热水车调节系统和方法技术方案

公开了一种用于过滤器模块的调节系统。该调节系统通常可以包括入口、热交换器、磁悬浮泵、设置成绕过热交换器的通道、控制器、出口和基座。该系统可以具有内衬有耐腐蚀材料的部件。还公开了一种调节过滤器模块的方法。该方法通常可以包括测量超纯水源中的TOC，加热超纯水，用加热的水清洗过滤器模块，用环境温度水冲洗过滤器模块，以及重复用加热的水清洗和用环境温度水冲洗。还公开了一种便于调节过滤器模块的方法。该方法通常可以包括提供便携式过滤器模块调节系统以及提供用于安装或使用的指令。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】热水车调节系统和方法相关申请的交叉引用本申请根据35U.S.C.§119(e)要求2017年12月20日提交的标题为“VanoxHotWaterCartConditioningMethod”的美国临时申请序列号62/608,214的优先权，该申请出于所有目的通过引用以其整体并入本文。
本文公开的方面和实施方案总体上涉及过滤器模块调节系统(filtermoduleconditioningsystem)，并且更具体地，涉及电子级过滤器模块调节系统及其操作方法。概述根据一个方面，提供了用于过滤器模块的调节系统。该系统可以包括可流体地连接至超纯水源(sourceofultrapurewater)的入口。该系统可以包括内衬有第一耐腐蚀材料的热交换器，所述热交换器被定位在入口的下游。该系统可以包括与热交换器流体连通的磁悬浮泵(magneticallylevitatedpump)。该系统可以包括被定位在磁悬浮泵的下游并且可流体地连接至过滤器模块的出口。该系统可以包括内衬有第二耐腐蚀材料的通道，该通道被构造和布置成绕过热交换器。该系统可以包括控制器，该控制器被配置成选择性地将水引导至热交换器或引导至通道。控制器可以是可编程的以响应于在超纯水源中的总有机碳(TOC)的浓度和在水出口处的水中的TOC的浓度中的至少一种而起作用(act)。该系统还可以包括支撑热交换器、磁悬浮泵、通道和控制器的基座。在一些实施方案中，该系统还可以包括入口传感器和出口传感器，所述入口传感器被配置成检测超纯水源中的TOC的浓度，所述出口传感器被配置成检测在出口处的超纯水中的TOC的浓度。入口传感器和出口传感器中的至少一个可以被电连接至控制器。入口传感器和出口传感器中的至少一个可以还被配置成检测10nm或更小的颗粒尺寸。入口可以可流体地连接至过滤器模块的下游。在一些实施方案中，过滤器模块可以是超滤模块。根据某些实施方案，第一耐腐蚀材料在高达190°F的水温可以是稳定的。第一耐腐蚀材料和第二耐腐蚀材料中的至少一种可以是含氟聚合物。第一耐腐蚀材料和第二耐腐蚀材料中的至少一种可以是乙烯四氟乙烯(ETFE)、聚氟乙烯(PVF)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、全氟烷氧基烷烃(PFA)、氟化乙烯丙烯(FEP)、聚四氟乙烯(PTFE)、乙烯氯三氟乙烯(ethylenechlorotrifluoroethylene)(ECTFE)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)，及其组合。在一些实施方案中，系统中的任何金属部件可以基本上不含不锈钢。金属部件中的至少一种可以包括钛、因科洛依(incoloy)、哈斯特洛伊耐蚀镍基合金(hastelloy)及其组合中的至少一种。该系统可以是便携式的。根据某些实施方案，磁悬浮泵可以内衬有耐腐蚀塑料。在一些实施方案中，控制器还可以是可编程的以响应于过滤器模块的容量的指示来设定磁悬浮泵的速度。根据另一个方面，提供了一种调节过滤器模块的方法。该方法可以包括测量超纯水源中的总有机碳(TOC)的浓度。该方法可以包括将超纯水源加热到约170°F和约190°F之间以产生加热的水。该方法可以包括用加热的水以在约2gpm和约15gpm之间的第一流量清洗(rinse)过滤器模块持续第一预定时间段，该第一预定时间段足以使在过滤器模块的出口处的水中的TOC的浓度稳定。该方法可以包括用具有环境温度的超纯水源以在约2gpm和约40gpm之间的第二流量冲洗(flush)过滤器模块持续第二预定时间段，所述第二流量大于所述第一流量。该方法可以包括在用加热的水清洗过滤器模块和用处于环境温度的超纯水冲洗过滤器模块之间循环，直到在过滤器模块的出口处的水每升具有小于100计数的具有小于14nm的颗粒尺寸的颗粒。在一些实施方案中，过滤器模块可以在用于水处理之前被调节。在一些实施方案中，当过滤器模块的出口处的水中的TOC的浓度大于2ppb时，可以调节过滤器模块。