一种粉尘过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及粉尘过滤技术领域，公开一种粉尘过滤装置。其中粉尘过滤装置包括过滤腔、与过滤腔连通的排污管路和冲洗管路，其中过滤腔包括与外部设备连通的进气管路、与气源连通的吹扫管路和与真空泵连通的抽气管路；过滤腔内设置有过滤网，进气管路位于过滤网的一侧，抽气管路和吹扫管路位于过滤网的另一侧；排污管路设置在过滤网靠近进气管路的一侧；冲洗管路能冲洗过滤网上的粉尘。本实用新型专利技术通过过滤腔内的过滤网实现对粉尘的过滤；通过冲洗管路冲洗过滤网上的粉尘；通过排污管路排出粉尘；通过吹扫管路吹干冲洗过后的过滤网；总体上有效地保证了排气管路的通畅。

【技术实现步骤摘要】
一种粉尘过滤装置
本技术涉及粉尘过滤
，尤其涉及一种粉尘过滤装置。
技术介绍
在采用等离子体增强化学的气相沉积法(PECVD)镀膜过程中会产生大量粉尘，该粉尘长时间积累后，会堵塞排气管路；并且进入真空泵之后，导致真空泵工作异常和失效，一般情况下会在真空泵的前端加装过滤网来阻止粉尘进入，但长时间积累后导致真空堵塞，无法达到预定真空效果；另外，过滤出的粉尘大多继续堆积在排气管路内，大量堆积的粉尘同样存在堵塞排气管路的问题。
技术实现思路
基于以上所述，本技术的目的在于提供一种粉尘过滤装置，能有效地对排气管路内的粉尘进行过滤、冲洗和收集，保证排气管路的通畅。为达上述目的，本技术采用以下技术方案：一种粉尘过滤装置，包括过滤腔，所述过滤腔包括与外部设备连通的进气管路、与气源连通的吹扫管路和与真空泵连通的抽气管路，所述过滤腔内设置有过滤网，所述进气管路位于所述过滤网的一侧，所述抽气管路和所述吹扫管路位于所述过滤网的另一侧；所述过滤腔还设置有排污管路，所述排污管路设置在所述过滤网靠近所述进气管路的一侧；冲洗管路，被配置为能冲洗所述过滤网上的粉尘。作为一种粉尘过滤装置的优选方案，所述进气管路上设置有第一阀门；所述吹扫管路上设置有第二阀门；所述抽气管路上设置有第三阀门；所述冲洗管路上设置有第四阀门，所述排污管路设置有第五阀门。作为一种粉尘过滤装置的优选方案，所述气源和所述第二阀门之间还设置有加热带，所述加热带被配置为能加热所述气源提供的气体。作为一种粉尘过滤装置的优选方案，所述气源吹出的气体为惰性气体。作为一种粉尘过滤装置的优选方案，所述惰性气体为氮气。作为一种粉尘过滤装置的优选方案，所述冲洗管路靠近所述过滤网的一端设置有喷淋头。作为一种粉尘过滤装置的优选方案，所述过滤网上设置有湿度传感器，所述湿度传感器被配置为能检测所述过滤网的干燥程度。作为一种粉尘过滤装置的优选方案，所述过滤腔靠近所述进气管路的一侧或所述排污管路上还设置有粉尘计数器。作为一种粉尘过滤装置的优选方案，所述粉尘过滤装置还包括与所述过滤网连接的超声波振荡器，所述超声波振荡器被配置为能打散所述过滤网上的粉尘。作为一种粉尘过滤装置的优选方案，所述过滤网与所述过滤腔可拆卸连接。本技术的有益效果为：通过在过滤腔内设置过滤网，实现对粉尘的过滤，同时，过滤腔的直径大于抽气管路的直径，将过滤网设置在过滤腔内，增大了过滤网对粉尘的过滤面积，过滤效果更好；通过设置用于冲洗过滤网上的粉尘的冲洗管路，有效地避免了长时间过滤，过滤网被粉尘堵塞的情况发生，增加了过滤网的使用寿命；通过设置排污管路，有效地将冲洗管路冲洗掉的粉尘排出过滤腔，防止了粉尘大量堆积的情况发生；通过设置与气源连通的吹扫管路，能将冲洗过后的过滤网吹干，便于粉尘过滤装置进行下次过滤；另外，吹扫管路在吹干过滤网的同时，将过滤网上未冲洗掉的粉尘进行吹扫，进一步加强了粉尘过滤装置的过滤效果。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。图1是本技术具体实施方式提供的粉尘过滤装置的示意图；图2是本技术具体实施方式提供的粉尘过滤控制方法的流程图。图中：1-过滤腔；11-过滤网；12-超声波振荡器；2-进气管路；21-第一阀门；3-吹扫管路；31-第二阀门；32-加热带；4-抽气管路；41-第三阀门；5-排污管路；51-第五阀门；52-粉尘计数器；6-冲洗管路；61-第四阀门。具体实施方式为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本技术实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1所示，本实施方式提供一种粉尘过滤装置，该装置包括过滤腔1、与过滤腔1连通的排污管路5和冲洗管路6，其中过滤腔1包括与外部设备连通的进气管路2、与气源连通的吹扫管路3和与真空泵连通的抽气管路4；过滤腔1内设置有过滤网11，进气管路2位于过滤网11的一侧，抽气管路4和吹扫管路3位于过滤网11的另一侧；排污管路5设置在过滤网11靠近进气管路2的一侧；冲洗管路6能冲洗过滤网11上的粉尘。通过在过滤腔1内设置过滤网11，实现对粉尘的过滤，同时，过滤腔1的直径大于抽气管路4的直径，将过滤网11设置在过滤腔1内，增大了过滤网11对粉尘的过滤面积，过滤效果更好；通过设置用于冲洗过滤网11上的粉尘的冲洗管路6，有效地避免了长时间过滤，过滤网11被粉尘堵塞的情况发生，增加了过滤网11的使用寿命；通过设置排污管路5，有效地将冲洗管路6冲洗掉的粉尘排出过滤腔1，防止了粉尘大量堆积的情况发生；通过设置与气源连通的吹扫管路3，能将冲洗过后的过滤网11吹干，便于粉尘过滤装置进行下次过滤；另外，吹扫管路3在吹干过滤网11的同时，将过滤网11上未冲洗掉的粉尘进行吹扫，进一步加强了粉尘过滤装置的过滤效果。具体地，进气管路2上设置有第一阀门21；吹扫管路3上设置有第二阀门31；抽气管路4上设置有第三阀门41；冲洗管路6上设置有第四阀门61，排污管路5设置有第五阀门51。过滤粉尘时，关闭第一阀门21、第二阀门31和第三阀门41，打开第四阀门61和第五阀门51，外部设备停止向过滤腔1内进气，停止向过滤腔1内吹扫，停止抽真空，开始对过滤网11上的粉尘进行冲洗，冲洗下的粉尘经由排污管路5排出；然后关闭第四阀门61，打开第二阀门31，停止冲洗过滤网11，并向过滤腔1内吹扫，在吹干过滤网11和过滤腔1的同时进一步吹扫过滤网11上残留的粉尘，完成一次对粉尘的过滤。优选地，为进一步加强气源对过滤网11和过滤腔1的吹干效率，在气源和第二阀门31之间还设置有加热带32，加热带32能加热气源吹出的气体。在打开第二阀门31进行吹扫之前，打开加热带32，对气源提供的气体进行加热，使吹到过滤网11和过滤腔1内加热过的气体能更快的烘干过滤网11和过滤腔1，加快了粉尘过滤装置的工作效率。可以理解，所述加热带32也可以是电热丝等其它加热装置。于其他实施例中，在通过冲洗管路6冲洗过滤网11的同时，还可以打开第二阀门31，进行对过滤网11的吹扫，以便使粉尘和清洗溶液能快速进入排污管路5，待冲洗结束后，关闭第四阀门61，打开加热带32，实现对过滤腔1和过滤网11的干燥。具体地，气源提供的气体为惰性气体，进一步具体地，该惰性气体可以为氮气。将气源提供的气体设置为氮气等更加稳定的惰性气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种粉尘过滤装置，其特征在于，包括过滤腔(1)，所述过滤腔(1)包括与外部设备连通的进气管路(2)、与气源连通的吹扫管路(3)和与真空泵连通的抽气管路(4)，所述过滤腔(1)内设置有过滤网(11)，所述进气管路(2)位于所述过滤网(11)的一侧，所述抽气管路(4)和所述吹扫管路(3)位于所述过滤网(11)的另一侧；/n所述过滤腔(1)还设置有排污管路(5)，所述排污管路(5)设置在所述过滤网(11)靠近所述进气管路(2)的一侧；/n冲洗管路(6)，被配置为能冲洗所述过滤网(11)上的粉尘。/n

