内腔式连续磁控溅射镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种内腔式连续磁控溅射镀膜设备，包括中空腔室以及传动结构，所述传动结构能够带动镀膜管从中空腔室的一端进入并由另一端穿出；而所述中空腔室由进管室、连续镀膜室以及出管室依次连通组成，在进管室的两端以及在出管室的两端分别设有真空密封阀，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别密封；在进管室、连续镀膜室以及出管室上分别设有抽气口，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别抽真空；所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，所述靶材通过电源线连接至外部电源，在连续镀膜室上设有贯通内外的布气管。本实用新型专利技术可提高靶材利用率，提高镀膜速度以及镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】
内腔式连续磁控溅射镀膜设备
本技术涉及一种磁控溅射镀膜设备，特别是涉及一种槽式镜面集热管磁控溅射镀膜设备，属于太阳能光热生产设备领域。
技术介绍
太阳能具有取之不尽、用之不竭，且清洁环保的巨大优势，已经为社会所接受，并得以快速发展。当今社会，随着世界各国对化石燃料的大规模使用，促进了经济的快速发展，为人们的生产生活带来了极大的便利。但与此同时，人类赖以生存的生态环境也遭到了严重的破坏，尤其近些年，全球范围内自然灾害频发，雾霾等环境污染十分严重，许多地区常年处于环境污染的重灾区，空气质量极差，能源开采和保护环境这两个相互矛盾的个体已经成为制约经济发展的核心问题，及时调整能源结构，使用安全、清洁的能源迫在眉睫。因此，在这样的背景下，新能源和可再生能源的开发应运而生，逐渐成为当今社会的主流研究方向，以节约能源、保护环境及可持续发展为理念的新能源革命已在全球兴起。未来几十年世界能源利用的情况预测中，太阳能及地热能等可再生能源将成为世界范围内的主要能源，其中太阳能将成为最具利用价值的能源。究其原因，从广义上讲，地球上存在的所有自然能源，几乎全部来自于太阳能。并且相比于其他几种绿色能源，太阳能具有资源丰富，能量巨大，清洁无污染这几个突出的特点，因而必将成为未来研究的核心能源。在对太阳能资源的利用方面，国内外学者结合现代科技手段，研究出了太阳能光伏转换技术、太阳能光化学转换技术以及太阳能光热转换技术这三种主要利用方式。相比于前两种，太阳能光热转换技术由于在使用过程中可以产生大量的热能，因而具有十分广泛的用途。其中聚光型太阳能热利用技术由于具有高储热量，间接降低用电成本的突出特点，因而自20世纪以来，引起了国内外各学者的广泛关注。目前，聚光型太阳能集热器按照接收器的形状不同，主要分为槽式、塔式、碟式以及复合抛物面式几种类型，其中槽式聚光系统是目前国内外开发利用最多的一种集热器类型，主要是因为其具有安装方便，结构简单，安全且可靠性高等优点。太阳能槽式集热器在太阳能利用系统中占据主导地位，它为系统提供热源，其效率和投资成本会影响到整个集热系统的效率和经济性。太阳能集热器作为太阳能热利用的主要元件，具有十分广泛的应用价值，但相比之下，太阳能槽式集热器比传统的太阳能集热器具有更高的热效率，尤其在热发电领域具有相当成熟的应用技术。槽式集热器是一种利用的是光热转化方式，通过聚焦、反射和吸收等过程实现光能到热能的转化，使换热介质达到一定温度，以满足不同负载的需求的集热装置。槽式集热器属于中高温集热器的范畴，可以使换热工质得到比较高的温度，可被用到热发电、海水淡化处理、供暖工程、吸收式制冷等生活和生产领域。由于太阳能广阔的应用前景，太阳能是目前槽式集热器的主要能量来源。太阳能槽式集热器在太阳能利用系统中占据主导地位，它为系统提供热源，其效率和投资成本会影响到整个集热系统的效率和经济性。槽式太阳能集热装置采用真空玻璃管结构，即内管采用镀有高吸收率选择性吸收涂层的金属管，管内走加热介质，在外面为玻璃管，玻璃管与金属管间抽真空以抑制对流和传导热损失。其中槽式抛物面集热管是该系统的核心部件，而现有国内外以磁控溅射沉积太阳能选择性吸收涂层为主，槽式抛物面集热管的长度被镀膜机所限制，为了操作方便，2000mm左右的钢管镀膜方式选择立式镀膜，考虑到更换磁控溅射靶材、装卸钢管基材的便捷性，4000mm左右及以上的钢管镀膜方式选择卧式。而连续镀膜生产线国内外大概有两种方式：1.星型转动镀膜方式；2.靶材竖置，钢管基材横置，支线运行的镀膜方式。这两种方式装配基材的基材架，繁琐笨重；镀膜均匀度低下；沉积速率低下。
技术实现思路
