微机电系统装置的控制方法及测试方法制造方法及图纸

本揭露实施例涉及微机电系统装置的控制方法及测试方法。本揭露涉及一种微机电系统装置的控制方法。微机电系统装置包括第一电极及第二电极。控制方法包含以下操作。提供开启信号。开启信号具有上升区段及下降区段。施加上升区段到微机电系统装置，使第一电极移动以与第二电极形成开启状态。施加下降区段到微机电系统装置。第一电极与第二电极维持在开启状态。提供关闭信号。施加关闭信号到微机电系统装置，使第一电极与第二电极由开启状态变为关闭状态。本揭露还提供一种微机电系统装置的测试方法。

【技术实现步骤摘要】
微机电系统装置的控制方法及测试方法
本揭露涉及一种微机电系统装置，特别涉及一种微机电系统装置的控制方法及测试方法。
技术介绍
对于许多现代应用来说，涉及半导体装置的电子设备是很重要的。材料与设计的技术进展已经产生数代半导体装置，每一代都比前一代具有更小且更复杂的电路。在进步与创新的过程中，通常会增加功能性设计(即每一芯片面积上的互连装置的数目)而降低几何尺寸(即使用制造工艺可产生的最小元件)。此进展已增加处理与制造半导体装置的复杂度。近来，已发展微机电系统(micro-electromechanicalsystem，MEMS)装置，并且也通常与电子设备有关。MEMS装置为微尺寸装置，通常为小于1微米到数毫米的范围。MEMS装置包括使用半导体材料的制造以形成机械与电性特征。MEMS装置可包括一些元件(例如静态或可动元件)，用于达到电机功能性。MEMS装置广泛使用于各种应用中。MEMS应用包括运动感测器、压力感测器、印刷喷嘴或类似物。其它的MEMS应用包括惯性感测器，例如用于测量线性加速度的加速度计，以及用于测量角速度的陀螺仪(gyroscope)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机电系统装置的控制方法，所述微机电系统装置包括第一电极及第二电极，所述方法包含：/n提供开启信号，其中所述开启信号具有上升区段及下降区段；/n施加所述上升区段到所述微机电系统装置，使所述第一电极移动以与所述第二电极形成开启状态；/n施加所述下降区段到所述微机电系统装置，所述第一电极与所述第二电极维持在所述开启状态；/n提供关闭信号；以及/n施加所述关闭信号到所述微机电系统装置，使所述第一电极与所述第二电极由所述开启状态变为关闭状态。/n

【技术特征摘要】
1.一种微机电系统装置的控制方法，所述微机电系统装置包括第一电极及第二电极，所述方法包含：
提供开启信号，其中所述开启信号具有上升区段及下降区段；
施加所述上升区段到所述微机电系统装置，使所述第一电极移动以与所述第二电极形成开启状态；
施加所述下降区段到所述微机电系统装置，所述第一电极与所述第二电极维持在所述开启状态；
提供关闭信号；以及
施加所述关闭信号到所述微机电系统装置，使所述第一电极与所述第二电极由所述开启状态变为关闭状态。


2.根据权利要求1所述的控制方法，其中所述开启信号中从所述上升区段调制到所述下降区段的电性延迟小于所述第一电极从所述开启状态改变到所述关闭状态的机械性延迟。


3.根据权利要求2所述的控制方法，其中所述开启信号包含多个上升区段及多个下降区段，所述上升区段及所述下降区段交替地产生。


4.根据权利要求1所述的控制方法，其中所述上升区段或所述下降区段的时间间隔小于所述关闭信号的时间间隔。


5.一种微机电系统装置的控制方法，所述微机电系统装置包括第一电极及第二电极，所述方法包含：
在第一时间间隔，施加正电流，使所述第一电极移动以与所述第二电极形成开启状态；
在第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：妮娜·阿维纳什·吉尔达，蔡连尧，宝华·牛，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71