一种陶瓷基板平整度检测仪制造技术

本发明专利技术公开了一种陶瓷基板平整度检测仪，包括自动供料机构、移栽机构、检测平台和距离传感器；移栽机构包括水平滑轨、滑块、空心升降轴、旋转接头、吸盘和压环；旋转接头包括从上至下同轴设置的上盖、轴承座和下盖；压环同轴套设在吸盘外周，压环的顶部通过伸缩杆安装在下盖底部，伸缩杆的高度能够升降；检测平台能够旋转，且顶面为水平的检测平面；距离传感器安装在检测平台的上方且邻近检测平台的边缘设置，距离传感器高度位置固定。本发明专利技术中，当检测平台带动陶瓷基板转动时，即可检测出是否符合要求的平行度。检测结构准确、可靠，省时省力，大大提高了检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷基板平整度检测仪
本专利技术涉及陶瓷基板检测
，特别是一种陶瓷基板平整度检测仪。
技术介绍
陶瓷基板是指铜箔在高温下直接键合到氧化铝或氮化铝陶瓷基板表面(单面或双面)上的特殊工艺板。陶瓷基板已成为了大功率电力电子电路结构技术和互连技术的基础材料。陶瓷基板在使用时需要保证其平整度，现有的人工检测很难准确的进行测定。CN201120409907.5的中国技术专利申请，其专利技术名称为“陶瓷基板用曲翘度检测仪”，其包括一底座，所述底座上与其垂直固定有两块支架，所述支架上固定有相互平行设置的上、下行平板，所述上行平板设置在下行平板的上方，所述上、下行平板上分别设置有上、下陶瓷板，所述上、下行平板间固定有锁紧螺母，所述上、下行平板之间设置有间隙，所述间隙的宽度与所述陶瓷基板的厚度相等，所述上、下行平板与底座形成夹角。当陶瓷基板经过平行的上下陶瓷板板即可检测出是否符合所需平行度。上述专利申请，能对陶瓷基板的最大翘曲进行检测，然而，在使用时，还存在着如下不足，有待进行改进：1、使用时，需要人工将陶瓷基片，塞入上、下行平板之间的间隙内，自动化程度低，检测效率低下。2、在上、下行平板的内壁面分别设置陶瓷板，作为检测基板；在使用一段时间后，陶瓷板容易磨损，从而使得上、下行平板之间的间隙大小不等，也即检测基准发生变化，从而使得检测结果不可靠。3、检测时，当陶瓷基板变形严重，也即翘曲度或平整度超标时，在将其陶瓷基板塞入上、下行平板之间的间隙内后，很容易造成卡塞；此时，一方面会加大上下平板内壁面上陶瓷板的磨损；另一方面，需要将上下行平板进行拆卸，将卡塞的陶瓷基板取出，然后重新对上下平板进行校准，从而费时费力。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，而提供一种陶瓷基板平整度检测仪，该陶瓷基板平整度检测仪采用非接触式检测，不会出现卡塞或磨损，测试结果准确、可靠，且自动化程度高。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种陶瓷基板平整度检测仪，包括自动供料机构、移栽机构、检测平台和距离传感器。自动供料机构用于陶瓷基板的自动供料。移栽机构包括水平滑轨、滑块、空心升降轴、旋转接头、吸盘和压环。水平滑轨平行设置在自动供料机构和检测平台两者水平连接线的上方。滑块沿水平滑轨滑移。空心升降轴具有中空腔，空心升降轴的顶端安装在滑块底部，空心升降轴底端与吸盘固定连接，吸盘的吸气腔与空心转轴的中空腔相连通，形成真空充放气通道。旋转接头同轴套装在位于滑块和吸盘之间的空心转轴上。旋转接头包括从上至下同轴设置的上盖、轴承座和下盖。上盖与轴承座之间通过平面轴承相连接，轴承座内安装滚轴轴承，滚轴轴承的内圈与空心升降轴紧配合。下盖固定在轴承座底部，且随滚轴轴承的外圈旋转。压环同轴套设在吸盘外周，压环的顶部通过伸缩杆安装在下盖底部，伸缩杆的高度能够升降。检测平台能够旋转，且顶面为水平的检测平面。距离传感器安装在检测平台的上方且邻近检测平台的边缘设置，距离传感器高度位置固定。自动供料机构为顶升供料筒，包括上料筒和顶升板，顶升板内置在上料筒内且高度能够升降，陶瓷基板叠放在顶升板顶部。上料筒内壁面敷设有弹性耐摩层。自动供料机构为旋转供料台，包括旋转盘和若干个放置槽，放置槽沿旋转盘的周向均匀布设，每个放置槽底部及内壁均敷设有弹性耐摩层。检测平台由旋转电机驱动沿自身轴线旋转。本专利技术具有如下有益效果：1、上述自动供料装置的设置，能实现陶瓷基板的自动供料；机械手，能将自动供料装置中位于抓取工位的陶瓷基板进行自动吸取并转移至检测平台上，检测平台自动旋转一周或连续转动四个90度，距离传感器将对位于检测平台上的陶瓷基板进行距离检测，从而实现陶瓷基板平整度或翘曲度的自动检测，自动化程度高，无需人工参与。2、上述机械手中旋转接头的设置，能使位于机械手底部的吸盘以及陶瓷基板随着检测平台同步转动，在检测过程中，陶瓷基板位置保持不变，且以吸盘吸附的陶瓷基板的中心点为基准，能够避免因检测平台旋转带来的陶瓷基板位置变化，从而测试结果准确、可靠。