一种掩膜版及其蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及OLED显示器技术领域，具体涉及一种掩膜版及其蒸镀装置。本实用新型专利技术提供的掩膜版，包括掩膜版本体，还包括，若干蒸镀孔，设置于所述掩膜版本体上且贯穿所述掩膜版本体上下表面，用于蒸镀材料通过所述蒸镀孔进行蒸镀以形成蒸镀图案；至少一层保护层，设置于所述掩膜版本体一侧上，所述保护层与所述蒸镀孔相对应区域设置开孔，所述开孔与所述蒸镀孔一一对应且所述开孔的尺寸不小于所述蒸镀孔的尺寸。本实用新型专利技术提供的掩膜版，可有效降低阴极蒸镀材料与保护层之间的附着能力，从而使得粘结在掩膜版上的阴极蒸镀材料可以很容易的被清洗掉，达到快速清洗的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版及其蒸镀装置
本技术涉及OLED显示器
，具体涉及一种掩膜版及其蒸镀装置。
技术介绍
OLED(英文全称为OrganicLightEmittingDevice，简称为OLED)以广视角、高对比、低耗电、响应速度快、工作温度范围广等优点，在显示领域引起人们的广泛关注。随之人们对OLED器件的制备投入了大量的研发精力，在OLED器件的制备过程中，有机蒸镀过程是至关重要的环节。有机蒸镀过程是将蒸镀材料热蒸发形成有机蒸汽，蒸镀材料以有机蒸汽的形式通过掩膜版上的图形孔，在基底上沉积与图形孔形状一致的有机膜层，同时有机热蒸汽也会沉积在掩膜版上，沉积在掩膜版上的蒸镀材料会严重影响后续的蒸镀品质，因而，需要对掩膜版进行清洗。以PMOLED(主动矩阵有机发光二极管)为例，PMOLED阴极蒸镀材料多为金属AL或金属Mg和金属Ag，在经过多次蒸镀后，阴极蒸镀材料容易附着在OpenMask(开放式掩膜版)上。现有PMOLED蒸镀阴极使用的开放式掩膜版常用清洗流程为：对掩膜版依次进行纯水喷淋、N-甲基吡咯烷酮冲洗、N-甲基吡咯烷酮冲洗二次冲洗、异本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜版，包括掩膜版本体，其特征在于，还包括，/n若干蒸镀孔，设置于所述掩膜版本体上且贯穿所述掩膜版本体上下表面，用于蒸镀材料通过所述蒸镀孔进行蒸镀以形成蒸镀图案；/n至少一层保护层，设置于所述掩膜版本体一侧上，所述保护层与所述蒸镀孔相对应区域设置开孔，所述开孔与所述蒸镀孔一一对应且所述开孔的尺寸不小于所述蒸镀孔的尺寸。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版，包括掩膜版本体，其特征在于，还包括，
若干蒸镀孔，设置于所述掩膜版本体上且贯穿所述掩膜版本体上下表面，用于蒸镀材料通过所述蒸镀孔进行蒸镀以形成蒸镀图案；
至少一层保护层，设置于所述掩膜版本体一侧上，所述保护层与所述蒸镀孔相对应区域设置开孔，所述开孔与所述蒸镀孔一一对应且所述开孔的尺寸不小于所述蒸镀孔的尺寸。


2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述保护层的厚度为10-50nm。


3.根据权利要求1或2所述的掩膜版，其特征在于，所述保护层包括依次层叠设置于所述掩膜版本体一侧上的易与掩膜版本体分离的第一保护层和易与蒸镀材料分离的第二保护层。


4.根据权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，所述第一保护层的厚度为10-30nm，所述第二保护层的厚度为10-30nm。


5.根据权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，所述第一保护层为...

【专利技术属性】
技术研发人员：史凯兴，薛文涛，刘宏俊，
申请(专利权)人：昆山维信诺科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32