一种高精度贴合用XY轴直线电机平台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种高精度贴合用XY轴直线电机平台，属于机电设备领域,包括大理石底座以及设置于大理石底座上的直线导轨、X轴滑动座和直线电机Y轴；所述直线导轨为两根，左右平行设置于大理石底座上表面，所述X轴滑动座底部对应位置安装有导轨滑块，所述X轴滑动座通过导轨滑块在直线导轨上滑动，沿着滑动方向形成直线电机X轴；本实用新型专利技术基于多轴运动的直线电机应用，高精度大理石和高精度机械加工件以及高精度铟钢尺，使得可以实现高精度的应用。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度贴合用XY轴直线电机平台
本技术涉及本技术属于机电设备领域，尤其是涉及一种高精度贴合用XY轴直线电机平台。
技术介绍
直线电机是一种通过将封闭式磁场展开为开放式磁场，将电能直接转化为直线运动的机械能，而不需要任何中间转换机构的传动装置，简单来说，直线电机就是一个展开的旋转伺服电机。一台旋转的感应电动机，设想将它沿径向剖开，并将定、转子圆周展成直线，这就得到了最简单的有铁芯直线感应电机。现有直线电机领域，针对高精密贴合应用的XY平台几乎空白，受限于加工能力，很难做到1微米以下的精度，而且此应用要求直线度和运行平面度在2微米以内。所以大部分此应用都是直接买原装进口的平台，但成本非常昂贵。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的研磨不充分的问题。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种高精度贴合用XY轴直线电机平台，包括大理石底座以及设置于大理石底座上的直线导轨、X轴滑动座和直线电机Y轴；所述直线导轨为两根，左右平行设置于大理石底座上表面，所述X轴滑动座底部对应位置安装有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度贴合用XY轴直线电机平台，其特征在于，包括大理石底座以及设置于大理石底座上的直线导轨、X轴滑动座和直线电机Y轴；/n所述直线导轨为两根，左右平行设置于大理石底座上表面，所述X轴滑动座底部对应位置安装有导轨滑块，所述X轴滑动座通过导轨滑块在直线导轨上滑动，沿着滑动方向形成直线电机X轴；/n所述直线电机Y轴安装于X轴滑动座之上，并于所述直线电机X轴形成XY平台；/n还包括有直线电机定子和直线电机动子，所述直线电机定子设于大理石底座上两根直线导轨之间，所述直线电机动子安装于X轴滑动座下方对应位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种高精度贴合用XY轴直线电机平台，其特征在于，包括大理石底座以及设置于大理石底座上的直线导轨、X轴滑动座和直线电机Y轴；
所述直线导轨为两根，左右平行设置于大理石底座上表面，所述X轴滑动座底部对应位置安装有导轨滑块，所述X轴滑动座通过导轨滑块在直线导轨上滑动，沿着滑动方向形成直线电机X轴；
所述直线电机Y轴安装于X轴滑动座之上，并于所述直线电机X轴形成XY平台；
还包括有直线电机定子和直线电机动子，所述直线电机定子设于大理石底座上两根直线导轨之间，所述直线电机动子安装于X轴滑动座下方对应位置。


2.根据权利要求1所述的一种高精度贴合用XY轴直线电机平台，其特征在于，所述大理石底座上固定安装有光栅尺，所述光栅尺侧贴于大理石底座内侧面且与所述直线导轨平行设置,光栅尺的读数头固定在X轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘景福，宋坤达，
申请(专利权)人：深圳市胜和鑫自动化装备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44