一种二氯硅烷的尾气处理系统及其处理方法技术方案

本发明专利技术公开了一种二氯硅烷的尾气处理系统及其处理方法，旨在提供一种反应效果好，结构简单以及实用性强的尾气处理系统，其技术方案要点是尾气处理部分包括机架、设置于机架上的反应室、与反应室相连通的进气通道以及设置于反应室内的尾气处理机构，为了提高对尾气的处理效果，通过设置的尾气处理机构，并且将该尾气处理机构设置为包括设置于反应室内且与进气通道连通的第一通道、第二通道以及设置于反应室内的出气通道，第一通道内通有第一反应气体，第二通道内通有第二反应气体，且出气通道内设有用于尾气残留量的监测机构，通过尾气监测机构对尾气进行监测，以保证尾气的健康排放，实用性强，结构简单，本发明专利技术适用于二氯硅烷生产设备技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种二氯硅烷的尾气处理系统及其处理方法
本专利技术涉及一种二氯硅烷生产设备
,更具体地说，它涉及一种二氯硅烷的尾气处理系统及其处理方法。
技术介绍
二氯硅烷的尾气处理系统，用于处理生产二氯硅烷反应后生生成的尾气。目前，市场上的二氯硅烷的尾气处理系统，它包括反应部分以及与反应部分连接的尾气处理部分。传统的二氯硅烷的尾气处理系统，在尾气进行处理时，通常采用集中处理的方式，不能保证对尾气的实施处理，因此在进行实施处理的情况下，如何在反应的过程中进行尾气的处理，也是目前存在的问题。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种反应效果好，结构简单以及实用性强的尾气处理系统。为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：一种二氯硅烷的尾气处理系统，包括反应部分以及与反应部分连接的尾气处理部分，所述尾气处理部分包括机架、设置于机架上的反应室、与反应室相连通的进气通道以及设置于反应室内的尾气处理机构，该尾气处理机构包括设置于反应室内且与进气通道连通的第一通道、第二通道以及设置于反应室内的出气通道本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种二氯硅烷的尾气处理系统，包括反应部分(1)以及与反应部分(1)连接的尾气处理部分(2)，其特征在于，所述尾气处理部分(2)包括机架(20)、设置于机架(20)上的反应室(21)、与反应室(21)相连通的进气通道(22)以及设置于反应室(21)内的尾气处理机构，该尾气处理机构包括设置于反应室(21)内且与进气通道(22)连通的第一通道(220)、第二通道(221)以及设置于反应室(21)内的出气通道(23)，第一通道(220)内通有第一反应气体，第二通道(221)内通有第二反应气体，且出气通道(23)内设有用于尾气残留量的监测机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种二氯硅烷的尾气处理系统，包括反应部分(1)以及与反应部分(1)连接的尾气处理部分(2)，其特征在于，所述尾气处理部分(2)包括机架(20)、设置于机架(20)上的反应室(21)、与反应室(21)相连通的进气通道(22)以及设置于反应室(21)内的尾气处理机构，该尾气处理机构包括设置于反应室(21)内且与进气通道(22)连通的第一通道(220)、第二通道(221)以及设置于反应室(21)内的出气通道(23)，第一通道(220)内通有第一反应气体，第二通道(221)内通有第二反应气体，且出气通道(23)内设有用于尾气残留量的监测机构。


2.根据权利要求1所述的一种二氯硅烷的尾气处理系统，其特征在于，所述尾气处理机构还包括用于控制反应气体通入量的控制机构，该控制机构包括设置于第一通道(220)上且用于控制第一反应气体流入量的第一控制阀(222)以及设置于第二通道(221)上且用于控制第二反应气体流入量的第二控制阀(223)。


3.根据权利要求2所述的一种二氯硅烷的尾气处理系统，其特征在于，所述尾气处理机构还包括设置于进气通道(22)内且用于感应尾气是否进入的感应器(224)以及用于控制第一、二控制阀开启或关闭或调整流量大小的控制器，监测机构包括设置于出气通道(23)内且用于监测尾气成分含量的检测器(230)以及设置于出气通道(23)内的第三控制阀(231)，检测器(230)和控制器采用电性连接，感应器(224)和控制器采用电性连接，第三控制阀(231)和控制器采用电性连接。


4.根据权利要求2所述的一种二氯硅烷的尾气处理系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨利，于青玉，陈甫，
申请(专利权)人：浙江西亚特电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33