【技术实现步骤摘要】
本技术属于机械量形位误差测量领域。目前对大尺寸工件的平面度一般利用机床加工精度来保证。由于受到机床本身精度的限制，很难达到很高精度。利用准直仪，水平仪等传统方法对大平面，尤其直径在φ3M以上的特大平面的平面度测量极为困难。例如哈尔滨电机厂研制的φ3.9M镜板平面度检查仪就是利用水平仪的测量方法，检查仪结构如附图说明图1所示由支架［1］、扭簧表［2］、合象水平仪［3］、平尺［4］、支承圆柱［5］、拎手［6］组成。此种方法要求避免平尺、检查仪有局部温度变化造成变形，搬移或测量校对时必须戴手套，在工作地点等温后再进行调试。合象水平仪零位必须仔细校对，要求支架转180°零位变化极微小。测量方法是在工作直径方向上用合象的水平仪的水准位置判断工件的凸心或凹心，扭簧表可以读出径向直线度凸凹程度。此方法测量时间长、精度低、对测量工具，现场环境要求高。不能进行实时测量。为解决上述测量仪器的不足之处，本技术提出一种新的测量仪，可在工件加工现场进行实时测量，并能消除因加工运动状态，机床本身精度所带来的误差，使测量结果达到较高的精度。本技术设计出一种平面度误差分离法实时测量仪，其特...
【技术保护点】
一种平面度误差分离法实时测量仪，其特征在于采用五个测头同时测量，所说的五个测头按两个方向排列，同一方向相邻两测头之间距离相等并且等于该方向上的测量间距，还包括固定测头的夹具［９］，直流放大器［１８］，Ａ／Ｄ转换器［１９］，光电开关［２１］，放大整形电路［１６］微处理机［２０］所组成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：梁晋文，何真，刘兴占，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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