一种用于多晶硅生产的环保型尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及尾气处理设备技术领域，具体公开了一种用于多晶硅生产的环保型尾气处理装置，包括水解池和冷凝塔，所述水解池的上方设置有冷凝塔，所述冷凝塔的左侧设置有进气管，所述水解池内部的额中间位置设置有转杆，所述转杆从上到下等距离开设有多个第一管道，且在第一管道上开设有多个气孔；本实用新型专利技术在水解池的上方设置有冷凝塔，且在水解池内设置有第一管道，在冷凝塔内对尾气进行降温处理，并将低温的尾气通入到水解池中，利用水解池中的液态氯硅烷将尾气中的氯化氢溶解完全，通过第一管道使得尾气与液态的氯硅烷充分接触，提高了氯化氢的溶解效率，氢气和氯化氢分离完全，尾气的处理效果较好。

【技术实现步骤摘要】
一种用于多晶硅生产的环保型尾气处理装置
本技术涉及尾气处理设备
，具体是一种用于多晶硅生产的环保型尾气处理装置。
技术介绍
多晶硅是制备半导体器件和太阳能电池的原材料，是全球电子工业及光伏产业的基石，目前制备多晶硅最主要的方法为西门子法。在多晶硅生产过程中会产生大量的废气，其主要成分有氢气、氯化氢和氯硅烷，由于废气外排放对环境造成污染，因此必须对废气进行处理。氢气和氯化氢在氯硅烷中的溶解度差别较大，氢气不溶于氯硅烷，而氯化氢溶于氯硅烷中。现有技术开发的一种多晶硅生产线尾气回收系统，如CN208694295U的一种多晶硅生产线尾气回收系统，该技术液相的氯硅烷流回塔中与后续进入塔内的尾气进行热交换，尾气中的部分热量传递给了液相氯硅烷，从而降低了尾气在冷却系统中的冷却功耗，但是它在使用过程中存在以下不足之处，利用自身尾气中的氯硅烷溶解氯化氢，溶解效率较低，导致氢气和氯化氢的分离不完全，尾气的处理效果较差。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于多晶硅生产的环保型尾气处理装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于多晶硅生产的环保型尾气处理装置，包括水解池和冷凝塔，所述水解池的上方设置有冷凝塔，所述冷凝塔的左侧设置有进气管，所述水解池内部的中间位置设置有转杆，所述转杆为中空结构，并贯穿整个水解池，所述转杆从上到下等距离开设有多个第一管道，且在第一管道上开设有多个气孔，所述水解池的左侧上方设置有进水管，所述水解池的右侧下方设置有出水管。作为本技术再进一步的方案，所述转杆的上下两端均延伸到水解池的外部，所述转杆的下端固定连接在第一电机输出轴的末端，所述水解池与进水管的连接处设置有第一阀门，所述水解池与出水管的连接处设置有第二阀门，所述第一电机的型号为YSJ7124。作为本技术再进一步的方案，所述水解池的右侧下端设置有中和池，所述中和池与出水管相连通，所述中和池的右侧下方设置有排水管，且在排水管与中和池的连接处设置有过滤网，所述排水管上还设置有第三阀门，所述过滤网上固定安装有旋钮。作为本技术再进一步的方案，所述中和池的上方设置有进料口，且在进料口与中和池的连通处设置第四阀门，所述中和池顶部的中间位置设置有第二电机，所述第二电机的输出轴延伸至中和池的内部，且在第二电机的输出轴上固定连接有多个搅拌叶片，所述第二电机的右端设置有第一出气管，所述第二电机的型号为YSJ7124，所述第一出气管的左端插入到中和池，且第一出气管设置在中和池内部液体的上方。作为本技术再进一步的方案，所述冷凝塔的内部设置有冷凝内塔，且在冷凝内塔的外侧壁上设置有螺旋叶片，所述冷凝内塔内部设置有冷凝器，所述螺旋叶片的外侧固定连接在冷凝塔的内壁上，所述冷凝塔、冷凝内塔和螺旋叶片形成的密闭空间为进气腔，所述进气腔的左侧中间位置与进气管相连通，所述进气腔的右侧与冷凝内塔相连通，所述冷凝塔的底部连通有第二管道。作为本技术再进一步的方案，所述第二管道通过转轴活动套接在转杆上，所述第二管道的右侧设置有第二出气管，所述第二出气管的左端插入到水解池，且第二出气管设置在水解池内部液态氯硅烷的上方。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术在水解池的上方设置有冷凝塔，且在水解池内设置有第一管道，在冷凝塔内对尾气进行降温处理，并将低温的尾气通入到水解池中，利用水解池中的液态氯硅烷将尾气中的氯化氢溶解完全，通过第一管道，使得尾气与液态的氯硅烷充分接触，提高了氯化氢的溶解效率，氢气和氯化氢分离完全，尾气的处理效果较好。附图说明图1为一种用于多晶硅生产的环保型尾气处理装置的结构示意图；图2为图1中A-A剖面结构示意图；图3为图1中B-B剖面结构示意图；图4为图1中C-C剖面结构示意图。图中：1、水解池；101、转杆；102、第一管道；103、气孔；104、第一电机；2、冷凝塔；201、冷凝内塔；202、螺旋叶片；203、冷凝器；204、进气腔；3、进气管；4、进水管；401、第一阀门；5、出水管；501、第二阀门；6、中和池；601、排水管；602、过滤网；603、第三阀门；604、旋钮；7、进料口；701、第四阀门；8、第二电机；801、搅拌叶片；9、第一出气管；10、第二管道；11、第二出气管。