一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，包括：样品杆、样品台和真空配件清洗筐；样品台和真空配件清洗筐均安装在样品杆预设位置；样品杆上设置有凸台，凸台的靠近等离子体清洗仪的一侧设置有密封装置。本实用新型专利技术的用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，为一种结构简单、便于加工的具有多功能样品承载功能的装置。

【技术实现步骤摘要】
一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置
本技术属于电子显微镜
，特别涉及一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置。
技术介绍
电子显微镜的中碳污染是广泛存在的，碳污染是指在电子束轰击下碳和含碳物质在试样表面上的进行性积累。碳污染不仅影响成像质量，对于纳米尺度材料的性能也有显著的影响。等离子体清洗仪可以产生活化的离子，通过物理和化学作用对样品表面进行处理，可以实现样品表面污染尤其是碳氢污染的去除。然而，在实际应用中，等离子体清洗仪的价格昂贵，很多实验室只有透射电镜配备等离子体清洗仪对透射电镜样品杆进行定期清洗，而扫描电镜、聚焦离子束系统的样品台则很少做清洗。因此，亟需一种装样装置，以实现通过透射电镜等离子清洗仪清洗各类扫描电镜及电镜样品等。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，以解决上述存在的一个或多个技术问题。为达到上述目的，本技术采用以下技术方案：一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，包括：样品杆、样品台和真空配件清洗筐；样品台和真空配件清洗筐均安装在样品杆预设位置；样品杆上设置有凸台，凸台的靠近等离子体清洗仪的一侧设置有密封装置。进一步地，所述密封装置为密封圈。进一步地，所述密封圈为O型真空密封圈。进一步地，样品台包括有螺纹的“T”形样品台，有螺纹的“T”形样品台通过螺纹结构安装在样品杆预设位置。进一步地，样品台包括无螺纹的“T”形样品台；无螺纹的“T”形样品台通过销钉结构安装在样品杆预设位置。进一步地，真空配件清洗筐通过螺纹结构安装在样品杆伸入等离子体清洗仪一端的端部。进一步地，所述真空配件清洗筐前端为带网格的空心正方体结构，后端为设有内螺纹的空心圆柱结构。进一步地，所述样品杆为不锈钢杆。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：本技术的用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，为一种结构简单、便于加工的具有多功能样品承载功能的装置。本技术的装样装置为具有多功能样品承载功能的装置，其能够使用透射电镜等离子清洗仪清洗扫描电镜、聚焦离子束的样品台和样品等，可扩大透射电镜等离子体清洗仪的应用范围。基于本技术的装置能够使用透射电镜等离子清洗仪清洗包括扫描电镜、聚焦离子束的样品台和样品，以及各类不宜使用导电胶固定的小尺寸真空设备的配件，可扩大透射电镜等离子体清洗仪的应用范围，节约实验成本。具体体现在：(1)基于本技术的装样装置，使一台只能用于透射电镜样品杆清洗的等离子清洗仪，即可实现扫描电镜、聚焦离子束等类型电镜的样品和样品台的清洗，同时可以实现各类真空设备配件的清洗，能够极大的扩展上述等离子清洗仪的使用范围。(2)相较于购置安装在扫描电镜或聚焦离子束系统上的等离子清洗仪，本技术可以节约购置经费，以及扫描电镜和聚焦离子束系统的实验机时。进一步地，本技术的装置密封圈选用O型真空密封圈，可保证装置在使用过程中保持高真空。进一步地，本技术的样品台包括有螺纹的“T”形样品台和无螺纹的“T”形样品台，这两种类型的样品台可作为扫描电镜样品台和聚焦离子束样品台。进一步地，小尺寸样品可从螺纹部分放入真空配件清洗筐。附图说明图1是本技术实施例的一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置的结构示意图；图2是本技术实施例的一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置中的样品杆结构示意图；图3是本技术实施例中有螺纹的“T”形样品台的结构示意图；图4是本技术实施例中无螺纹的“T”形样品台的结构示意图；图5是本技术实施例中真空配件清洗筐的结构示意图；在图1至图5中：1-样品杆；2-有螺纹的“T”形样品台；3-无螺纹的“T”形样品台；4-固定销；5-真空配件清洗筐；6-密封圈。