基于MIM环形格点阵列的表面等离激元折射率传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于MIM环形格点阵列的表面等离激元折射率传感器。在本发明专利技术实例中，传感器由介质基底和具有周期性的环形MIM纳米颗粒阵列构成。入射光电场沿坐标X轴偏振，其波失K与入射面存在夹角θ。通过调控MIM格点阵列的几何参数及入射角度，激发表面等离激元格点共振，实现反射谱共振峰随着折射率的变化相应的发生偏移。与其他结构的折射率传感器相较而言，该结构拥有着更较小的尺寸及更高的灵敏度，在微纳尺度的光电探测器领域具有着极好的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
基于MIM环形格点阵列的表面等离激元折射率传感器(一)
本专利技术涉及微纳光电子
，具体涉及一种基于MIM环形格点阵列的表面等离激元折射率传感器。(二)
技术介绍
表面等离子激元(SPPs，SurfacePlasmonpolaritons)是金属表面自由电子和光子相互耦合而形成的一种沿介质—金属表面传播的倏逝波。是具有相同共振频率的光波与金属中的自由电子之间相互作用产生的一种集体振荡。随着纳米技术的逐渐成熟和表面等离子激元理论的逐渐完善，表面等离子体光子学成为了纳米光子学的一门重要学科，其已经进入了高速发展时期，掀起了人们对利用表面等离子激元制备纳米尺寸光学器件的关注。随着研究工作的不断深入，科学家们将把光电子器件细分出多个分支点，其在性能器件上的分类越来越多，如传感器、光放大器、调制器和滤波器等，在各领域中发挥着越来越重要作用。传统的由单个金属纳米颗粒所支持的局域型表面等离激元共振(LSPR)和由金属-电介质界面所支持的传播型表面等离子体共振(SPR)均存在场强增强有限和品质因子较低的问题，导致在应用中性能不够理想。很多人关注的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于MIM环形格点阵列的表面等离激元折射率传感器，其特征在于：所述折射率传感器由上下环形金属块(1，3)、介于环形金属块之间的环形介质硅层(2)以及BK-7玻璃介质基底(4)构成。由此结构沿X,Y轴成相同的周期分布构成MIM环形纳米柱阵列且每个周期单元高度相同。/n

【技术特征摘要】
1.基于MIM环形格点阵列的表面等离激元折射率传感器，其特征在于：所述折射率传感器由上下环形金属块(1，3)、介于环形金属块之间的环形介质硅层(2)以及BK-7玻璃介质基底(4)构成。由此结构沿X,Y轴成相同的周期分布构成MIM环形纳米柱阵列且每个周期单元高度相同。


2.根据权利1所述的基于MIM环形格点阵列的表面等离激元折射率传感器，其特征在于：环形金属块(1，3)材料为金。


3.根据权利1所述的基于MIM环形格点阵列的表面等离激元折射率传感器，其特征在于：环形介质柱(2)的材料为硅。


4.根据权利1所述的基于MIM环形格点阵...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宏艳，陈昱澎，刘孟银，
申请(专利权)人：桂林电子科技大学，
类型：发明
国别省市：广西;45