该方法还可以包括响应于过滤器模块的容量来选择第一流量。该方法还可以包括响应于过滤器模块的材料来选择加热的水的温度。根据另一个方面，提供了一种便于调节过滤器模块的方法。该方法可以包括提供便携式过滤器模块调节系统，该便携式过滤器模块调节系统包括热交换器，所述热交换器内衬有第一耐腐蚀材料；磁悬浮泵，所述磁悬浮泵与热交换器流体连通；通道，所述通道内衬有第二耐腐蚀材料，所述通道被构造和布置成绕过热交换器；以及控制器，所述控制器被配置成将水选择性地引导至热交换器或引导至通道，所述控制器是可编程的以响应于在热交换器和磁悬浮泵的上游的水中的总有机碳(TOC)的浓度和在磁悬浮泵下游的水中的TOC的浓度中的至少一种而起作用。该方法还可以包括提供通过便携式过滤器模块调节系统的入口将便携式过滤器模块调节系统流体地连接至超纯水源，并且通过便携式过滤器模块调节系统的出口将便携式过滤器模块调节系统流体地连接至过滤器模块的指令。在一些实施方案中，该方法还可以包括安装入口传感器和出口传感器，所述入口传感器被配置成测量超纯水源中的TOC的浓度，所述出口传感器被配置成测量磁悬浮泵下游的水中的TOC的浓度。该方法还可以包括将控制器电连接至入口传感器和出口传感器。根据某些实施方案，该方法还可以包括将便携式过滤器模块调节系统的入口流体地连接至超纯水源，以及将便携式过滤器模块调节系统的出口流体地连接至过滤器模块。在一些实施方案中，将便携式过滤器模块调节系统的入口流体地连接至超纯水源包括将便携式过滤器模块调节系统流体地连接至过滤器模块的出口。将便携式过滤器模块调节系统的出口流体地连接至过滤器模块可以包括将便携式过滤器模块调节系统流体地连接至超滤模块的入口。在这样的实施方案中，将便携式过滤器模块调节系统的入口流体地连接至超纯水源可以包括将便携式过滤器模块调节系统流体地连接至超滤模块的出口。根据某些实施方案，该方法还可以包括在将便携式过滤器模块调节系统流体地连接至过滤器模块之前，提供冲洗便携式过滤器模块调节系统的指令。本公开内容预期前述方面和/或实施方案中的任何一个或更多个的所有组合，以及与详细描述中阐述的任何一个或更多个实施方案和任何实例的组合。附图简述附图并不意图是按比例绘制。在附图中，在各个图中图示的每个相同的或近似相同的部件由相同的数字表示。为了清楚起见，并非每个部件都在每个图中被标记。在附图中：图1是根据一个实施方案的用于过滤器模块的调节系统的框图；图2是根据可选择的实施方案的用于过滤器模块的调节系统的框图；图3A是根据一个实施方案的用于过滤器模块的调节系统从第一侧面的透视图；以及图3B是根据一个实施方案的图3A中所示的调节系统从第二侧面的透视图。详细描述本文公开的系统和方法可以被用于调节过滤器模块。虽然本公开内容可以提及示例性的超滤模块，但是应当理解，调节系统和方法可以被用于调节任何有相应需要的过滤器模块。半导体制造单元通常需要非常纯的水质，以避免在制造过程期间污染半导体晶片。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于过滤器模块的调节系统，包括：/n入口，所述入口是可流体地连接至超纯水源的；/n热交换器，所述热交换器内衬有第一耐腐蚀材料，所述热交换器被定位在所述入口的下游；/n磁悬浮泵，所述磁悬浮泵与所述热交换器流体连通；/n出口，所述出口被定位在所述磁悬浮泵的下游并且是可流体地连接至所述过滤器模块的；/n通道，所述通道内衬有第二耐腐蚀材料，所述通道被构造和布置成绕过所述热交换器；/n控制器，所述控制器被配置成将水选择性地引导至所述热交换器或引导至所述通道，所述控制器是可编程的以响应于在所述超纯水源中的总有机碳(TOC)的浓度和在所述出口处的水中的TOC的浓度中的至少一种而起作用；以及/n基座，所述基座支撑所述热交换器、所述磁悬浮泵、所述通道和所述控制器。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171220 US 62/608,2141.一种用于过滤器模块的调节系统，包括：
入口，所述入口是可流体地连接至超纯水源的；
热交换器，所述热交换器内衬有第一耐腐蚀材料，所述热交换器被定位在所述入口的下游；
磁悬浮泵，所述磁悬浮泵与所述热交换器流体连通；
出口，所述出口被定位在所述磁悬浮泵的下游并且是可流体地连接至所述过滤器模块的；
通道，所述通道内衬有第二耐腐蚀材料，所述通道被构造和布置成绕过所述热交换器；
控制器，所述控制器被配置成将水选择性地引导至所述热交换器或引导至所述通道，所述控制器是可编程的以响应于在所述超纯水源中的总有机碳(TOC)的浓度和在所述出口处的水中的TOC的浓度中的至少一种而起作用；以及
基座，所述基座支撑所述热交换器、所述磁悬浮泵、所述通道和所述控制器。