【技术特征摘要】
1.一种粉尘过滤装置，其特征在于，包括过滤腔(1)，所述过滤腔(1)包括与外部设备连通的进气管路(2)、与气源连通的吹扫管路(3)和与真空泵连通的抽气管路(4)，所述过滤腔(1)内设置有过滤网(11)，所述进气管路(2)位于所述过滤网(11)的一侧，所述抽气管路(4)和所述吹扫管路(3)位于所述过滤网(11)的另一侧；
所述过滤腔(1)还设置有排污管路(5)，所述排污管路(5)设置在所述过滤网(11)靠近所述进气管路(2)的一侧；
冲洗管路(6)，被配置为能冲洗所述过滤网(11)上的粉尘。


2.根据权利要求1所述的粉尘过滤装置，其特征在于，所述进气管路(2)上设置有第一阀门(21)；所述吹扫管路(3)上设置有第二阀门(31)；所述抽气管路(4)上设置有第三阀门(41)；所述冲洗管路(6)上设置有第四阀门(61)，所述排污管路(5)设置有第五阀门(51)。


3.根据权利要求2所述的粉尘过滤装置，其特征在于，所述气源和所述第二阀门(31)之间还设置有加热带(32)，所述加热带(32)被配置为能加热所述气源提供的气体。
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【专利技术属性】
技术研发人员：王俊，闫岩，高崇，梁舰，冯敏强，廖良生，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32