附图说明图1显示了本中一种陶瓷基板平整度检测仪的结构示意图。图2显示了本专利技术中旋转接头底部仅连接吸盘时的结构示意图。图3显示了本专利技术中旋转接头底部压环收缩时的结构示意图。图4显示了本专利技术中旋转接头底部压环伸长时的结构示意图。图5显示了本专利技术中自动供料装置另一实施例的结构示意图。其中有：11.顶升供料筒；111.上料筒；112.弹性耐摩层；113.顶升板；114.顶升气缸；12.旋转供料台；121.旋转盘；122.放置槽；20.移栽机构；21.水平滑轨；22.滑块；221.滑移电机；23.空心升降轴；231.升降电机；24.旋转接头；241.上盖；242.轴承座；243.下盖；244.平面轴承；245.滚珠轴承；25.吸盘；26.压环；261.伸缩杆；262.伸缩电机；30.检测平台；31.旋转电机；40.距离传感器；50.定位板；60.陶瓷基板。具体实施方式下面结合附图和具体较佳实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“左侧”、“右侧”、“上部”、“下部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，“第一”、“第二”等并不表示零部件的重要程度，因此不能理解为对本专利技术的限制。本实施例中采用的具体尺寸只是为了举例说明技术方案，并不限制本专利技术的保护范围。如图1所示，一种陶瓷基板平整度检测仪，包括自动供料机构、移栽机构20、检测平台30、距离传感器40和对中机构。自动供料机构用于陶瓷基板的自动供料，本申请中的自动供料机构具有如下两种优先实施例。实施例1自动供料机构为如图1所示的旋转供料台12，包括旋转盘121和若干个放置槽122。上述旋转盘的旋转，为成熟的现有技术，图中未标明，优选采用旋转电机所驱动。放置槽沿旋转盘的周向均匀布设，每个放置槽底部及内壁均优选敷设有弹性耐摩层，防止对陶瓷基板造成损伤。本实施例的自动供料机构，优选用于圆形陶瓷基板的自动供料。实施例2自动供料机构为如图5所示的顶升供料筒11，包括上料筒111和顶升板113，顶升板内置在上料筒内，优选在顶升气缸114的驱动下实现高度升降，陶瓷基板叠放在顶升板顶部。进一步，上料筒内壁面优选敷设有弹性耐摩层112。本实施例的自动供料机构，优选用于方形或长方形的陶瓷基板的自动供料。如图1所示，移栽机构包括水平滑轨21、滑块22、空心升降轴23、旋转接头24、吸盘25和压环26。水平滑轨平行设置在自动供料机构和检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种陶瓷基板平整度检测仪，其特征在于：包括自动供料机构、移栽机构、检测平台和距离传感器；/n自动供料机构用于陶瓷基板的自动供料；/n移栽机构包括水平滑轨、滑块、空心升降轴、旋转接头、吸盘和压环；/n水平滑轨平行设置在自动供料机构和检测平台两者水平连接线的上方；滑块沿水平滑轨滑移；/n空心升降轴具有中空腔，空心升降轴的顶端安装在滑块底部，空心升降轴底端与吸盘固定连接，吸盘的吸气腔与空心转轴的中空腔相连通，形成真空充放气通道；/n旋转接头同轴套装在位于滑块和吸盘之间的空心转轴上；旋转接头包括从上至下同轴设置的上盖、轴承座和下盖；上盖与轴承座之间通过平面轴承相连接，轴承座内安装滚轴轴承，滚轴轴承的内圈与空心升降轴紧配合；下盖固定在轴承座底部，且随滚轴轴承的外圈旋转；/n压环同轴套设在吸盘外周，压环的顶部通过伸缩杆安装在下盖底部，伸缩杆的高度能够升降；/n检测平台能够旋转，且顶面为水平的检测平面；/n距离传感器安装在检测平台的上方且邻近检测平台的边缘设置，距离传感器高度位置固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种陶瓷基板平整度检测仪，其特征在于：包括自动供料机构、移栽机构、检测平台和距离传感器；
自动供料机构用于陶瓷基板的自动供料；
移栽机构包括水平滑轨、滑块、空心升降轴、旋转接头、吸盘和压环；
水平滑轨平行设置在自动供料机构和检测平台两者水平连接线的上方；滑块沿水平滑轨滑移；
空心升降轴具有中空腔，空心升降轴的顶端安装在滑块底部，空心升降轴底端与吸盘固定连接，吸盘的吸气腔与空心转轴的中空腔相连通，形成真空充放气通道；
旋转接头同轴套装在位于滑块和吸盘之间的空心转轴上；旋转接头包括从上至下同轴设置的上盖、轴承座和下盖；上盖与轴承座之间通过平面轴承相连接，轴承座内安装滚轴轴承，滚轴轴承的内圈与空心升降轴紧配合；下盖固定在轴承座底部，且随滚轴轴承的外圈旋转；
压环同轴套设在吸盘外周，压环的顶部通过伸缩杆安装在下盖底部，伸缩杆的高度...

【专利技术属性】
技术研发人员：王明艳，陈明明，戴春宁，李安定，
申请(专利权)人：盐城工业职业技术学院，
类型：发明
国别省市：江苏;32