学系统的图。图11是例示照明范围的偏移的图。图12是示出光学元件的结构例的图。图13是示出光学元件的结构例的图。图14是示出光学元件的结构例的图。图15是示出光学元件的结构例的图。图16是示出光学元件的结构例的图。图17是示出一个实施方式的曝光装置的结构的图。图18是例示照明范围的图。(符号说明)1：光源；2：光学系统；3：积分器；4：光学系统；5：被照明面；8：光学元件；13：积分器；51：照明范围；52：照明范围。具体实施方式以下，参照附图，详细说明实施方式。此外，以下的实施方式不限定权利要求书所涉及的专利技术。在实施方式中记载了多个特征，但这些多个特征并非在专利技术中全部必须的，并且，多个特征可任意地组合。进而，在附图中，对同一或者同样的结构附加同一参照编号，省略重复的说明。图1示出第1实施方式的照明光学系统200的第1使用方式。照明光学系统200例如能够构成扫描曝光装置等曝光装置的一部分。曝光装置具有照明光学系统200和投影光学系统，通过照明光学系统200对配置于该投影光学系统的物体面的原版进行照明，向配置于该投影光学系统的像面的基板投影该原版的图案。照明光学系统200能够用作对能够配置于被照明面的物体的任意的照明范围进行照明的装置。照明光学系统200能够具备光源1、配置于光源1与被照明面5之间的光学系统(第2光学系统)4、以及配置于光源1与光学系统4之间的积分器(光学积分器)3。照明光学系统200能够还具备配置于光源1与积分器3之间的光学系统(第1光学系统)2。光源1例如能够包括高压汞灯、氙灯、准分子激光器、激光二极管或者LED等发光元件。光学系统2可以是将积分器3的入射面作为光源1的傅立叶变换面的傅立叶变换光学系统。在一个例子中，能够构成为光源1射出非相干光，照明光学系统200使用从光源1射出的非相干光对被照明面进行照明。积分器3可以是沿着和光学系统2与光学系统4之间的光轴AX正交的面排列多个透镜而构成的复眼光学系统。光学系统2的光轴、光学系统4的光轴、光学系统2与光学系统4之间的光轴AX相互一致。该复眼光学系统例如能够由2个透镜群6、7构成。2个透镜群6、7的各个能够由多个平凸透镜的阵列构成。能够在构成透镜群6的平凸透镜的焦点位置配置构成透镜群7的平凸透镜，在构成透镜群7的平凸透镜的焦点位置配置构成透镜群6的平凸透镜。在积分器3的射出面，配置光源1的发光部的多个像作为二次光源。这样的积分器3也可以用棒状积分透镜置换。从积分器3的射出面射出的光束通过光学系统4被引导到被照明面5。光学系统4是将被照明面5作为积分器3的射出面的傅立叶变换面的傅立叶变换光学系统。可以在光源1与被照明面5之间，配置1个或者多个反射镜。例如，能够在光源1与光学系统2之间配置反射镜，在光学系统4与被照明面5之间配置反射镜。图2示出第1实施方式的照明光学系统200的第2使用方式。第2使用方式的照明光学系统200能够具有针对第1使用方式的照明光学系统200追加有光学元件8的结构。光学元件8能够配置于积分器3与光学系统4之间。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种照明光学系统，使用从光源射出的非相干光对被照明面进行照明，其特征在于，所述照明光学系统包括：/n积分器，配置于所述光源与所述被照明面之间；/n光学系统，配置于所述积分器与所述被照明面之间；以及/n光学元件，配置于所述积分器与所述光学系统之间，/n所述光学元件包括楔形形状部。/n

【技术特征摘要】
20190131 JP 2019-0159841.一种照明光学系统，使用从光源射出的非相干光对被照明面进行照明，其特征在于，所述照明光学系统包括：
积分器，配置于所述光源与所述被照明面之间；
光学系统，配置于所述积分器与所述被照明面之间；以及
光学元件，配置于所述积分器与所述光学系统之间，
所述光学元件包括楔形形状部。


2.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，
所述光学元件具有相互非平行的第1面以及第2面。


3.根据权利要求2所述的照明光学系统，其特征在于，
所述第1面的曲率中心处于所述光学系统的光轴或者所述光轴的延长线上，所述第2面的曲率中心处于从所述光轴或者所述延长线偏离的位置。


4.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，
还具备驱动机构，该驱动机构使所述光学元件移动到所述光源与所述光学系统之间的光路、或者移动到所述光路外。


5.根据权利要求4所述的照明光学系统，其特征在于，
所述驱动机构使所述光学元件与所述积分器一起移动。


6.根据权利要求5所述的照明光学系统，其特征在于，
所述驱动机构在使所述光学元件以及所述积分器移动到所述光路外的情况下，使其它积分器移动到所述光路。


7.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，
在所述积分器与所述光学系统之间配置有多个光学零件，所述多个光学零件包括所述光学元件和第2光学元件，所述第2光学元件包括楔形形状部。


8.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，
所述光学元件配置成能够绕和所述积分器与所述光学系统之间的光轴平行的轴的周围旋转。


9.根据权利要求1所述的照明光学系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：大阪昇，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP