基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪制造技术

基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪属于激光应用技术领域；本发明专利技术将两束频率不同的空间分离光束输入至基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪，其中一体式二次分光组件包含两个彼此空间垂直的分光面，这两个分光面镀有偏振分光膜或非偏振分光膜，并且测量光束和参考光束在一体式二次分光组件中的行进路径长度相等。本发明专利技术所述的外差激光干涉仪显著降低了周期非线性误差，相对于其他现有空间分离式外差激光干涉仪同时兼具结构简单、热稳定性好、容差角大和易于集成装配的优点，满足了高端装备对外差激光干涉测量高精度和高分辨率的要求。

【技术实现步骤摘要】
基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪
本专利技术属于激光应用
，主要涉及一种基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪。
技术介绍
外差激光干涉仪因其具有抗干扰能力强、信噪比高和精度高等优点而被广泛应用于超精密数控机床、光刻机以及三坐标测量机等高端装备。随着高端装备工程的不断发展，现有装备对外差激光干涉测量的测量精度和分辨率都提出了越来越高的要求。在外差激光干涉测量中，纳米级周期非线性误差严重限制了测量精度和分辨率的进一步提高。国内外研究表明周期非线性误差源于干涉光路中的光学混叠，而传统的外差激光干涉仪无法避免光学混叠，因此各国学者转变研究思路并提出了基于空间分离光路的外差激光干涉技术，即通过空间分离的光束传递来减弱或消除光学混叠以减小甚至消除周期非线性误差。基于空间分离光路的设计理念，国内外学者相继研发了不同类型的外差激光干涉仪，其周期非线性误差均显著降低，但是都存在一定的局限性。国外学者JohnLawall等研制的外差激光干涉仪(MichelsonInterferometrywith10pmAccuracy.Re本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪，包括：两个空间不重合且频率不同的第一输入光束和第二输入光束、一体式二次分光组件、固定反射镜以及可移动的目标平面反射镜；/n其特征在于：所述第一输入光束入射至一体式二次分光组件后被分成第一测量光束和第一参考光束；第二输入光束入射至一体式二次分光组件后被分成第二测量光束和第二参考光束；第一测量光束和第二测量光束中至少有一束光束被目标平面反射镜至少反射一次；第一和第二测量光束以及第一和第二参考光束均被一体式二次分光组件的第一分光面和第二分光面多次透射或反射；并且第一测量光束和第二参考光束在输出行进路径中至少有一部分重合并形成第一干涉信号，第一参考光束和...

【技术特征摘要】
1.一种基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪，包括：两个空间不重合且频率不同的第一输入光束和第二输入光束、一体式二次分光组件、固定反射镜以及可移动的目标平面反射镜；
其特征在于：所述第一输入光束入射至一体式二次分光组件后被分成第一测量光束和第一参考光束；第二输入光束入射至一体式二次分光组件后被分成第二测量光束和第二参考光束；第一测量光束和第二测量光束中至少有一束光束被目标平面反射镜至少反射一次；第一和第二测量光束以及第一和第二参考光束均被一体式二次分光组件的第一分光面和第二分光面多次透射或反射；并且第一测量光束和第二参考光束在输出行进路径中至少有一部分重合并形成第一干涉信号，第一参考光束和第二测量光束在输出行进路径中至少有一部分重合并形成第二干涉信号。


2.根据权利要求1所述的一体式二次分光组件，包括：第一等腰直角棱镜、...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡鹏程，苏晓博，付海金，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙;23