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。在传统的扫描电镜观察中由于在电子束辐照后会有碳污染产生，因此通常在高倍下进行焦距和象散调整后迅速改变观察位置进行拍照，然而在聚焦离子束加工以及原位扫描电镜力学性能测试试验中均需要在要加工或者测试的样品位置进行较长时间的电子束辐照，因此碳污染对样品形貌及力学性能的影响无法避免必须进行等离子清洗。请参阅图1，本技术实施例的一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，其结构包括：样品杆1、样品台、真空配件清洗筐5、固定销4以及密封圈6。样品台包括：有螺纹的“T”形样品台2和无螺纹的“T”形样品台3。用于扫描电镜观察或聚焦离子束加工的样品通过导电胶固定在相应的样品台上，有螺纹的“T”形样品台2通过螺纹结构安装在样品杆1上，无螺纹的“T”形样品台3通过侧向固定销4固定在样品杆1上，不宜用导电胶固定的真空配件放置在真空配件清洗筐5中，真空配件清洗筐5通过螺纹固定在样品杆1前端。本技术的装置通过密封圈6和等离子清洗仪连接使用，即将样品杆1插入等离子体清洗仪，通过密封圈6密封，抽真空进行等离子清洗。本技术的装样装置为不锈钢材料制成，金属加工表面要求无毛刺；采用的密封圈6为O型真空密封圈。样品杆1为不锈钢杆。综上所述，本技术的样品杆安装有扫描电镜及聚焦离子束系统样品台，可以用透射电镜等离子清洗仪清洗各类电镜样品。另外，本技术的装置可以单独或同时清洗包括扫描电镜样品、聚焦离子束样品以及其他不宜用导电胶固定的真空配件，且结构简单易于加工，可扩展透射电镜等离子清洗仪的使用范围。本技术的一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置的工作过程包括：用于扫描电镜观察或聚焦离子束加工的样品通过导电胶固定在相应的样品台上；有螺纹的“T”形样品台2通过螺纹结构安装在样品杆1上，无螺纹的“T”形样品台3通过侧向固定销4固定在样品杆1上，不宜用导电胶固定的真空配件放置在清洗筐中，清洗筐通过螺纹固定在样品杆1前端；将样品杆1插入等离子体清洗仪，通过密封圈6密封；抽真空至相应真空值，设置清洗时间，等离子体清洗设备产生氧的等离子体与需要清洗的样品表面的碳结合生成一氧化碳或二氧化碳被真空泵抽走，从而达到清洗样品表面碳污染的目的。本技术的装置通过密封圈6和等离子清洗仪连接使用，即将样品杆1插入等离子体清洗仪，通过密封圈6密封，抽真空进行等离子清洗。以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的应用范围并不局限于此，任何属于本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的应用范围之内。因此，本技术的应用范围应该以权利要求的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，其特征在于，包括：样品杆(1)、样品台和真空配件清洗筐(5)；/n样品台和真空配件清洗筐(5)均安装在样品杆(1)预设位置；/n样品杆(1)上设置有凸台，凸台的靠近等离子体清洗仪的一侧设置有密封装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，其特征在于，包括：样品杆(1)、样品台和真空配件清洗筐(5)；
样品台和真空配件清洗筐(5)均安装在样品杆(1)预设位置；
样品杆(1)上设置有凸台，凸台的靠近等离子体清洗仪的一侧设置有密封装置。


2.根据权利要求1所述的一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，其特征在于，所述密封装置为密封圈(6)。


3.根据权利要求2所述的一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，其特征在于，所述密封圈(6)为O型真空密封圈。


4.根据权利要求1所述的一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，其特征在于，样品台包括有螺纹的“T”形样品台(2)，有螺纹的“T”形样品台(2)通过螺纹结构安装在样品杆(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：付琴琴，张鹏，周善林，张朋诚，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：新型
国别省市：陕西;61