一种传输线脉冲测试系统技术方案

本发明专利技术涉及静电放电防护技术领域，尤其涉及一种传输线脉冲测试系统，包括：脉冲发生装置、脉冲测试装置；脉冲发生装置的输出端连接脉冲测试装置；脉冲测试装置包括顺次连接的电流探测装置、第一传输线、同轴继电器组、测试探头，测试探头用于连接待测对象的第一连接端，同轴继电器组包括第一端口，第一端口连接第一传输线；脉冲测试装置还包括示波器，示波器包括第一输入端、第二输入端，第一输入端连接所述电流探测装置、第二输入端连接待测对象的第二连接端；示波器基于探测到的经过该电流探测装置的前进波以及该待测对象处前进波和反射波的叠加波，从而推算出该待测对象处精确的电流波形，为静电放电防护结构提供有效的仿真参数。

【技术实现步骤摘要】
一种传输线脉冲测试系统
本专利技术涉及静电放电防护
，尤其涉及一种传输线脉冲测试系统。
技术介绍
传输线脉冲发生器(TLP)用于测量器件在承受静电脉冲过程中的IV曲线，为静电放电(ESD)防护全局保护结构提供所需的仿真参数，大多ESD防护都会采用该传输线脉冲发生器。现有的TLP系统中检测电流的探头穿过传输线芯线串联在该TLP系统中，使检测电流的探头尽量靠近待测对象，以获取较完整的波形，提高测试精度，但是，该现有的TLP系统中由于电流探头技术参数及传输线被剥离的原因会造成带宽限制和电流跳变问题。因此，现有的传输线脉冲发生器无法精确探测电流脉冲。
技术实现思路
鉴于上述问题，提出了本专利技术以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的传输线脉冲测试系统。本专利技术实施例提供一种传输线脉冲测试系统，包括：脉冲发生装置、脉冲测试装置；所述脉冲发生装置的输出端连接所述脉冲测试装置，所述脉冲发生装置将生成的脉冲信号输入所述脉冲测试装置中；所述脉冲测试装置包括顺次连接的电流探测装置、第一传输线、同轴继电器组、测试探头，所述测试探头用于连接待测对象的第一连接端，所述同轴继电器组包括第一端口，所述第一端口连接所述第一传输线；所述脉冲测试装置还包括示波器，所述示波器包括第一输入端、第二输入端，所述第一输入端连接所述电流探测装置、所述第二输入端连接所述待测对象的第二连接端；所述示波器用于采集所述电流探测器探测到的前进波、以及所述待测对象的第二连接端输出的前进波和反射波的叠加波，并基于所述前进波和所述叠加波，获得所述待测对象的电流波形。进一步地，所述同轴继电器组还包括第二端口、第三端口，所述第二端口连接直流源，所述第三端口连接皮安表，以用于检测所述待测对象经过静电放电测试后是否被损坏；所述示波器还包括第三输入端，所述第三输入端连接所述待测对象栅极，用于探测施加于待测对象栅极的电压。进一步地，所述脉冲发生装置包括：顺次连接的超快终端极化器、第二传输线、水银继电器、上升沿调节器组，所述上升沿调节器组连接所述电流探测装置；还包括：程控高压源和限流电阻；所述程控高压源通过所述限流电阻为所述第一传输线充电。进一步地，所述第一传输线的长度为所述第二传输线的长度的1.3～2.2倍。进一步地，所述示波器的第一输入端与所述电流探测装置之间设置第一衰减器，在所述示波器的第二输出端与所述待测对象的第二连接端之间设置第二衰减器。进一步地，还包括：控制器；所述控制器分别连接所述超快终端极化器、水银继电器、上升沿调节器以及同轴继电器组。进一步地，所述超快终端极化器包括超快正压终端极化器、超快负压终端极化器以及第一同轴继电器，所述超快正压终端极化器和所述超快负压终端极化器均连接所述第一同轴继电器，所述第一同轴继电器连接所述第二传输线。进一步地，所述上升沿调节器组包括至少两个上升沿调节器和两个第二同轴继电器，所述至少两个上升沿调节器均并联后的两端串联于所述两个第二同轴继电器之间。进一步地，所述电流探测装置包括输入端口、输出端口、探测端口以及第一电阻、第二电阻以及第三电阻；所述第一电阻连接所述输入端，所述第二电阻设置于所述输入端口与所述输出端口之间、所述第三电阻设置于所述输出端口与所述探测端口之间；所述输入端口连接所述脉冲发生装置，所述输出端口连接所述第一传输线，所述探测端口连接所述示波器的所述第一输入端。进一步地，所述待测对象还包括第三连接端和第四连接端，所述第三连接端相对于所述第一连接端接地，所述第四连接端相对于所述第二连接端接地。本专利技术实施例中的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：本专利技术提供的一种传输线脉冲测试系统，包括脉冲发生装置、脉冲测试装置，该脉冲发生装置的输出端连接脉冲测试装置，该脉冲发生装置将生成的脉冲信号输入脉冲测试装置，该脉冲测试装置包括顺次连接电流探测装置、第一传输线、同轴继电器组、测试探头，测试探头用于连接待测对象的第一连接端，该同轴继电器组包括第一端口，该第一端口连接第一传输线；该脉冲测试装置还包括示波器，该示波器包括第一输入端、第二输入端，该第一输入端连接电流探测装置，第二输入端连接待测对象的第二连接端，该脉冲测试装置还包括示波器，该示波器包括第一输入端、第二输入端，该第一输入端连接电流探测装置，第二输入端连接待测对象的第二连接端，该示波器用于采集该电流探测器探测到的前进波、以及该待测对象的第二连接端输出的前进波和反射波的叠加波，并基于该前进波和该叠加波，获得该待测对象的电流波形，进而使得该第一传输线位于电流探测装置与被测对象之间，将经过电流探测装置的前进波和由被测对象造成的反射波进行隔离，并基于探测到的前进波以及前进波和反射波的叠加波，从而推算出精确的电流波形，为静电放电防护结构提供有效的仿真参数。附图说明通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本专利技术的限制。而且在整个附图中，用相同的参考图形表示相同的部件。在附图中：图1示出了本专利技术实施例中传输线脉冲测试系统的结构示意图；图2示出了本专利技术实施例中超快终端极化器的结构示意图；图3示出了本专利技术实施例中上升沿极化器组的结构示意图；图4示出了本专利技术实施例中电流探测装置的结构示意图。具体实施方式下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。本专利技术实施例提供了一种传输线脉冲测试系统，如图1所示，包括：脉冲发生装置、脉冲测试装置；其中，该脉冲发生装置的输出端连接该脉冲测试装置，该脉冲发生装置将生成的脉冲信号输入该脉冲测试装置中。其中，该脉冲测试装置包括顺次连接的电流探测装置101、第一传输线102、同轴继电器组103、测试探头104，该测试探头104用于连接该待测对象的第一连接端，该同轴继电器组103包括第一端口1031，该第一端口1031连接该第一传输线102。同轴继电器组103和测试探头104之间有两根连接线，栅压经过第一条连接线施加至待测对象栅极，另一条连接线经过的是前进波。该脉冲测试装置还包括示波器105，该示波器105包括第一输入端1051、第二输入端1052，该第一输入端1051连接电流探测装置101，该第二输入端1052连接待测对象的第二连接端；该示波器105用于采集该电流探测装置101探测到的前进波，待测对象的第二连接端输出的前进波和反射波的叠加波，并基于前进波和叠加波，获得该待测对象的电流波形。具体地，将该前进波对应的电压波形以及该叠加波的电压波形合本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传输线脉冲测试系统，其特征在于，包括：脉冲发生装置、脉冲测试装置；/n所述脉冲发生装置的输出端连接所述脉冲测试装置，所述脉冲发生装置将生成的脉冲信号输入所述脉冲测试装置中；/n所述脉冲测试装置包括顺次连接的电流探测装置、第一传输线、同轴继电器组、测试探头，所述测试探头用于连接待测对象的第一连接端，所述同轴继电器组包括第一端口，所述第一端口连接所述第一传输线；/n所述脉冲测试装置还包括示波器，所述示波器包括第一输入端、第二输入端，所述第一输入端连接所述电流探测装置、所述第二输入端连接所述待测对象的第二连接端；/n所述示波器用于采集所述电流探测器探测到的前进波、以及所述待测对象的第二连接端输出的前进波和反射波的叠加波，并基于所述前进波和所述叠加波，获得所述待测对象的电流波形。/n