具体实施方式请参阅图1～4，本技术实施例中，一种用于多晶硅生产的环保型尾气处理装置，包括水解池1和冷凝塔2，所述水解池1的上方设置有冷凝塔2，所述冷凝塔2的左侧设置有进气管3，所述水解池1内部的中间位置设置有转杆101，所述转杆101为中空结构，并贯穿整个水解池1，所述转杆101从上到下等距离开设有多个第一管道102，且在第一管道102上开设有多个气孔103，在冷凝塔2内对尾气进行降温处理，并将低温的尾气通入到水解池1中，利用水解池1中的液态氯硅烷将尾气中的氯化氢溶解完全，通过第一管道102，使得尾气与液态的氯硅烷充分接触，提高了氯化氢的溶解效率，氢气和氯化氢分离完全，尾气的处理效果较好，所述水解池1的左侧上方设置有进水管4，所述水解池1的右侧下方设置有出水管5。在图1和图3中，所述转杆101的上下两端均延伸到水解池1的外部，所述转杆101的下端固定连接在第一电机104输出轴的末端，所述第一电机104的型号为YSJ7124，通过第一电机104的转动，带动转杆101的转动，使得第一管道102在水解池1内转动，加速了氯化氢的溶解效率，提高了氯化氢和氢气的分离效率，所述水解池1与进水管4的连接处设置有第一阀门401，打开第一阀门401，向水解池1内通入液态氯硅烷，确保氯化氢可以充分的被溶解，所述水解池1与出水管5的连接处设置有第二阀门501，打开第二阀门501，将水解池1中的溶液通入到中和池6进行中和反应。在图1和图4中，所述水解池1的右侧下端设置有中和池6，所述中和池6与出水管5相连通，所述中和池6的右侧下方设置有排水管601，且在排水管601与中和池6的连接处设置有过滤网602，所述排水管601上还设置有第三阀门603，所述过滤网602上固定安装有旋钮604，打开第三阀门603，将中和反应后的液体通过排水管601从中和池6中排出，过滤网602可以阻隔中和反应后的残渣与溶液一起排出，待中和反应后的液体完全排尽后，转动旋钮604，带动过滤网602逆时针转动，使得过滤网602紧贴在排水管601的侧壁上，将中和反应后的残渣排出，待中和反应后的残渣排尽后，反方向旋转旋钮604，将过滤网602恢复到原来位置，进行下一次的排液工作。在图1和图4中，所述中和池6的上方设置有进料口7，且在进料口7与中和池6的连通处设置第四阀门701，打开第四阀门701，向中和池6内通入氯硅烷中和反应所需要的反应物和催化剂，对氯化氢溶液进行中和反应，同时加快了溶解于液态氯硅烷中的氯化氢的分离，提高了氯化氢的分离效率，所述中和池6顶部的中间位置设置有第二电机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于多晶硅生产的环保型尾气处理装置，包括水解池(1)和冷凝塔(2)，其特征在于，所述水解池(1)的上方设置有冷凝塔(2)，所述冷凝塔(2)的左侧设置有进气管(3)，所述水解池(1)内部的中间位置设置有转杆(101)，所述转杆(101)为中空结构，并贯穿整个水解池(1)，所述转杆(101)从上到下等距离开设有多个第一管道(102)，且在第一管道(102)上开设有多个气孔(103)，所述水解池(1)的左侧上方设置有进水管(4)，所述水解池(1)的右侧下方设置有出水管(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于多晶硅生产的环保型尾气处理装置，包括水解池(1)和冷凝塔(2)，其特征在于，所述水解池(1)的上方设置有冷凝塔(2)，所述冷凝塔(2)的左侧设置有进气管(3)，所述水解池(1)内部的中间位置设置有转杆(101)，所述转杆(101)为中空结构，并贯穿整个水解池(1)，所述转杆(101)从上到下等距离开设有多个第一管道(102)，且在第一管道(102)上开设有多个气孔(103)，所述水解池(1)的左侧上方设置有进水管(4)，所述水解池(1)的右侧下方设置有出水管(5)。


2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产的环保型尾气处理装置，其特征在于，所述转杆(101)的上下两端均延伸到水解池(1)的外部，所述转杆(101)的下端固定连接在第一电机(104)输出轴的末端，所述水解池(1)与进水管(4)的连接处设置有第一阀门(401)，所述水解池(1)与出水管(5)的连接处设置有第二阀门(501)。


3.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产的环保型尾气处理装置，其特征在于，所述水解池(1)的右侧下端设置有中和池(6)，所述中和池(6)的右侧下方设置有排水管(601)，且在排水管(601)与中和池(6)的连接处设置有过滤网(602)，所述排水管(601)上还设置有第三阀门(...

【专利技术属性】
技术研发人员：苗康，王辉，
申请(专利权)人：内蒙古东立光伏电子有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙;15