本技术提供一种内腔式磁控溅射设备，是为了解决现有装置存在的上述技术问题。为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：一种内腔式连续磁控溅射镀膜设备，其特征在于：包括中空腔室以及沿中空腔室的长度方向布置的传动结构，其中：所述传动结构能够带动镀膜管从中空腔室的一端进入并由另一端穿出；所述中空腔室由进管室、连续镀膜室以及出管室依次连通组成，在进管室的两端以及在出管室的两端分别设有真空密封阀，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别密封；在进管室、连续镀膜室以及出管室上分别设有抽气口，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别抽真空；所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，所述靶材通过电源线连接至外部电源，在连续镀膜室上设有贯通内外的布气管。所述的内腔式连续磁控溅射镀膜设备，其中：所述环形的磁铁的中心位置以及环形的靶材的中心位置均与传动结构所带动的镀膜管的中心轴线相重合。所述的内腔式连续磁控溅射镀膜设备，其中：所述连续镀膜室具有数个沿轴向拼接的靶材，相邻的靶材用绝缘条相互隔绝，并分别连接外部电源。所述的内腔式连续磁控溅射镀膜设备，其中：相邻的靶材之间用挡板分隔开，挡板上开设有供镀膜管通过的穿孔。所述的内腔式连续磁控溅射镀膜设备，其中：所述传动结构包括传动杆，所述传动杆穿入所述中空腔室内，两端分别从所述进管室以及出管室中伸出，在传动杆的外表面设有传动螺纹，并且在传动杆上套设有与传动螺纹形成螺纹连接的传动支架，每根镀膜管凭借数个传动支架套置在传动杆上，而且所述镀膜管的重心低于传动杆的回转中心一定幅度或者在所述镀膜管内下部置入有配重装置，使镀膜管无法自转。所述的内腔式连续磁控溅射镀膜设备，其中：所述传动杆从进管室以及出管室伸出的一端分别设有间隔分布的内支撑柱与外支撑柱，而且，传动杆的两端各与一个传动源动力连接，使传动杆由两个传动源同步带动旋转。与现有技术相比较，本技术具有的有益效果是：采用内腔式连续镀膜结构，可提高靶材利用率，并提高镀膜速度以及镀膜质量。附图说明图1是本技术提供的内腔式连续磁控溅射镀膜设备的整体结构示意图；图2是内腔式连续磁控溅射镀膜设备的局部横剖图；图2A是图2的圆圈部分局部放大图；图3是内腔式连续磁控溅射镀膜设备的纵剖图；图4-图8是镀膜管与支撑柱配合动作示意组图；图9是光阑可变阀处于打开状态纵剖图；图10是光阑可变阀处于打开状态纵剖图。附图标记说明：101-镀膜管；102-进管室；103-连续镀膜室；104-出管室；105-抽气口；106-布气管；107-电源线；108-真空密封阀；201-固定套管；202-磁铁；203-靶材；204-挡板；205-绝缘密封圈；206-传动支架；207-配重装置；301-传动杆；401-电机；402-外支撑柱；403-内支撑柱。具体实施方式以下将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本技术的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按真实比例绘制的。如图1所示，本技术提供一种内腔式连续磁控溅射镀膜设备，包括中空腔室以及沿所述中空腔室的长度方向布置的传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种内腔式连续磁控溅射镀膜设备，其特征在于：包括中空腔室以及沿中空腔室的长度方向布置的传动结构，其中：/n所述传动结构能够带动镀膜管从中空腔室的一端进入并由另一端穿出；/n所述中空腔室由进管室、连续镀膜室以及出管室依次连通组成，在进管室的两端以及在出管室的两端分别设有真空密封阀，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别密封；在进管室、连续镀膜室以及出管室上分别设有抽气口，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别抽真空；所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，所述靶材通过电源线连接至外部电源，在连续镀膜室上设有贯通内外的布气管。/n

【技术特征摘要】
1.一种内腔式连续磁控溅射镀膜设备，其特征在于：包括中空腔室以及沿中空腔室的长度方向布置的传动结构，其中：
所述传动结构能够带动镀膜管从中空腔室的一端进入并由另一端穿出；
所述中空腔室由进管室、连续镀膜室以及出管室依次连通组成，在进管室的两端以及在出管室的两端分别设有真空密封阀，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别密封；在进管室、连续镀膜室以及出管室上分别设有抽气口，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别抽真空；所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，所述靶材通过电源线连接至外部电源，在连续镀膜室上设有贯通内外的布气管。


2.根据权利要求1所述的内腔式连续磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述环形的磁铁的中心位置以及环形的靶材的中心位置均与传动结构所带动的镀膜管的中心轴线相重合。


3.根据权利要求1所述的内腔式连续磁控溅射镀膜设备，其特征在于：所述连续镀膜室具有数个沿轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩成明，薛道荣，李峰，褚敬堂，刘子毓，
申请(专利权)人：河北道荣新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13