一种用于瞬态热阻测试的夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，包括底座，通过在底板中心处固定设有夹持板，顶板和底板的另一侧设有第二侧板，顶板的上对称设有拉力表，拉力表上连接有拉绳，活动板上对称设有固定环，拉绳与固定环连接，活动板下方设有夹块，使用时，将测试器件放置在夹持板上，转动螺纹杆，使其在滑块与滑槽的配合下推动活动板向下移动，在推动时，即可通过拉力表测算出此时向下的拉力，可以根据需要，增加或者减小夹块对夹持板的压力，有益效果：这样的装置结构简单，使用方便，可以在瞬态热阻测试时，根据需要调节不同的夹持力，不会使芯片压碎，或者夹持力过小，增加接触热阻和电阻，影响测试结果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于瞬态热阻测试的夹持装置
本技术涉及热阻测试夹持
，具体来说，涉及一种用于瞬态热阻测试的夹持装置。
技术介绍
在半导体器件工艺生产过程中，为快速、有效地检验器件芯片和外壳之间的烧结质量(热阻)，一般采用瞬态热阻测试的筛选方法。该方法是向待测半导体器件施加单一功率脉冲，并在脉冲结束后测量热敏参数，推断器件芯片的温升，进而推断器件烧结质量(烧结热阻)的好坏。瞬态热阻的测试能够满足半导体器件工艺生产中的100％筛选，主要剔除那些因芯片烧结质量不合格而导致热阻偏大的器件。在对半导体器件进行瞬态热阻测试时需要对其进行夹持固定，为了保证该半导体器件能够正常工作，需要严格控制夹持装置对半导体器件的夹持力，现有夹持装置往往夹持力过大，压碎芯片，或者夹持力过小，增加接触热阻和电阻，影响测试结果。针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
针对相关技术中的问题，本技术提出一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。本技术的技术方案是这样实现的：一种用于瞬态热阻测试本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）上设有第一支撑杆（2），所述第一支撑杆（2）上设有第二支撑杆（3），所述第一支撑杆（2）与所述第二支撑杆（3）通过调节装置（4）连接，所述第二支撑杆（3）的一端设有第一侧板（5），所述第一侧板（5）的两端分别设有顶板（6）和底板（7），所述顶板（6）和所述底板（7）均与所述第一侧板（5）固定连接，所述底板（7）中心处固定设有夹持板（8），所述顶板（6）和所述底板（7）的另一侧设有第二侧板（9），所述第一侧板（5）和所述第二侧板（9）之间设有活动板（10），所述活动板（10）的两端均设有滑块（11），所述第一侧板（5）...

【技术特征摘要】
1.一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）上设有第一支撑杆（2），所述第一支撑杆（2）上设有第二支撑杆（3），所述第一支撑杆（2）与所述第二支撑杆（3）通过调节装置（4）连接，所述第二支撑杆（3）的一端设有第一侧板（5），所述第一侧板（5）的两端分别设有顶板（6）和底板（7），所述顶板（6）和所述底板（7）均与所述第一侧板（5）固定连接，所述底板（7）中心处固定设有夹持板（8），所述顶板（6）和所述底板（7）的另一侧设有第二侧板（9），所述第一侧板（5）和所述第二侧板（9）之间设有活动板（10），所述活动板（10）的两端均设有滑块（11），所述第一侧板（5）和所述第二侧板（9）位于所述滑块（11）的一侧壁上均设有滑槽（12），所述滑块（11）与所述滑槽（12）相匹配，所述顶板（6）中心处设有螺纹套（13），所述螺纹套（13）内设有螺纹杆（14），所述顶板（6）的上对称设有拉力表（15），所述拉力表（15）上...

【专利技术属性】
技术研发人员：王敏，
申请(专利权)人：西安西派测控技术有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61