2.如权利要求1所述的系统，还包括入口传感器和出口传感器，所述入口传感器被配置成检测在所述超纯水源中的TOC的浓度，所述出口传感器被配置成检测在所述出口处的超纯水中的TOC的浓度，其中所述入口传感器和所述出口传感器中的至少一个被电连接至所述控制器。


3.如权利要求2所述的系统，其中所述入口传感器和所述出口传感器中的至少一个还被配置成检测10nm或更小的颗粒尺寸。


4.如权利要求1所述的系统，其中所述入口是可流体地连接至所述过滤器模块的下游的。


5.如权利要求4所述的系统，其中所述过滤器模块是超滤模块。


6.如权利要求1所述的系统，其中所述第一耐腐蚀材料在高达190°F的水温是稳定的。


7.如权利要求1所述的系统，其中所述第一耐腐蚀材料和所述第二耐腐蚀材料中的至少一种是含氟聚合物。


8.如权利要求7所述的系统，其中所述第一耐腐蚀材料和所述第二耐腐蚀材料中的至少一种是乙烯四氟乙烯(ETFE)、聚氟乙烯(PVF)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、全氟烷氧基烷烃(PFA)、氟化乙烯丙烯(FEP)、聚四氟乙烯(PTFE)、乙烯氯三氟乙烯(ECTFE)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)，及其组合。


9.如权利要求1所述的系统，其中所述系统的任何金属部件基本上不含不锈钢。


10.如权利要求9所述的系统，其中所述金属部件中的至少一种包括钛、因科洛依、哈斯特洛伊耐蚀镍基合金及其组合中的至少一种。


11.如权利要求1所述的系统，其中所述系统是便携式的。


12.如权利要求1所述的系统，其中所述磁悬浮泵内衬有耐腐蚀塑料。


13.如权利要求1所述的系统，其中所述控制器还是可编程的以响应于所述过滤器模块的容量的指示来设定所述磁悬浮泵的速度。


14.一种调节过滤器模块的方法，包括：
测量在超纯水源中的总有机碳(TOC)的浓度；
将所述超纯水源加热到约170°F和约190°F之间以产生加热的水；
用所述加热的水以在约2gpm和约15gpm之间的第一流量清洗所述过滤器模块持续第一预定时间段，所述第一预定时间段足以使在所述过滤器模块的出口处的水中的TOC的浓度稳定；

【专利技术属性】
技术研发人员：迈克尔·古利翁，克里斯多佛·霍尔，约书亚·霍利，
申请(专利权)人：懿华水处理技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：美国;US