一种多功能硅片检测平台制造技术

本发明专利技术属于硅片检测技术领域，特别涉及一种多功能硅片检测平台，包括安装底座，安装底座上设有检测模块，检测模块旁设有光伏硅片移载模块和半导体硅片移载模块。检测模块包括支架、固定在支架上的第一直线导轨以及滑动设置在第一直线导轨上的检测传感器；光伏硅片移载模块包括第一线性模组和滑动设置在第一线性模组上的光伏硅片输送组件；半导体硅片移载模块包括第二线性模组、设置在第二线性模组上的旋转平台以及设置在旋转平台顶部的可调抓盘。本发明专利技术通过光伏硅片移载模块和半导体硅片移载模块配套的设计，同时兼容光伏和半导体硅片的检测，实现光伏和半导体硅片的厚度、TTV、翘曲、弯曲的检测，大大提高了研发人员的硅片检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种多功能硅片检测平台
本专利技术属于硅片检测
，具体地说涉及一种多功能硅片检测平台。
技术介绍
目前光伏行业和半导体行业的硅片检测都有各自的检测设备，但是无论光伏还是半导体行业，检测设备主要面向生产端，侧重于某种固定大小硅片的连续快速检测，而且硅片检测的位置都是固定不变的。然而面向研发端时，往往需要详细检测硅片不同位置的切割情况，通过分析单片硅片的大量检测点，以此来优化切割工艺。而且，硅片的大小尺寸不一，此时现有设备的检测点就不够全面，而且很难兼容多种类型硅片。
技术实现思路
针对现有技术的种种不足，专利技术人在长期实践中研究设计出一种多功能硅片检测平台。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种多功能硅片检测平台，包括安装底座，所述安装底座上设有检测模块，检测模块旁设有光伏硅片移载模块和半导体硅片移载模块。所述检测模块包括支架、固定在支架上的第一直线导轨以及滑动设置在第一直线导轨上的检测传感器；所述光伏硅片移载模块包括第一线性模组和滑动设置在第一线性模组上的光伏硅片输送组件；所述半导体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多功能硅片检测平台，包括安装底座(10)，其特征在于，所述安装底座(10)上设有检测模块(20)，检测模块(20)旁设有光伏硅片移载模块(30)和半导体硅片移载模块(40)；所述检测模块(20)包括支架(21)、固定在支架(21)上的第一直线导轨(24)以及滑动设置在第一直线导轨(24)上的检测传感器(27)；所述光伏硅片移载模块(30)包括第一线性模组(31)和滑动设置在第一线性模组(31)上的光伏硅片输送组件；所述半导体硅片移载模块(40)包括第二线性模组(41)、设置在第二线性模组(41)上的旋转平台(43)以及设置在旋转平台(43)顶部的可调抓盘(45)。/n

【技术特征摘要】
1.一种多功能硅片检测平台，包括安装底座(10)，其特征在于，所述安装底座(10)上设有检测模块(20)，检测模块(20)旁设有光伏硅片移载模块(30)和半导体硅片移载模块(40)；所述检测模块(20)包括支架(21)、固定在支架(21)上的第一直线导轨(24)以及滑动设置在第一直线导轨(24)上的检测传感器(27)；所述光伏硅片移载模块(30)包括第一线性模组(31)和滑动设置在第一线性模组(31)上的光伏硅片输送组件；所述半导体硅片移载模块(40)包括第二线性模组(41)、设置在第二线性模组(41)上的旋转平台(43)以及设置在旋转平台(43)顶部的可调抓盘(45)。


2.根据权利要求1所述的多功能硅片检测平台，其特征在于，所述支架(21)包括上横梁(22)和下横梁(23)，所述上横梁(22)和所述下横梁(23)上均设置所述第一直线导轨(24)；所述检测传感器(27)通过安装座(26)与所述第一直线导轨(24)上的第一滑块(25)连接；所述安装座(26)远离所述第一滑块(25)一端设有夹爪。


3.根据权利要求2所述的多功能硅片检测平台，其特征在于，两个所述检测传感器(27)同轴设置；所述第一直线导轨(24)上设有两个机械限位。


4.根据权利要求1所述的多功能硅片检测平台，其特征在于，沿所述第一线性模组(31)长度方向的两侧均设置第二直线导轨(32)，第二直线导轨(32)上设置第二滑块(35)；两个所述第二直线导轨(32)分别设置在所述支架(21)的两侧。


5.根据权利要求4所述的多功能硅片检测平台，其特征在于，所述光伏硅片输送组件包括连接底板(33)和固定在连接底板(33)长度方向两侧的立板(34)；两个所述立板(34...

【专利技术属性】
技术研发人员：李璐，邢旭，贺基凯，唐亮，
申请(专利权)人：长治高测新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山西;14