【技术特征摘要】
1.一种传输线脉冲测试系统，其特征在于，包括：脉冲发生装置、脉冲测试装置；
所述脉冲发生装置的输出端连接所述脉冲测试装置，所述脉冲发生装置将生成的脉冲信号输入所述脉冲测试装置中；
所述脉冲测试装置包括顺次连接的电流探测装置、第一传输线、同轴继电器组、测试探头，所述测试探头用于连接待测对象的第一连接端，所述同轴继电器组包括第一端口，所述第一端口连接所述第一传输线；
所述脉冲测试装置还包括示波器，所述示波器包括第一输入端、第二输入端，所述第一输入端连接所述电流探测装置、所述第二输入端连接所述待测对象的第二连接端；
所述示波器用于采集所述电流探测器探测到的前进波、以及所述待测对象的第二连接端输出的前进波和反射波的叠加波，并基于所述前进波和所述叠加波，获得所述待测对象的电流波形。


2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述同轴继电器组还包括第二端口、第三端口，所述第二端口连接直流源，所述第三端口连接皮安表，以用于检测所述待测对象经过静电放电测试后是否被损坏；
所述示波器还包括第三输入端，所述第三输入端连接所述待测对象栅极，用于探测施加于待测对象栅极的电压。


3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述脉冲发生装置包括：
顺次连接的超快终端极化器、第二传输线、水银继电器、上升沿调节器组，所述上升沿调节器组连接所述电流探测装置；
还包括：程控高压源和限流电阻；
所述程控高压源通过所述限流电阻为所述第二传输线充电。


4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述第一传输线的长度为所述第二传输线的长度的...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾传滨，王娟娟，倪涛，孙佳星，罗家俊，韩郑生，王玉娟，张煦，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11