工具、作业管理装置、作业管理方法以及作业管理系统制造方法及图纸

提供一种带扭矩传感器的工具，该带扭矩传感器的工具适于在组装中需要大量的紧固接合部件、且可供接近紧固接合部件的空间狭小的流体控制装置那样的装置中的紧固接合部件的紧固作业，并且该工具的紧固扭矩的检测被自动化。工具(1)具备能够检测作用于批头(20)的、对紧固接合部件进行紧固的紧固扭矩的扭矩传感器(30)，扭矩传感器(30)当所检测的紧固扭矩超过设定阈值(Th)时开始进行紧固扭矩的测定，当所检测的紧固扭矩下降为低于设定阈值(Th)、且经过了设定时间(T1)时结束测定，并输出基于从测定开始起到测定结束为止的期间的测定数据而形成且包含测定时刻的扭矩关联数据。扭矩关联数据包含测定数据中的峰值。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工具、作业管理装置、作业管理方法以及作业管理系统
本专利技术涉及一种在包含大量的螺栓等紧固接合部件的装置中的紧固接合部件的紧固作业中使用的带扭矩传感器的工具、以及对使用该工具的紧固作业进行管理的作业管理装置、作业管理方法以及作业管理系统。
技术介绍
在半导体制造工艺等各种制造工艺中，采用集成了开闭阀、调节器、质量流量控制器等各种流体设备的流体控制装置，以向工艺腔供给准确地计量出的工艺气体(例如，参照专利文献1)。在上述那样的流体控制装置的组装工序中，需要进行庞大数量的内六角螺栓等紧固接合部件的紧固作业，且要求高的组装质量。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-003013号公报专利文献2：日本特开2013-188858号公报专利文献3：日本特开2015-229210号公报专利文献4：日本特开2013-852号公报专利文献5：日本特开2008-181344号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题专利文献2公开了以下技术：利用来本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工具，具备能够检测作用于批头的、对紧固接合部件进行紧固的紧固扭矩的扭矩传感器，/n所述扭矩传感器当所检测的紧固扭矩超过设定阈值时，开始进行对紧固扭矩的测定数据的记录，当所检测的紧固扭矩下降为低于所述设定阈值、且经过了设定时间时，结束测定，并输出基于从测定开始起到测定结束为止的期间的包含测定时刻的测定数据的扭矩关联数据。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171208 JP 2017-2362531.一种工具，具备能够检测作用于批头的、对紧固接合部件进行紧固的紧固扭矩的扭矩传感器，
所述扭矩传感器当所检测的紧固扭矩超过设定阈值时，开始进行对紧固扭矩的测定数据的记录，当所检测的紧固扭矩下降为低于所述设定阈值、且经过了设定时间时，结束测定，并输出基于从测定开始起到测定结束为止的期间的包含测定时刻的测定数据的扭矩关联数据。


2.根据权利要求1所述的工具，其特征在于，
所述扭矩关联数据包含所述测定数据中的峰值。


3.根据权利要求1或2所述的工具，其特征在于，
所述扭矩关联数据包含对数据进行测定时的温度信息。


4.根据权利要求1～3中的任一项所述的工具，其特征在于，
所述工具至少具备第一标记和第二标记以用于图像处理。


5.一种作业管理装置，用于对紧固作业进行管理，在所述紧固作业中，使用根据权利要求1～4中的任一项所述的工具，来对产品中包含的多个紧固接合部件分别进行紧固，
所述作业管理装置当接收到所述扭矩关联数据时，从在一个紧固接合部件的紧固作业中自多个视点拍摄得到的所述工具的多个图像中，提取与所述扭矩关联数据中包含的测定时刻对应的多个图像并进行处理，检测与所述一个紧固接合部件卡合的所述批头的卡合位置。


6.根据权利要求5所述的作业管理装置，其特征在于，
所述工具的多个图像至少包含所述第一标记和所述第二标记。


7.一种作业管理方法，用于对紧固作业进行管理，在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：堀川和俊，根桥徹，町田秀和，下石坂望，原田章弘，落石将彦，大和义昭，轻部浩树，小艾睦典，篠原努，
申请(专利权)人：日本肯耐克科技株式会社，株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本;JP